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公开(公告)号：CN103449357A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310174801.5
申请日：2013-05-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81B3/0075 , B81B2207/07 , B81B2207/096 , B81C1/00238 , B81C1/00674 , B81C2203/0109 , H01L2224/16225 , H01L2924/19105
Abstract: 本发明涉及用于实现混合集成部件的措施。部件（100）包括ASIC构件（10）、具有微机械结构（21）的第一MEMS构件（20）和第一罩晶片（30），微机械结构在第一MEMS衬底（10）整个厚度上延伸，第一罩晶片装配在微机械结构（21）上方。微机械结构（21）具有可偏转的结构元件（23）。在微机械结构（21）和构件（10）之间存在间隙。在构件（10）背侧装配第二MEMS构件（40）。第二构件（40）的微机械结构（41）在第二MEMS衬底（40）的整个厚度上延伸并且包括可偏转的结构元件。在该微机械结构（41）和构件（10）之间存在间隙并且在该微机械结构（41）上方装配第二罩晶片（50）。
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公开(公告)号：CN102387983A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200980129796.8
申请日：2009-06-15
Applicant: 罗伯特.博世有限公司
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0037 , B81B2201/033 , H02N1/008
Abstract: 本发明涉及一种微机械结构(1)，尤其是传感器或执行器，包括至少一个由至少两个可相互相对调节的结构部段(6，7，8，9)限制的工作间隙(4，5)和包括用于调整该工作间隙宽度的机构。按照本发明规定，该机构通过对至少一个在微机械结构(1)运行期间相对于一个参照点固定的结构部段(6，7)相对于在运行中相对于这个参照点可运动的结构部段(8，9)进行调节来扩宽该工作间隙(4，5)。本发明此外涉及一种用于调整工作间隙宽度的方法。
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公开(公告)号：CN101963505A
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN201010236921.X
申请日：2010-07-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5712 , G01C19/5747
Abstract: 本发明提供一种微机械式旋转速率传感器(100，200，300，400，500)，具有：第一旋转速率传感器元件(20)，它输出第一传感器信号(S1)，该第一传感器信号含有关于绕第一旋转轴的旋转的信息；第二旋转速率传感器元件(30)，它输出第二传感器信号(S2)，该第二传感器信号含有关于绕第二旋转轴的旋转的信息，该第二旋转轴垂直于该第一旋转轴；驱动装置(10)，它驱动所述第一旋转速率传感器元件(20)；和耦合部件(40)，它使所述第一旋转速率传感器元件(20)和所述第二旋转速率传感器元件(30)机械地相互耦合，使得对所述第一旋转速率传感器元件(20)的驱动也引起对所述第二旋转速率传感器元件(30)的驱动。
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公开(公告)号：CN101868692A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN200880116117.9
申请日：2008-10-02
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/574 , F16F1/025 , G01C19/5747 , G01P3/44
Abstract: 本发明涉及一种偏航率传感器，具有衬底和多个可运动的部分结构，所述可运动的部分结构设置在所述衬底的表面上方，其中，所述可运动的部分结构与一个共同的、尤其是中央弹簧元件耦合，设有用于激励所述可运动的部分结构在与所述衬底的表面平行的平面中作耦合的振动的器件，所述可运动的部分结构具有科氏元件，设有用于验证所述科氏元件的由科氏力引起的偏移的器件，设有用于检测绕第一轴的偏航率的第一科氏元件，设有用于检测绕第二轴的偏航率的第二科氏元件，所述第二轴与所述第一轴垂直地定向。
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公开(公告)号：CN103771334B
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201310756912.7
申请日：2013-10-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81C1/00246 , B81C1/0023 , B81C2203/075 , B81C2203/0771 , H01L2224/48463
Abstract: 提出用于具有至少个MEMS构件(10)并且具有至少个由半导体材料制成的罩(20)的部件(100)的措施,通过所述措施能够使得所述罩(20)除其作为空腔的封闭和微机械结构的保护的机械功能之外,配备有电功能。这种部件(100)的MEMS构件(10)的微机械结构设置在载体(1)与所述罩(20)之间的空腔中,并且包括至少个结构元件(11),所述至少个结构元件能够在空腔内从构件层面向外偏转。根据本发明,所述罩(20)应包括至少个在所述罩(20)的整个厚度上延伸的区段(21,22),所述至少个区段与相邻的半导体材料电绝缘,使得其能够与所述罩(20)的其余区段无关地电接通。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103630127B
