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公开(公告)号：CN102812375B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201180014988.1
申请日：2011-02-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01R33/028
CPC classification number: G01R33/0286 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明公开了一种微机电系统（MEMS）。所述MEMS包括：基底；从基底向上延伸的第一枢轴；第一杆件臂，其随着第一纵向轴线在基底之上延伸，且可枢转地安装到第一枢轴以绕第一枢转轴线枢转；第一电容器层，其在第一杆件臂的第一电容器部分之下的位置形成在基底上；第二电容器层，其在第一杆件臂的第二电容器部分之下的位置形成在基底上，其中第一枢轴在沿着第一纵向轴线的第一电容器部分和第二电容器部分之间的位置支撑着第一杆件臂；以及第一导体部件，其延伸经过第一纵向轴线，且与第一枢转轴线分隔开。
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公开(公告)号：CN101799480B
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201010116040.4
申请日：2010-02-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： A·弗兰克
IPC: G01P15/18 , G01P15/125
CPC classification number: G01P15/18 , G01P15/125 , G01P2015/082
Abstract: 本发明提出了一种传感器装置、尤其是加速度传感器装置，所述传感器装置带有一具有主延伸平面的基底和一能相对于所述基底运动地悬挂的振动质量，其中，所述传感器装置具有第一检测元件，所述第一检测元件用于检测振动质量沿着与主延伸平面平行的第一方向的第一运动，并且，所述传感器装置具有第二检测元件，所述第二检测元件用于检测振动质量沿着与主延伸平面平行的且与第一方向垂直的第二方向的第二运动，其中，所述第一检测元件和所述第二检测元件分别能相对于振动质量运动地固定在振动质量上。
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公开(公告)号：CN101568840B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200780048385.7
申请日：2007-11-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/18 , G01P15/125
CPC classification number: G01P15/18 , G01P15/125 , G01P2015/084
Abstract: 本发明涉及一种微机械加速度传感器，其包括基底(1)、平行于基底平面延伸的弹性薄膜(5)和振动质量(6)，弹性薄膜(5)部分地与基底连接并具有能够垂直于基底平面偏移的平面区域，振动质量(6)的重心位于弹性薄膜(5)平面之外，其中，振动质量(6)隔开距离地在基底区域上方延伸，这些基底区域位于弹性薄膜(5)区域之外并且具有由多个电极(3a，3b，3c，3d)组成的装置，这些电极分别与振动质量(6)的对置区域在电路技术上构成电容器，并且振动质量(6)在其中心区域在弹性薄膜(5)的能够垂直于基底平面偏移的平面区域中固定在弹性薄膜(5)上。
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公开(公告)号：CN102192734A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110054573.9
申请日：2011-03-08
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01C19/5621
Abstract: 本发明涉及转速传感器装置（10），它具有音叉状构造的振动装置（12），后者基本上平行于相互布设的可以振动的臂（16，18），具有与臂（16，18）的各个端部（24）连接的柔性基本部分（26），该基本部分可以使臂（16，18）沿着其平行布置的轴线（30，32）相反移动，还有平行或者反向平行于可以振动的臂（16，18）的指示臂（38），用于指示出相反的移动，其端部（42）同样也与基本部分（26）连接。规定使转速传感器装置（10）具有至少一个另外的指示臂（40），这臂反向平行于这指示臂（38）。本发明还涉及一种用于得到转速的方法。
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公开(公告)号：CN102095893A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010554560.3
申请日：2010-11-17
Applicant: 罗伯特.博世有限公司
IPC: G01P21/00 , G01P15/125 , G01R33/02
CPC classification number: G01R33/0286 , B81C99/003 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P21/00
Abstract: 本发明涉及确定传感器灵敏度的方法，这传感器包括有基底，地震质量，第一电极装置用于使质量相对于基底沿着测量轴线偏离，和第二电极装置用于使质量相对于基底偏离。方法包括了方法步骤a)，在这步骤中将第一偏离电压加在第一电极装置上，第二偏离电压加在第一电极装置上，在质量上，通过第一电极装置作用第一静电力，通过第二电极装置作用第二静电力，并通过质量的弹簧装置施加复位力，其中在第一静电力，第二静电力和复位力之间实现了力的平衡，而且质量占有一个表示了力平衡特征的偏离位置，测量表示了力平衡和偏离位置特征的输出信号，方法步骤b)，基于第一和第二偏离电压来计算传感器的灵敏度。本发明还涉及用于该方法的传感器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102009942A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN201010270684.9
