公开(公告)号：CN105093822A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201510242920.9

申请日：2015-05-13

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 宫岛义一 ,  川原信途

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/027 ,  B29C43/36 ,  B29C59/02

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C59/002 ,  B29C59/02 ,  B29L2031/772 ,  B29C43/36 ,  H01L21/0337

Abstract: 本发明提供一种压印装置及物品制造方法。该压印装置包括：基板保持部，其被构造成保持所述基板，其中，所述基板保持部包括在预定方向上布置的多个保持区域，并且其中，所述多个保持区域的形状被限定为能够以第一外径保持第一基板，并且能够以与所述第一外径不同的第二外径保持第二基板。

公开(公告)号：CN100377303C

公开(公告)日：2008-03-26

申请号：CN03802357.1

申请日：2003-06-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 宫岛义一

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06

CPC classification number: G21K1/06 ,  G02B7/1815 ,  G03F7/70175 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70233 ,  G03F7/70891 ,  G21K2201/065 ,  G21K2201/067

Abstract: 本申请公开了一种反射镜设备、曝光设备以及器件制造方法。在通过反射引导曝光光线的曝光设备中，用在反射光学系统中的反射镜设备具有：一个具有一个反射所述曝光光线的反射表面的反射镜；用于散热冷却的散热板，被设置在离开所述反射镜的外表面的位置。所述散热板的设置确保入射到所述反射表面上并从该反射表面反射的所述曝光光线的通道区域。另外，用流过冷却管的冷却液体对各散热板进行温度控制。这样，可以抑制用在曝光设备的反射光学系统中的反射镜的温度上升，保持反射镜反射面的面形状的精度。

公开(公告)号：CN105892231B

公开(公告)日：2019-12-10

申请号：CN201610086176.2

申请日：2016-02-16

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 宫岛义一 ,  中野一志

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明涉及光刻装置、光刻方法、程序、光刻系统和物品制造方法。该光刻装置具有被配置为分别在属于一个批次的多个基板上执行图案化的多个处理单元，以及控制器，该控制器被配置为基于指定该多个基板中的一个基板的特定信息来执行多个处理单元中的处理该多个基板中的该一个基板的一个处理单元的确定并控制该多个处理单元使得基于与批次对应的配方信息并行地使用多个处理单元分别在多个基板上执行图案化。

公开(公告)号：CN106165064A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201580017358.8

申请日：2015-04-07

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 崔炳镇 ,  A·切若拉 ,  叶正茂 ,  吕晓明 ,  罗康 ,  川原信途 ,  宫岛义一

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: B29C43/58 ,  B29C43/021 ,  B29C2043/025 ,  B29C2043/3222 ,  B29C2043/3652 ,  B29C2043/5866 ,  G03F7/0002

Abstract: 提供一种用于使施加于基板上的树脂与模具接触以在基板上执行构图的压印装置。所述压印装置包括：用于保持基板的基板保持单元，其中，基板保持单元包含沿预先确定的方向布置的多个保持区域，多个保持区域分别基于沿所述方向的位置沿所述方向具有不同的宽度尺寸，以及，分别具有不同宽度尺寸的多个保持区域的两个保持区域之间的表面积比处于0.8～1.2的范围内。

公开(公告)号：CN105892231A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201610086176.2

申请日：2016-02-16

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 宫岛义一 ,  中野一志

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明涉及光刻装置、光刻方法、程序、光刻系统和物品制造方法。该光刻装置具有被配置为分别在属于一个批次的多个基板上执行图案化的多个处理单元，以及控制器，该控制器被配置为基于指定该多个基板中的一个基板的特定信息来执行多个处理单元中的处理该多个基板中的该一个基板的一个处理单元的确定并控制该多个处理单元使得基于与批次对应的配方信息并行地使用多个处理单元分别在多个基板上执行图案化。

公开(公告)号：CN105892230A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201610083908.2

申请日：2016-02-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： B-J·乔 ,  M·加纳帕蒂苏布拉玛尼安 ,  村里直记 ,  宫岛义一

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明涉及模具、压印设备和制造物品的方法。一种模具，包括：图案部，图案部中形成有图案；以及凹部，形成在图案部的背面中，并且在平面图中具有的尺寸能够包容图案部，其中，图案部的边缘在平面图中为矩形形状，以及凹部包括沿着图案部矩形形状侧面的侧壁部。

公开(公告)号：CN105319861A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510293935.8

申请日：2015-06-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 宫岛义一 ,  中野一志

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70741 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/7035 ,  G03F7/70691 ,  G03F7/7075 ,  G03F7/70991

Abstract: 一种光刻装置包括原版传送路线、基板传送路线和多个图形形成设备，每个图形形成设备被构造用于使用原版在基板上进行图形形成。所述多个图形形成设备布置成两列。基板传送路线在所述两列之间并沿所述两列提供。原版传送路线提供在两列中的每列上，在两列原版传送路线之间并沿着两列原版传送路线布置两列图形形成设备。一种物品制造方法。