粘接薄膜、切割/芯片接合薄膜、半导体装置的制造方法以及半导体装置

    公开(公告)号:CN104733401B

    公开(公告)日:2019-05-07

    申请号:CN201410818588.1

    申请日:2014-12-24

    Abstract: 本发明涉及粘接薄膜、切割/芯片接合薄膜、半导体装置的制造方法以及半导体装置。本发明的课题在于,提供能够成品率良好地制造高可靠性的半导体装置的粘接薄膜及其用途。本发明为一种粘接薄膜,其用于将固定于被粘物上的第1半导体元件包埋、并将与该第1半导体元件不同的第2半导体元件固定于被粘物,其在120℃下且剪切速度50s‑1下的熔融粘度为50Pa·s以上且500Pa·s以下。热固化前的该粘接薄膜的25℃下的储能模量优选为10MPa以上且10000MPa以下。

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