一种基板清洗设备
    22.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103691715B

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201310752372.5

    申请日:2013-12-30

    IPC分类号: B08B11/04 H01L21/66

    摘要: 本发明公开了一种基板清洗设备,包括机架、用于盛放玻璃基板的载台、安装有超声波发射器的清洗头本体、至少一个激光位移传感器、以及信号处理器;其中,载台固定于机架;清洗头本体位于载台上方,且可滑动地安装于机架;激光位移传感器安装于清洗头本体、且通过向玻璃基板表面发射激光探测射线来测量激光位移传感器与玻璃基板表面之间的距离信息;信号处理器与激光位移传感器信号连接、且用于当激光位移传感器与玻璃基板表面之间的距离信息出现异常时判断玻璃基板破损。本发明提供的基板清洗设备能够准确地检测出被测玻璃基板是否有破损,且能够避免漏检的情况出现,提高了破损玻璃基板的检出率。

    压力控制器及其开口度调节方法

    公开(公告)号:CN103728996A

    公开(公告)日:2014-04-16

    申请号:CN201310726431.1

    申请日:2013-12-25

    IPC分类号: G05D16/20

    摘要: 本发明提供一种压力控制器及其开口度调节方法,属于真空设备气体压力控制技术领域,其可解决现有的APC调节真空腔室气体压力不够精确的问题。本发明的压力控制器连接在真空泵与真空腔室之间,且在所述压力控制器与真空泵连接的开口处设有摆动板,所述摆动板用于控制所述开口的开口度,其中,所述压力控制器包括光栅尺,所述光栅尺用于读取莫尔条纹图案以确定所述摆动板的位置。其开口度调节方法包括用光栅尺读取莫尔条纹图案以确定所述摆动板的位置,并根据所述摆动板的位置将摆动板调节到与真空腔室内所需气体压力对应的位置。本发明对真空腔室气体压力的调节更为精确。

    一种基板测试设备
    30.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105486239B

    公开(公告)日:2018-07-10

    申请号:CN201610004799.0

    申请日:2016-01-04

    IPC分类号: G01B11/02

    摘要: 本发明公开了一种基板测试设备,以减小基板上图形线宽的测试误差,进而提高基板的产品品质。基板检测设备包括用于承载基板的支撑平台;用于采集基板上待测线宽图形位置信息的对位装置;朝向支撑平台设置的光强检测装置;控制装置,分别与对位装置和光强检测装置信号连接,用于根据待测线宽图形位置信息,控制光强检测装置移动经过待测线宽图形的上方;根据光强检测装置的检测数据,确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间;根据经过待测线宽图形的时间,确定待测线宽图形的线宽。相比现有技术,本发明实施例大大减小了基板上图形线宽的测试误差,进而提高了基板的产品品质。