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116 条记录 (耗时 0.021 秒)

    测量装置以及等离子体处理装置
    102.
    发明授权
    测量装置以及等离子体处理装置 有权

    公开(公告)号：CN102738039B

    公开(公告)日：2015-01-21

    申请号：CN201210090367.8

    申请日：2012-03-30

    申请人： 东京毅力科创株式会社

    发明人： 松土龙夫 ,  木村英利

    IPC分类号： H01L21/67 ,  G01K11/00 ,  H01J37/244 ,  H01J37/32

    CPC分类号： H01L21/67248 ,  G01K5/50 ,  G01K11/00 ,  H01J37/32972

    摘要： 提供一种测量装置以及等离子体处理装置，提高波长分辨率而扩大可测量的被检体的范围。该测量装置(150)的特征在于，具备：衍射光栅(104)，其将厚度D的晶圆W的表面上反射的光以及在晶圆W的背面反射的光作为入射光而进行分光；光电二极管阵列(108)，阵列状地设置多个光电二极管(108a)来得到该电二极管阵列(108)，所述光电二极管(108a)接收由衍射光栅(104)分光得到的光并检测接收到的光的功率；以及压电元件(200)，其安装于光电二极管阵列(108)，将所输入的电压变换为力，其中，在由于压电元件(200)变换得到的力而使光电二极管阵列(108)沿阵列方向发生移动d/m位移时，光电二极管阵列(108)检测接收到的光的功率，m是2以上的整数，d是各光电二极管(108a)的阵列方向的宽度。

    用于确定飞行器飞行条件的方法和设备
    103.
    发明公开
    用于确定飞行器飞行条件的方法和设备 失效

    公开(公告)号：CN104139863A

    公开(公告)日：2014-11-12

    申请号：CN201410185096.3

    申请日：2014-05-05

    申请人： 波音公司

    发明人： S·W·帕里斯

    IPC分类号： B64D45/00 ,  B64D47/00

    CPC分类号： G01P5/26 ,  G01K5/28 ,  G01K11/00 ,  G01P5/005 ,  G01P5/18 ,  G01P13/025

    摘要： 在本文中公开了用于确定飞行器飞行条件的方法和设备。本文公开的示例性设备包括气态包生成器(200)，其用于生成邻近飞行器的气态包(202)。该示例性设备还包括设置在飞行器(100)上的传感器阵列(118)、(120)，以便获取与该气态包(118)、(120)相关的信息。该示例性设备还包括处理器(712)，以便基于所述信息确定沿着飞行器(100)流动的空气的第一特征或该飞行器(100)的第二特征中的至少一个。

    一种真空处理装置的基片温度测量方法和装置
    104.
    发明公开
    一种真空处理装置的基片温度测量方法和装置 有权

    公开(公告)号：CN103389170A

    公开(公告)日：2013-11-13

    申请号：CN201210138239.6

    申请日：2012-05-07

    申请人： 中微半导体设备(上海)有限公司

    发明人： 李有森 ,  李天笑 ,  陈志浩

    IPC分类号： G01K11/00

    CPC分类号： H01L21/02104 ,  C23C16/46 ,  G01K11/00 ,  G01K11/12

    摘要： 一种用于真空处理装置中在基片处理过程中确定基片温度的测量方法和装置，其中，待测基片放置于所述真空处理装置中的基片承载台上进行制程，其中，所述测量方法包括如下步骤：从所述基片承载台透过某一基片散发的辐射量中选取i个波长，其中，i为大于1的自然数；获得所选取的i个波长对应的至少i个辐射量；基于数学方程式E(λi)＝T(d)×M(λi，T)，根据所述i个辐射量和所述i个波长得出所述基片温度，其中，E(λi)为第i个波长λi所对应的第i个辐射量，T(d)为所述基片的透射率，其与所述基片上生长的薄膜的薄膜厚度d有关，M(λi,T)为黑体辐射方程，其与所述第i个波长λi和所述基片温度T有关。本发明提供的基片温度测量机制准确性高，可靠性好。

    基于LED的照明模块的板上诊断
    106.
    发明公开
    基于LED的照明模块的板上诊断 失效

    公开(公告)号：CN102948262A

    公开(公告)日：2013-02-27

    申请号：CN201180029865.5

    申请日：2011-06-15

    申请人： 吉可多公司

    发明人： 杰勒德·哈伯斯

    IPC分类号： H05B37/03 ,  H05B33/08

    CPC分类号： G01K11/00 ,  F21V23/0457 ,  F21Y2113/13 ,  F21Y2115/10 ,  H05B33/0893 ,  H05B37/0218 ,  H05B37/0227 ,  H05B37/0272 ,  H05B37/034 ,  Y02B20/46

