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    修正装置
    22.
    发明公开
    修正装置 失效

    公开(公告)号：CN104425199A

    公开(公告)日：2015-03-18

    申请号：CN201410418547.3

    申请日：2014-08-22

    申请人： 日本株式会社日立高新技术科学

    发明人： 荒卷文朗 ,  八坂行人 ,  松田修 ,  杉山安彦 ,  大庭弘 ,  小堺智一 ,  相田和男

    IPC分类号： H01J37/21

    CPC分类号： G21K5/04 ,  G21K1/14 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3053 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/31744

    摘要： 本发明公开一种修正装置，其对于试样的损伤较小，在长时间内稳定且效率良好地进行掩膜等的细微部位的修正。修正装置(10)至少具备：气体电场电离离子源，其具有锐化的针尖；冷却单元，其冷却针尖；离子束镜筒(11)，其使在气体电场电离离子源产生的气体的离子集束，形成集束离子束；试样工作台(15)，其设置经通过离子束镜筒(11)形成的集束离子束照射的试样，并能够移动；试样室(13)，其内置试样工作台(15)；以及控制部(20)，其通过集束离子束修正作为试样的掩膜(14)或纳米压印光刻的模具。气体电场电离离子源以氮作为离子，并具备通过铱单晶构成的针尖，该铱单晶具有能够产生离子的单一的顶点。

    离子束装置
    23.
    发明公开
    离子束装置 有权

    公开(公告)号：CN103733296A

    公开(公告)日：2014-04-16

    申请号：CN201280040502.6

    申请日：2012-05-28

    申请人： 株式会社日立高新技术

    发明人： 武藤博幸 ,  川浪义实

    IPC分类号： H01J27/26 ,  H01J37/08 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317

    CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/31749

    摘要： 在现有的气体离子化室中，存在为了避免辉光放电，只使气压下降，无法通过提高气体导入压力，增大离子电流之类的课题。本发明的目的在于通过提高气体导入压力，增大离子电流，并且防止由离子化引起的离子束散乱。通过从GND电位的结构体供给气体，不在气压更高的离子化气体的导入口附近施加高电压。另外，通过从构成加速集束透镜的透镜电极的透镜开口部进行差压排气，优先减少位于离子束通过的区域的离子化气体。