申请日：2010-09-01
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01C19/56 , B81B7/0041 , B81B7/02 , B81C2203/0109 , G01P15/0802 , Y10T29/49144 , Y10T29/49146 , Y10T428/13
Abstract: 本发明涉及一种微系统，该微系统具有与周围环境隔开的第一腔和与周围环境隔开的第二腔。该第一腔通过第一接合连接限界并且第二腔通过第二接合连接限界。在此，第一接合连接或者第二接合连接是共晶接合连接或者扩散钎焊连接。
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公开(公告)号：CN101840867A
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN201010135672.5
申请日：2010-03-10
Applicant: 罗伯特.博世有限公司
CPC classification number: H01L25/0657 , B81C1/0023 , H01L25/16 , H01L2225/06513 , H01L2225/06541 , H01L2924/0002 , H01L2924/14 , H01L2924/1433 , Y10T29/49208 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及一种用于制造电子组件的方法，通过如下步骤进行：提供至少一个第一微电子元件(1)并且通过第一倒装芯片方法与第二微电子元件(2)电连接；提供至少一个介电元件(3)，所述介电元件(3)具有至少一个印制导线(31)，并且将介电元件(3)的至少一个印制导线(31)与第二微电子元件(2)电连接；并且通过第二倒装芯片方法步骤将第二微电子元件(2)通过介电元件(3)的印制导线(31)与印制电路板(4)电连接，以便避免通过微电子元件(1，2)的敷镀通孔；以及涉及一种相应的电子组件。
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公开(公告)号：CN101799480A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN201010116040.4
申请日：2010-02-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： A·弗兰克
IPC: G01P15/18
CPC classification number: G01P15/18 , G01P15/125 , G01P2015/082
Abstract: 本发明提出了一种传感器装置、尤其是加速度传感器装置，所述传感器装置带有一具有主延伸平面的基底和一能相对于所述基底运动地悬挂的振动质量，其中，所述传感器装置具有第一检测元件，所述第一检测元件用于检测振动质量沿着与主延伸平面平行的第一方向的第一运动，并且，所述传感器装置具有第二检测元件，所述第二检测元件用于检测振动质量沿着与主延伸平面平行的且与第一方向垂直的第二方向的第二运动，其中，所述第一检测元件和所述第二检测元件分别能相对于振动质量运动地固定在振动质量上。
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公开(公告)号：CN101568840A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200780048385.7
申请日：2007-11-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
CPC classification number: G01P15/18 , G01P15/125 , G01P2015/084
Abstract: 本发明涉及一种微机械加速度传感器，其包括基底(1)、平行于基底平面延伸的弹性薄膜(5)和振动质量(6)，弹性薄膜(5)部分地与基底连接并具有能够垂直于基底平面偏移的平面区域，振动质量(6)的重心位于弹性薄膜(5)平面之外，其中，振动质量(6)隔开距离地在基底区域上方延伸，这些基底区域位于弹性薄膜(5)区域之外并且具有由多个电极(3a，3b，3c，3d)组成的装置，这些电极分别与振动质量(6)的对置区域在电路技术上构成电容器，并且振动质量(6)在其中心区域在弹性薄膜(5)的能够垂直于基底平面偏移的平面区域中固定在弹性薄膜(5)上。
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公开(公告)号：CN103776464B
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201310756892.3
申请日：2013-10-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C25/00 , G01C19/5726
Abstract: 提出一种用于调整转速传感器的方法，为了测量转速灵敏度，以围绕旋转轴线的转速加载转速传感器随后在探测装置上测量取决于转速的输出电压，为了确定测试信号灵敏度，以测试信号加载测试装置随后测量探测装置上的取决于测试信号的探测电压，在第一方法步骤中，确定为了实施测试而选择的被称为第一样本转速传感器的转速传感器的转速灵敏度和测试信号灵敏度之间的缩放函数，从第一样本转速传感器的第一样本转速灵敏度和第一样本测试信号灵敏度确定缩放函数，在第二方法步骤中，对于被称为生产转速传感器的转速传感器，从生产转速传感器的生产测试信号灵敏度和缩放函数计算生产转速灵敏度，随后借助于生产转速灵敏度调整生产转速传感器。
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