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公开(公告)号：CN113759673B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202111049711.4
申请日：2021-09-08
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 极紫外光室、用于与极紫外光室使用的组件及其使用方法在此叙述。组件包括环体结构。环体结构包括外环体及于外环体径向之内的内环体。组件还包括真空接口，其用以连接且接触内环体，其中内环体具有开口，开口的大小可调整使一个装置可穿过并进入真空接口。
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公开(公告)号：CN115007087A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210387368.2
申请日：2022-04-13
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 一种在极紫外微影系统中处理燃料、移除杂质及净化燃料的方法，自容纳液化固体燃料的容器移除在极紫外微影系统的液滴产生器中利用的液化固体燃料中的杂质。移除杂质增加液滴形成的稳定性及可预测性，这对晶圆良率及液滴产生器寿命产生积极影响。
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公开(公告)号：CN114967355A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202110624149.7
申请日：2021-06-04
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种微影装置及用于微影装置的液滴产生器的保养方法，微影装置包含液滴产生器、液滴产生器维护系统、以及与液滴产生器维护系统连通的控制器。液滴产生器维护系统与液滴产生器、冷却剂配送单元、气体供应单元、以及支撑构件可操作地连通。气体供应单元包含热交换组件与空气加热组件。冷却剂配送单元配置以将液滴产生器的温度控制在可接受的液滴产生器范围内。
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公开(公告)号：CN114924465A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202210010143.5
申请日：2022-01-06
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本揭露关于模块化容器液滴产生器组件及其部件替换方法，包括液滴产生器组件(DGA)的模块化容器液滴产生器组件(MVDGA)。在正常运作下，液体燃料沿着延伸通过DGA的运作路径移动以将液体燃料(例如，液态锡)从DGA的喷嘴喷射或排放到真空室中。然后将真空室中的液体燃料暴露于产生极紫外(EUV)光的激光中。在维修运作下，关闭运作路径并开启延伸通过DGA的维修路径。气体被引入维修路径，以在气体与液体燃料之间形成气液界面。气液界面被驱动到与DGA直接相邻的隔离阀。换句话说，气体将液体燃料推回隔离阀。一旦气液界面到达隔离阀，隔离阀就会关闭，以隔离DGA与液体燃料。
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公开(公告)号：CN114859662A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210060438.3
申请日：2022-01-19
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 一种检查极紫外光光源的方法及检查设备，用于检查极紫外光(EUV)光源的方法包含：将EUV光源的集光镜自收集器腔室中移除；在收集器腔室内安装检查设备，检查设备包含可选择性伸缩的构件及处于构件的一端处的摄影机；操作第一致动器以沿着穿过EUV光源的内部腔室的路径延伸构件，从而将摄影机移动至EUV光源的内部腔室内的给定位置；操作第二致动器以绕旋转轴平移摄影机，从而在EUV光源的内部内建立给定摄影机定向；及当摄影机处于由第一致动器及第二致动器的操作建立的给定位置及定向时，用摄影机拍摄EUV光源的内部腔室的影像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110658694B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201910578340.5
申请日：2019-06-28
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种用于极紫外光辐射源设备的极紫外光收集器反射镜及极紫外光辐射源设备。用于极紫外光(EUV)辐射源设备的EUV收集器反射镜包括：EUV收集器反射镜主体，其上设置反射层作为反射表面；加热器，附接到或嵌入EUV收集器反射镜主体；以及排泄结构，用于将熔化的金属从EUV收集器反射镜主体的反射表面排泄到EUV收集器反射镜主体的背侧。
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公开(公告)号：CN113253573A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110069440.2
申请日：2021-01-19
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本揭露提供一种极紫外光源以及使用极紫外光源图案化基材上的光阻层的方法。举例来说，此极紫外光源包含一容积(Volume)，以收集电浆生成制程后所残留的液态锡碎屑，耦接至此容积的一外盖，其中此外盖包含至少一开口，以容许液态锡碎屑穿过此至少一个开口而掉落至此容积中，以及耦接至此外盖的一加热器，其中此加热器是用以熔化固态锡，此固态锡是由位于外盖表面的开口周围的液态锡碎屑冷却而成。
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公开(公告)号：CN110837209A
公开(公告)日：2020-02-25
申请号：CN201910760768.1
申请日：2019-08-16
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种产生极紫外光(Extreme Ultraviolet；EUV)辐射的装置，此装置包含液滴产生器、激发激光、能量侦测器与反馈控制器。液滴产生器是配置以产生目标液滴。激发激光是配置以使用激发脉冲加热此些目标液滴，以将目标液滴转换为电浆。当目标液滴转换为电浆时，能量侦测器是配置以量测极紫外光能量中所产生的变化。反馈控制器是配置以基于极紫外光能量中的变化来调整液滴产生器及/或激发激光的参数。
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公开(公告)号：CN106483772B
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201510860745.X
申请日：2015-11-30
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70866 , G03F7/70925
Abstract: 一种微影术系统及其使用方法，微影术系统包括一负载锁定腔室，此负载锁定腔室包括配置用以接收遮罩的开口；曝光模块，其配置用以经由使用遮罩，使半导体晶圆曝露于光源；及清洗模块，其嵌入在此微影术工具内，此清洗模块配置用以自遮罩清洗碳粒子。本发明内容可提供一种用于高级微影术技术中，保持遮罩干净且无缺陷的方法。此方法所形成的干净无缺陷遮罩，可提升微影术工艺的良率与精准度。
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公开(公告)号：CN115529707A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202210102013.4
申请日：2022-01-27
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H05G2/00
Abstract: 一种极端紫外线辐射源、靶液滴源以及其产生激光电浆的方法，用于极端紫外线源的靶液滴源包括液滴产生器，该液滴产生器用以产生给定材料的靶液滴。液滴产生器包括用以在由腔室封闭的空间中供应靶液滴的喷嘴。在一些实施例中，喷嘴管布置在液滴产生器的喷嘴内，且喷嘴管包括用以向靶液滴提供角动量的结构化喷嘴图案。
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