    摘要： 基于发光二极管(LED)的照明模块执行板上诊断。例如，诊断可以包括根据测量的通量或温度估计已逝寿命、磷光体的衰退、热故障、LED故障或者LED电流调节。可以通过用根据实际操作条件得出的加速因子对累积已逝操作时间进行缩放来估计已逝寿命，加速因子例如是温度、电流和相对湿度。可以基于测量的磷光体对于来自LED的脉冲光的响应来估计磷光体的衰退。可以根据启动条件使用模块的瞬态响应来诊断热故障。可以基于测量的正向电压诊断LED故障。可以使用测量的通量值和电流值以及通量值的所需比率来调节LED的电流。此外，可以基于测量的温度来缩放LED电流。

    测温用探头、测温系统及采用了该探头的测温方法
    108.
    发明公开
    测温用探头、测温系统及采用了该探头的测温方法 无效

    公开(公告)号：CN102192799A

    公开(公告)日：2011-09-21

    申请号：CN201110059856.2

    申请日：2011-03-11

    申请人： 东京毅力科创株式会社

    发明人： 松土龙夫

    IPC分类号： G01K11/12

    CPC分类号： G01K11/00

    摘要： 本发明提供测温用探头、测温系统及采用了该探头的测温方法。该测温用探头不需要用于设定光路长度的复杂的操作，而且，对测温对象物的制约较少，应用范围较广。该测温用探头利用低相干光的干涉，其中，包括：抵接构件(71)，其与测温对象物的表面抵接而与测温对象物热同化；准直器(72)，其向抵接构件(71)照射由低相干光构成的测量光(74)并分别接收来自抵接构件(71)的表面的反射光(75a)和来自抵接构件(71)的背面的反射光(75b)；筒状构件(73)，其用于将抵接构件(71)和准直器(72)的间隔规定为规定长度，并且用于使测量光(74)和反射光(75a、75b)的光路自放置测量对象物的气氛隔离。

    温度测量装置和温度测量方法
    109.
    发明授权
    温度测量装置和温度测量方法 有权

    公开(公告)号：CN101532885B

    公开(公告)日：2011-03-16

    申请号：CN200910126382.1

    申请日：2009-03-10

    申请人： 东京毅力科创株式会社

    发明人： 阿部淳 ,  松土龙夫 ,  舆水地盐

    IPC分类号： G01K11/00

    CPC分类号： G01K11/00 ,  G01K11/125

    摘要： 本发明提供一种温度测量装置和温度测量方法，与现有技术相比能够精度良好地测量温度，能够更加精度良好地且效率良好地进行基板处理等。该温度测量装置具有：将来自光源(110)的光分解为测量光和参照光的第一分离器(120)；用于反射参照光的参照光反射单元(140)；用于使参照光的光路长度变化的光路长变化单元(150)；用于分解来自参照光反射单元(140)的反射参照光的第二分离器(121)；用于测量来自温度测定对象物(10)的反射测量光与反射参照光的干涉的第一光检测器(160)；用于仅测量反射参照光的强度的第二光检测器(161)；从第一光检测器(160)的输出减去第二光检测器(161)的输出后计算干涉位置，计算温度的控制器(170)。

    一种具有光纤温度采集和温度补偿的光纤电流互感器
    110.
    发明公开
    一种具有光纤温度采集和温度补偿的光纤电流互感器 有权 转让

    公开(公告)号：CN101692401A

    公开(公告)日：2010-04-07

    申请号：CN200910092183.3

    申请日：2009-09-04

    申请人： 北京齐瑞得电力技术有限公司

    发明人： 不公告发明人

    IPC分类号： H01F38/28 ,  H01F38/32 ,  G01R15/18 ,  G01R15/24 ,  G01R19/32

    CPC分类号： G01R15/247 ,  G01K11/00 ,  G01R19/32

    摘要： 本发明公开了一种具有温度补偿的光纤电流互感器，该光纤电流互感器的宽谱光源(4)与分光器(6)之间连接有消偏器(5)，分光器(6)与计算补偿单元(1)之间连接有温度获取单元(7)，分光器(6)与数据处理单元(2)之间连接有电流获取单元(8)，数据处理单元(2)连接在计算补偿单元(1)上，计算补偿单元(1)与电流获取单元(8)之间连接有调制信号发生单元(3)。本发明的光纤电流互感器利用计算补偿单元中的温度-电流曲线关系，在计算补偿单元中对温度和电流进行同步处理，提高了本发明光纤电流互感器实时检测及电流输出的准确性。