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公开(公告)号：CN107532294A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680026945.8
申请日：2016-05-09
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , C07C211/21 , C07F15/00 , H01L21/285
Abstract: 本发明涉及下述所示的由在2价铂上配位有烯基胺及烷基阴离子的有机铂化合物构成的化学蒸镀用原料。在下述中，n为1以上5以下。烯基胺的取代基R1至R5分别为氢原子、烷基等，并且它们的碳原子数均为4以下。烷基阴离子R6及R7分别为碳原子数为1以上3以下的烷基。本发明的原料的蒸气压较高，可在低温下制造铂薄膜，同时也兼具适度的热稳定性。
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公开(公告)号：CN104350061B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201380029958.7
申请日：2013-06-06
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C07F15/00 , B01J23/44 , C07C7/12 , C07C7/163 , C07C13/263 , C07C13/42 , C07C45/79 , C07C45/85 , C07C49/92
CPC classification number: C07F15/0046 , B01J23/42 , B01J23/44 , B01J23/462 , B01J25/02 , C07C45/79 , C07C45/85 , C07C49/92
Abstract: 本发明提供一种化学蒸镀用有机钌化合物的回收再利用方法，其从经过了薄膜形成工序的、已用过的原料中提取未反应的有机钌化合物，所述方法包括以下工序(a)～(c)。(a)改质工序，其中，在氢气氛中，使所述已用过的原料与加氢催化剂接触，从而对已用过的原料中氧化了的有机钌化合物进行加氢。(b)吸附工序，其中，通过使所述已用过的原料与吸附剂接触，从而除去已用过的原料中的杂质。(c)复原工序，其中，在相对于有机钌化合物的分解温度为‑100℃以上且‑10℃以下的温度下，对所述已用过的原料加热8小时以上，从而调整已用过的原料中的有机钌化合物的异构体比率。
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公开(公告)号：CN104768911B
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201380056089.7
申请日：2013-10-17
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
Abstract: 本发明为一种从在不对称β?二酮化合物中混有至少1种对称β?二酮化合物的β?二酮化合物中萃取不对称β?二酮化合物的方法，其含有(A)将所述β?二酮化合物和水的混合溶液的pH调为11.5以上，使β?二酮化合物溶于水制成β?二酮化合物溶液的工序，以及(B)接着，将所述β?二酮化合物溶液的pH调为9.5以下，回收从所述β?二酮化合物溶液中分离的化学式1的不对称β?二酮化合物的工序。本发明进一步含有(a)：在(A)工序时，将混合溶液的pH的上限设定为12.5制成β?二酮化合物溶液，使其与疏水性溶剂接触的工序、以及(b)：在(B)工序时，将β?二酮化合物溶液的pH的下限设定为8.0的工序的至少任一者。
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公开(公告)号：CN104768911A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201380056089.7
申请日：2013-10-17
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
Abstract: 本发明为一种从在不对称β-二酮化合物中混有至少1种对称β-二酮化合物的β-二酮化合物中萃取不对称β-二酮化合物的方法，其含有(A)将所述β-二酮化合物和水的混合溶液的pH调为11.5以上，使β-二酮化合物溶于水制成β-二酮化合物溶液的工序，以及(B)接着，将所述β-二酮化合物溶液的pH调为9.5以下，回收从所述β-二酮化合物溶液中分离的化学式1的不对称β-二酮化合物的工序。本发明进一步含有(a)：在(A)工序时，将混合溶液的pH的上限设定为12.5制成β-二酮化合物溶液，使其与疏水性溶剂接触的工序、以及(b)：在(B)工序时，将β-二酮化合物溶液的pH的下限设定为8.0的工序的至少任一者。
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公开(公告)号：CN115003855B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202180011325.8
申请日：2021-01-28
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , C07F15/00 , H01L21/285
Abstract: 本发明涉及化学蒸镀法用的有机钌化合物原料。有机钌化合物是三亚甲基甲烷系配体(L1)、2个羰基配体以及配体X与2价的钌配位而得的由下述化学式1的式子表示。在化学式1中，三亚甲基甲烷系配体(L1)由下述化学式2的式子表示。另外，配体X为异氰配体、吡啶配体、胺配体、咪唑配体、哒嗪配体、嘧啶配体、吡嗪配体中的任一者，[化学式1]RuL1(CO)2X[化学式2]#imgabs0#在上式中，配体L1的取代基R为氢、或者预定的碳原子数的烷基、环状烷基、烯基、炔基、氨基中的任一者。
