无模板法的晶圆植球工艺

    公开(公告)号:CN105405780A

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201510941387.5

    申请日:2015-12-16

    发明人: 冯光建

    IPC分类号: H01L21/60

    CPC分类号: H01L24/11 H01L2224/11003

    摘要: 本发明提供一种无模板法的晶圆植球工艺,包括下述步骤:步骤S1,对滚轴充电,使滚轴表面带静电;通过激光扫描,使得滚轴表面具有与晶圆植球区域相对应的静电图形;滚轴旋转中先接触焊料,使得滚轴表面对应晶圆植球区域吸附焊料;通过滚轴与胶带上具有粘性的胶膜或胶带上涂覆的粘性膜接触,将焊料转移到胶带上;步骤S2,晶圆表面涂覆粘性膜,利用键合工艺或贴合工艺将胶带与晶圆贴在一起;步骤S3,对胶带表面具有粘性的胶膜去粘性处理,使得带有焊料的胶膜结构转移到晶圆上;步骤S4,进行回流焊得到焊球。本工艺可以实现植球工艺和植球机的分离,使晶圆级植球可以通过贴膜工艺来实现。