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公开(公告)号:CN101045360B
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN200710084906.6
申请日:2007-02-16
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 提供一种丝网印刷装置。在利用丝网印刷法的凸块电极形成中,由于通过多个开口部分群转印的焊膏对于金属掩模的粘着力,离版从金属掩模的周边部分缓缓开始,最后金属掩模的中央部分离版,该种现象的产生是造成印刷膜厚度误差、印刷不足等的印刷不良的主要原因。以与上述掩模构件片不同的厚度、或者不同的材料、或者不同的弹性系数,连接载置在被印刷基板上的每个零件图案、或者成为预定面积的每个图案中的各掩模构件片,并配置有与上述连接状况相配合能够再现任意的离版曲线的离版调整设备。
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公开(公告)号:CN101117043B
公开(公告)日:2011-07-27
申请号:CN200710136964.9
申请日:2007-07-26
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明提供一种丝网印刷装置,当将基板在掩模上进行对位时,根据基板种类不具有专用的对位标记,将基板图案代用作对位标记的方法由于类似形状的图案、成为误识别的对位不良的原因。该丝网印刷装置构成包括:第1单元,其分别检测丝网掩模和基板表面的任意图案的一部分或者全部所形成的图案;第2单元,其分别检测最终对位目标的图案各自的重心;计算单元,其通过图像测量计算上述第1和第2单元检测的图案的窗口中心和上述第2单元检测的图案各自的重心的偏差;以及补正单元,其根据上述计算单元的计算的数值计算补正系数并进行登录。
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公开(公告)号:CN101879641A
公开(公告)日:2010-11-10
申请号:CN201010164283.5
申请日:2010-04-14
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B23K3/06
CPC classification number: B23K3/0623 , B23K1/0016 , B23K2101/40 , H01L2224/742 , H05K3/3478 , H05K2203/0292 , H05K2203/041 , H05K2203/0557
Abstract: 本发明提供一种使焊球均匀地分散到掩模面上、填充到掩模开口部的焊球印刷装置。焊球送出部具有焊球送出部、凸状的线材、焊球旋转回收机构;该焊球送出部接受来自焊球储存部的焊球;该凸状的线材以包围焊球送出部的焊球送出口的方式安装,并且按规定间隔排列多个线材;该焊球旋转回收机构将焊球搂聚到凸状的线材。
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公开(公告)号:CN101494181A
公开(公告)日:2009-07-29
申请号:CN200910002129.5
申请日:2009-01-15
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
CPC classification number: H01L2224/11005 , H01L2224/742
Abstract: 本发明提供一种焊料球印刷装置,其可以高效并可靠地填充/印刷焊料球,并形成凸块。本发明的焊料球印刷装置包括:在基板的电极焊盘上印刷助焊剂的助焊剂印刷部;在印刷有所述助焊剂的电极上提供焊料球的焊料球填充/印刷部;以及检查印刷有焊料球的基板的状态并根据不良状态进行修补的检查/修复部。在所述助焊剂印刷部与所述焊料球填充/印刷部之间设置检查印刷有助焊剂的基板的状态并根据不良状态进行修补的助焊剂检查/修复部,所述焊料球填充/印刷部包括具有向所述基板提供焊料球的丝网和向所述丝网填充焊料球的狭缝状体的印刷单元。
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公开(公告)号:CN101318399A
公开(公告)日:2008-12-10
申请号:CN200810130493.5
申请日:2006-09-29
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 提供一种丝网印刷装置和具备该装置的印刷系统。在装配有丝网印刷装置的焊膏印刷系统中,在谋求提高丝网印刷装置的印刷精度的同时,需要即使在丝网印刷机中发生印刷不良,也能对于在系统内可能修补的不良在系统内进行修补,提高产品的生产率。为此,把在丝网印刷装置的印刷中使用的涂刷器做成使用具有两级弹力的金属涂刷器的结构,同时做成配置在印刷结束后检查印刷状态的检查单元、和根据检查结果进行印刷基板的不良修复用的分配器单元的结构,同时采用向丝网印刷装置发送检查结果,能够在下一基板的印刷中反映的系统。
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公开(公告)号:CN102909941A
公开(公告)日:2013-02-06
申请号:CN201210250714.9
申请日:2012-07-19
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B41F15/26
