公开(公告)号：WO2014038326A1

公开(公告)日：2014-03-13

申请号：PCT/JP2013/070934

申请日：2013-08-01

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 高橋　晋太郎

IPC: H01L23/32 ,  H05K1/11 ,  H05K3/40

CPC classification number: H05K3/4038 ,  H01L21/486 ,  H01L23/15 ,  H01L23/49827 ,  H01L2924/0002 ,  H05K1/0306 ,  H05K1/032 ,  H05K1/09 ,  H05K1/11 ,  H05K1/115 ,  H05K3/0029 ,  H05K3/0094 ,  H05K3/06 ,  H05K3/10 ,  H05K3/42 ,  H05K3/4644 ,  H05K2201/068 ,  H05K2201/09563 ,  H05K2201/10378 ,  H05K2203/0221 ,  H05K2203/0264 ,  H05K2203/06 ,  H05K2203/07 ,  H05K2203/107 ,  H05K2203/1461 ,  Y10T156/10 ,  Y10T156/1056 ,  Y10T428/24331 ,  H01L2924/00

Abstract: 　複数の貫通孔を有するガラス基板を含む、インターポーザ用の中間品を製造する方法であって、（ａ）支持基板上に樹脂層を形成する工程と、（ｂ）前記樹脂層の上に、複数の貫通孔が形成された、厚さが０．０５ｍｍ～０．３ｍｍのガラス基板を密着させて、積層体を形成する工程と、を有する方法を提供する。

Abstract translation: 本发明提供一种包括具有多个通孔的玻璃基板的插入件中间体的制造方法，其特征在于，包括：（a）在支撑基板上形成树脂层的工序和（b） 在其中形成有多个通孔并且具有0.05-0.3mm的厚度的玻璃基板与树脂层的表面紧密接触以形成层压体。