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公开(公告)号：CN115003855A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202180011325.8
申请日：2021-01-28
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , C07F15/00 , H01L21/285
Abstract: 本发明涉及化学蒸镀法用的有机钌化合物原料。有机钌化合物是三亚甲基甲烷系配体(L1)、2个羰基配体以及配体X与2价的钌配位而得的由下述化学式1的式子表示。在化学式1中，三亚甲基甲烷系配体(L1)由下述化学式2的式子表示。另外，配体X为异氰配体、吡啶配体、胺配体、咪唑配体、哒嗪配体、嘧啶配体、吡嗪配体中的任一者，[化学式1]RuL1(CO)2X[化学式2]在上式中，配体L1的取代基R为氢、或者预定的碳原子数的烷基、环状烷基、烯基、炔基、氨基中的任一者。
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公开(公告)号：CN107923038B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201680048587.0
申请日：2016-08-23
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/16 , C07F15/00 , H01L21/28 , H01L21/285
Abstract: 本发明涉及一种由双核钌配合物构成的化学蒸镀用原料，其用于通过化学蒸镀法制造钌薄膜或钌化合物薄膜，其中，该双核钌配合物由下式(1)表示，其是通过羰基及含氮的有机配位体(L)配位于金属键结的2个钌而成的。根据本发明的原料可以制造高纯度的钌薄膜，且熔点较低，并兼具适度的热稳定性。因此，适合应用于各种设备的电极等。
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公开(公告)号：CN105247098B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201380076725.2
申请日：2013-12-27
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种化学沉积用原料，其熔点低，具有在气化阶段中不会热分解的热稳定性，且在成膜阶段中在低温下易于分解，并且能够稳定地形成杂质少的镍薄膜。本发明涉及包含有机镍化合物的化学沉积用原料，该有机镍化合物中环戊二烯基或其衍生物、以及在环烷基的碳骨架中具有一个烯丙基的环烯基或其衍生物与镍配位。该原料熔点低且具有适度的热稳定性，并且可在低温下成膜。此外，因为蒸气压高，因此适用作具有三维结构的立体型电极用材料。
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公开(公告)号：CN106164033A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201480072704.8
申请日：2014-12-16
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所 , 田中贵金属工业株式会社
CPC classification number: C07F15/0033 , C07C49/92 , C07F15/004
Abstract: 本发明涉及一种环金属化铱配合物的原料，并提供一种相较于使用三(2,4‑戊二酮)合铱(III)的情况，能在低反应温度中以高收率得到环金属化铱配合物的技术。本发明涉及一种环金属化铱配合物的原料，在由用于制造环金属化铱配合物的有机铱材料所构成的原料中，上述有机铱材料为非对称β‑二酮配位于铱上的三(β‑二酮)合铱(III)。
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公开(公告)号：CN104350061A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201380029958.7
申请日：2013-06-06
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C07F15/00 , B01J23/44 , C07C7/12 , C07C7/163 , C07C13/263 , C07C13/42 , C07C45/79 , C07C45/85 , C07C49/92
CPC classification number: C07F15/0046 , B01J23/42 , B01J23/44 , B01J23/462 , B01J25/02 , C07C45/79 , C07C45/85 , C07F15/0053 , C07C49/92
Abstract: 本发明提供一种化学蒸镀用有机钌化合物的回收再利用方法，其从经过了薄膜形成工序的、已用过的原料中提取未反应的有机钌化合物，所述方法包括以下工序(a)～(c)。(a)改质工序，其中，在氢气氛中，使所述已用过的原料与加氢催化剂接触，从而对已用过的原料中氧化了的有机钌化合物进行加氢。(b)吸附工序，其中，通过使所述已用过的原料与吸附剂接触，从而除去已用过的原料中的杂质。(c)复原工序，其中，在相对于有机钌化合物的分解温度为-100℃以上且-10℃以下的温度下，对所述已用过的原料加热8小时以上，从而调整已用过的原料中的有机钌化合物的异构体比率。
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