Abstract: 本发明公开了一种面板的印刷装置。本发明所要解决的技术问题是,在面板的印刷装置中,降低以尘埃等为起因的印刷缺陷,且以高精度高速地印刷。本发明中,面板的印刷装置(100)在基板(17)面上通过丝网印刷形成规定的图案。基板使印刷面向下,由堆料机(10)部的载物台传送器运入。在堆料机的端部,设置能够使基板的印刷面向上反转的基板反转机构(11)。被反转了的基板在印刷部(13)被印刷。在反转机构和印刷部之间夹装旋转工作台(14)。旋转工作台将基板定位在印刷部。另外,旋转工作台可上下动地被设置。
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公开(公告)号:CN101777503B
公开(公告)日:2012-04-18
申请号:CN200910253621.X
申请日:2009-12-03
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
CPC classification number: H01L24/742 , H01L2224/11334 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006
Abstract: 本发明公开了一种焊球印刷机。本发明所要解决的技术问题是,在焊球印刷中,通过简单的构成,有必要一面使焊球均匀地分散在掩膜面上,一面向掩膜开口部填充,同时,能够回收剩余的焊球。本发明中,焊球供给头设置有焊球储存部、焊球供给部、焊球填充部件,所述焊球储存部储存焊球;所述焊球供给部用于在焊球储存部的下方向掩膜面供给规定量的焊球;所述焊球填充部件夹着焊球供给部,在与掩膜面接触的侧,由半螺旋状的多个线材形成,从而在焊球供给头的移动方向将焊球塞入掩膜面的开口部,同时刮掉剩余焊球。
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公开(公告)号:CN101685770B
公开(公告)日:2011-10-26
申请号:CN200910169169.9
申请日:2009-09-11
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
CPC classification number: H01L24/11 , B23K3/0623 , H01L2224/11334 , H01L2224/13099 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01016 , H01L2924/01033 , H01L2924/01078 , H01L2924/014 , H01L2924/181 , H05K3/3478 , H05K2203/0139 , H05K2203/041 , H05K2203/0557 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种焊球印刷装置。最近,形成在半导体芯片的电极部的焊料凸点微小化,在使用焊球进行印刷的情况下,焊球也微小化。因此,要求高精度对印刷焊球进行印刷。本发明中,在用于焊球印刷的印刷头部,替代以往的涂刷器,设置具备多个半螺旋形状的线材的焊球填充部件,通过以规定的推压力向掩模面推压,在由线材形成的空间部向焊球施加旋转力,以此,焊球被适度分散,焊球被压入掩模开口部。
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公开(公告)号:CN101312136B
公开(公告)日:2011-09-21
申请号:CN200810090988.X
申请日:2008-04-08
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
CPC classification number: H01L2224/11003 , H01L2224/11005 , H01L2224/742
Abstract: 本发明的目的是提供可高效率且切实地填充、印刷微小的焊球、形成凸点的焊球印刷装置。该焊球印刷装置具有:在基板的电极焊盘上印刷焊剂的焊剂印刷部、向印刷了上述焊剂的电极上供给焊球的焊球填充/印刷部、以及检查焊球的印刷状态并根据不良状态进行修补的检查/修补部,还具有观察印刷后的上述印刷部的丝网开口部的状况的检查用照相机,比较上述检查用照相机拍摄的图像和事先记录的标准模型的图像,从印刷后的上述印刷部的丝网开口部的状况判断是否印刷不良。
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公开(公告)号:CN101685770A
公开(公告)日:2010-03-31
申请号:CN200910169169.9
申请日:2009-09-11
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
CPC classification number: H01L24/11 , B23K3/0623 , H01L2224/11334 , H01L2224/13099 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01016 , H01L2924/01033 , H01L2924/01078 , H01L2924/014 , H01L2924/181 , H05K3/3478 , H05K2203/0139 , H05K2203/041 , H05K2203/0557 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种焊球印刷装置。最近,形成在半导体芯片的电极部的焊料凸点微小化,在使用焊球进行印刷的情况下,焊球也微小化。因此,要求高精度对印刷焊球进行印刷。本发明中,在用于焊球印刷的印刷头部,替代以往的涂刷器,设置具备多个半螺旋形状的线材的焊球填充部件,通过以规定的推压力向掩模面推压,在由线材形成的空间部向焊球施加旋转力,以此,焊球被适度分散,焊球被压入掩模开口部。
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