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201310165983.X
申请日：2013-05-08
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5733 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及转速传感器，其衬底具有主延伸平面，用于探测围绕或与主延伸平面平行地或垂直地延伸的第一方向的转速，转速传感器具有驱动装置、第一和第二科里奥利质量，第一科里奥利质量的至少一部分和第二科里奥利质量的至少一部分在围绕第一方向的转速的情况下经受与垂直于驱动方向和第一方向延伸的探测方向平行的科里奥利加速度，转速传感器具有第一和第二均衡质量，第一均衡质量通过衬底上的第一连接件具有与第一科里奥利质量的耦合并且第二均衡质量通过衬底上的第二连接件具有与第一科里奥利质量的耦合，第一科里奥利质量的由科里奥利加速度引起的与探测方向平行的偏转导致第一和第二均衡质量的分别反向的偏转。
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27.发明公开公开(公告)号：CN106458571A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580029574.4
申请日：2015-05-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: B81B7/0048 , B81B2207/012 , B81B2207/07 , B81B2207/096 , H01L23/13 , H01L23/49827 , H01L2224/16225
Abstract: (331)仅布置在边缘区段(360)上。本发明提出一种用于在垂直混合集成元器件的结构中减小由装配引起的机械应力的内插器方案，该内插器方案能够实现元器件在元器件载体上的可靠的机械固定并且节省空间地电接通元器件。该内插器(301)包括面状的载体衬底(320)，在该正面布线平面中构造由用于在内插器(301)上装配元器件(100)的正面连接垫(321)，该载体衬底还具有至少一个背面布线平面(330)，在该背面布线平面中构造有用于在元器件载体(110)上的装配的背面连接垫(331)，其中，正面连接垫(321)和背面连接垫(331)相互错开地布置，该载体衬底还具有用于电连接至少一个正面布线平面(320)和至少一个背面布线平面(330)的电镀通孔(340)。根据本发明的载体衬底(310)包括至少一个边缘区段(360)和至少一个中间区段(350)，它们通过应力去耦结构(371)至(310)，该载体衬底具有至少一个正面布线平面
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公开(公告)号：CN102288787B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201110125993.1
申请日：2011-05-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器及相应的测量方法。本发明提供一种微机械传感器，该传感器包括至少一个基底和一个通过至少一个扭转梁(12)悬挂在基底上的振动质量块(11)，用于测量作用在所述振动质量块(11)上的物理量，其中，为了形成压阻材料，至少是所述至少一个扭转梁(12)的整个块体都被掺杂。本发明还提供一种借助于这种传感器测量惯性量或力的方法，在所述方法中，通过检测所述至少一个扭转梁(12)的电阻变化，确定作用在所述振动质量块(11)上的惯性量或力的大小，其中，为了检测电阻变化考虑所述扭转梁(12)的整个横截面。
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公开(公告)号：CN102362152B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201080013712.7
申请日：2010-01-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5755
CPC classification number: G01C19/5755
Abstract: 本发明涉及一种用于共振地驱动微机械系统的装置，包括：至少一个被弹簧振动式支承的感振质量；至少一个用于驱动所述感振质量振动的驱动装置；和至少一个与所述感振质量运动耦合的元件。该装置还包括至少一个用于检测随所述感振质量的振动变化的、在运动耦合的元件与检测元件之间的关系参数的检测元件，其中，所述检测元件被设置用于在达到所述关系参数的一预给定的值时引起振动驱动装置的中断。
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公开(公告)号：CN102353368B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201110157671.5
申请日：2011-06-02
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5755
CPC classification number: G01C19/5755
Abstract: 本发明涉及一种旋转速率传感器，包括：一驱动装置(103，109)；至少一个科里奥利元件(113)；一检测装置，其中，所述驱动装置与所述科里奥利元件(113)连接用于驱动所述科里奥利元件(113)振动，其特征在于，所述检测装置具有至少一个转子(119，119a)，以及一与所述检测装置和所述科里奥利元件(113)连接的耦联装置(121)被构成用于将所述科里奥利元件(113)在振动平面中在与振动正交的方向上的偏转耦联到所述检测装置上，使得在所述科里奥利元件(113)的相应偏转中一用于驱动所述至少一个转子(119，119a)的转矩从所述科里奥利元件(113)传递到所述至少一个转子(119，119a)上。
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