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公开(公告)号：CN113195402A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201980085028.0
申请日：2019-12-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种用于封闭MEMS元件中的进口部的方法，该方法包括下述步骤：‑提供具有功能区域的功能层，‑借助于在功能层的功能区域之外的第一进口部在功能层的功能区域的下方制造空腔，‑封闭第一进口部，‑在功能层的功能区域之外制造通向空腔的第二进口部，‑熔化在第二进口部的区域中的封闭材料，和‑冷却已熔化的封闭材料，用以封闭第二进口部。
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公开(公告)号：CN112789240A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201980065389.9
申请日：2019-09-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于在第一晶片和第二晶片之间建立晶片连接的方法，所述方法包括以下步骤：‑提供第一材料和第二材料以形成共晶合金，‑提供第一晶片，该第一晶片具有用于凸模结构的接收结构，‑用所述第一材料填充所述接收结构，‑提供具有凸模结构的第二晶片，其中，在所述凸模结构上布置所述第二材料，‑提供在第一晶片和/或第二晶片上的止挡结构，使得在这两个晶片接合时提供限定的止挡，‑至少将所述第一材料和第二材料至少加热到所述共晶合金的共晶温度，‑将所述第一晶片和第二晶片接合，使得所述凸模结构至少部分地插入到所述接收结构中，其中，确定所述止挡结构、所述接收结构、所述凸模结构的尺寸以及第一材料和第二材料的量，使得在这两个晶片接合之后，这两个材料的共晶合金保留在所述接收结构内并且所述凸模结构至少部分被所述共晶合金包围。
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公开(公告)号：CN112384417A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201980046113.6
申请日：2019-06-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B60T1/06
Abstract: 本发明涉及一种能够控制的致动器机构（1），其具有电子的连接机构（AN），其中，所述致动器机构（1）能够与电运行的车辆（2）的驱动轴连接，由此能够产生针对所述驱动轴的旋转运动的制动作用或止动作用，其中，所述致动器机构（1）能够通过所述电子的连接机构（AN）由控制机构（SE）来控制。
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公开(公告)号：CN111757828A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201980015084.7
申请日：2019-01-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B60T13/66
Abstract: 本发明涉及一种多回路的液压关闭的制动系统(1)、尤其是用于高度自动化车辆或者自动驾驶车辆的制动系统以及一种用于这种制动系统(1)的运行方法，该制动系统具有：至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)，该车轮制动器分别配属于一制动回路(BK1、BK2)；两个多回路的增压器(12、22)，该增压器在液压方面串联在流体容器(7)和至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)之间；以及液压单元(26)，该液压单元用于将增压器(12、22)与至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)液压地连接并且用于在至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)中进行各自独立的制动压力调制。第一增压器(12)是柱塞系统并且配属于主系统(10)，主系统包括第一能量供给器(EV1)和用于操控第一增压器(12)的第一评估及控制单元(14)。第二增压器(22)是泵系统并且配属于次级系统(20)，次级系统包括独立于所述第一能量供给器(EV1)的第二能量供给器(EV2)以及第二评估及控制单元(24)。此外液压单元(26)配属于次级系统(20)，从而液压单元(26)的组件和第二增压器(22)由第二评估及控制单元(24)操控并且由第二能量供给器(EV2)供给能量。
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公开(公告)号：CN107646000B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201680030414.6
申请日：2016-04-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B60T13/52 , B60T13/567 , B60T13/57 , B60T13/72 , B60T13/74 , H01L41/083
Abstract: 本发明涉及一种用于改变液压制动系统(1)的踏板阻力的装置，该装置具有至少一个电活性聚合物致动器(15、16)。设置有反应盘(10)，该反应盘具有至少两个可彼此独立操控的聚合物致动器(15、16)，它们彼此同轴地布置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111051839A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201880058020.0
申请日：2018-06-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器设备和一种相应的制造方法。所述微机械传感器设备构型为具有：具有正侧(VS)和背侧(RS)的传感器衬底(2)；设置在正侧(VS)上的传感器区域(1)，所述传感器区域能够与周围环境介质接触；施加在正侧(VS)上的用于覆盖传感器区域(1)的封盖装置(4)。在封盖装置(4)和/或在传感器衬底(2)中形成有用于将周围环境介质传递到传感器区域(1)上的一个或多个毛细管(3)，其中，在毛细管(3)的内壁(I)上至少局部地设有疏液层(5)。
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公开(公告)号：CN110844877A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201910772912.3
申请日：2019-08-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于制造MEMS传感器的方法，包括以下步骤：-提供在载体层组件的前侧上的功能层，-制造沟以使功能层和载体层组件的布置在功能层下方的部分在侧面上部分地露出以实现机械应力解耦，-移除载体层组件的背侧的部分，其中，形成侧面的载体框架，-构造载体层组件的背侧的在所述移除之后的剩余部分的表面以排出和/或挤出介质。
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公开(公告)号：CN109803917A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201780063229.1
申请日：2017-09-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明提出一种用于制造微机械压力传感器(100)的方法，具有以下步骤：提供具有硅衬底(11)和构造在该硅衬底中的、在传感器膜片(12)下面的第一空腔(13)的MEMS晶片(10)；提供第二晶片(30)；使所述MEMS晶片(10)与所述第二晶片(30)键合；并且使传感器芯(12、13、13a)从背侧开始露出，其中，在传感器芯(12、13、13a)和所述硅衬底(11)的表面之间构造第二空腔(18)，其中，借助蚀刻过程构造所述第二空腔(18)，该蚀刻过程以限定改变的蚀刻参数实施。
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公开(公告)号：CN102387983B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN200980129796.8
申请日：2009-06-15
Applicant: 罗伯特.博世有限公司
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0037 , B81B2201/033 , H02N1/008
Abstract: 本发明涉及一种微机械结构(1)，尤其是传感器或执行器，包括至少一个由至少两个可相互相对调节的结构部段(6，7，8，9)限制的工作间隙(4，5)和包括用于调整该工作间隙宽度的机构。按照本发明规定，该机构通过对至少一个在微机械结构(1)运行期间相对于一个参照点固定的结构部段(6，7)相对于在运行中相对于这个参照点可运动的结构部段(8，9)进行调节来扩宽该工作间隙(4，5)。本发明此外涉及一种用于调整工作间隙宽度的方法。
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公开(公告)号：CN120020082A
公开(公告)日：2025-05-20
申请号：CN202411624635.9
申请日：2024-11-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 一种用于传感器装置、麦克风装置和/或微型扬声器装置的微机械构件，该微机械构件具有覆盖结构(12)，该覆盖结构具有覆盖结构(12)的朝向微机械构件的敏感面(10a)定向的内侧(12a)，该内侧至少部分地跨过微机械构件的敏感面(10a)，并且微机械构件具有至少一个由覆盖结构(12)结构化的空气和/或介质进入开口(14)，空气和/或介质进入开口分别从覆盖结构(12)的内侧(12a)延伸至覆盖结构(12)的从覆盖结构(12)的内侧(12a)离开地定向的外侧(12b)，覆盖结构(12)具有至少两个在覆盖结构(12)的内侧(12a)上突出的接片状的加强结构(24)，加强结构以在两个相邻的加强结构(24)之间的50nm和1500nm之间的范围内的间距彼此平行地定向。
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