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    一种连续式PECVD设备
    31.
    发明公开
    一种连续式PECVD设备 有权

    公开(公告)号：CN111041458A

    公开(公告)日：2020-04-21

    申请号：CN201911413582.5

    申请日：2019-12-31

    申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

    发明人： 郭艳 ,  成秋云 ,  吴得轶 ,  李明 ,  李晔纯

    IPC分类号： C23C16/54 ,  C23C16/50 ,  H01L31/18

    摘要： 本发明公开了一种连续式PECVD设备，所述包括载料板、进料平台、反应腔体和出料平台，反应腔体包括依次连接的装载腔、预热腔、工艺腔和卸载腔，装载腔的进料口设有第一隔断阀门，预热腔的的进料口设有第二隔断阀门，预热腔与工艺腔相通，工艺腔的出料口设有第三隔断阀门，卸载腔的出料口设有第四隔断阀门，进料平台设于装载腔的进料口，出料平台设于卸载腔的出料口，进料平台、装载腔、预热腔、工艺腔、卸载腔和出料平台上均设有用于传输载料板的传输机构，载料板用于承载石墨舟，预热腔和工艺腔均设有加热装置，工艺腔连有进气系统。本发明具有缩短了工艺时间、大幅提升了设备产能的优点。

    一种管式真空反应炉
    33.
    发明公开
    一种管式真空反应炉 无效

    公开(公告)号：CN110836604A

    公开(公告)日：2020-02-25

    申请号：CN201810941107.4

    申请日：2018-08-17

    申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

    发明人： 李晔纯 ,  成秋云 ,  罗志敏 ,  张弥涛

    IPC分类号： F27B17/00 ,  F27D1/00 ,  F27D7/06 ,  F27D99/00

    摘要： 本发明公开了一种管式真空反应炉，包括不锈钢炉管、不锈钢前法兰盘、不锈钢后法兰盘、以及炉门，所述不锈钢炉管前端与所述不锈钢前法兰盘焊接，不锈钢炉管后端与所述不锈钢后法兰盘焊接，所述不锈钢前法兰盘中部开设有供反应物载具进出所述不锈钢炉管的进料孔，所述炉门与所述不锈钢前法兰盘的前端面之间设有密封件，所述不锈钢前法兰盘的后端面焊接有进气管，所述不锈钢后法兰盘的中部开设有抽气孔并于抽气孔处焊接有抽气组件。本发明具有结构简单、安装方便、不易出现漏气等优点。

    一种管间资源共用的管式PECVD设备
    34.
    发明公开
    一种管间资源共用的管式PECVD设备 无效

    公开(公告)号：CN109023305A

    公开(公告)日：2018-12-18

    申请号：CN201810989914.3

    申请日：2018-08-28

    申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

    发明人： 李明 ,  吴德轶 ,  郭艳 ,  成秋云 ,  张春成

    IPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/517

    CPC分类号： C23C16/517 ,  C23C16/45512 ,  C23C16/45585

    摘要： 本发明公开了一种管间资源共用的管式PECVD设备，包括炉体柜、真空与压力系统、气路系统、射频系统、第一转换组件、第二转换组件和第三转换组件，所述炉体柜内安装有多根炉管，所述真空与压力系统通过第一转换组件与多根炉管相连，用于实现与不同炉管的连接切换；所述气路系统通过第二转换组件与多根炉管相连，用于实现与不同炉管的连接切换；所述射频系统通过第三转换组件与多根炉管相连，用于实现与不同炉管的连接切换。本发明的管间资源共用的管式PECVD设备具有结构简单、部件利用率高、成本低且占用面积小等优点。

    一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备及其使用方法
    36.
    发明授权
    一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备及其使用方法 失效

    公开(公告)号：CN104167381B

    公开(公告)日：2017-04-12

    申请号：CN201410330437.1

    申请日：2014-07-11

    申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

    发明人： 谢振勇 ,  成秋云 ,  吴得轶 ,  李晔纯 ,  周顺峰

    IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/02

    摘要： 本发明公开了一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备及其使用方法。为了解决现有的紫外光/臭氧表面清洗与氧化改性设备中存在的工艺时间过长，设备自动化程度不高的问题，所述表面清洗与氧化改性设备主要由上下料传送系统、预热腔、工艺腔、冷却腔、真空系统、紫外光光源系统、自动控制与监测系统组成。上下料传送系统采用链轮和链条带动滚轴，滚轴带动轴上小滚球转动的传动方式；预热腔、工艺腔与冷却腔紧凑连接，和上下料传送系统构成连续型结构；真空系统采用两个真空泵来快速地保持各腔室的真空环境。本发明样品清洗和氧化改性效果好，设备安全可靠，操作简单，自动化程度高，极大的提高了生产的质量和效率。

    一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备及其使用方法
    37.
    发明公开
    一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备及其使用方法 失效

    公开(公告)号：CN104167381A

    公开(公告)日：2014-11-26

    申请号：CN201410330437.1

    申请日：2014-07-11

    申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

    发明人： 谢振勇 ,  成秋云 ,  吴得轶 ,  李晔纯 ,  周顺峰

    IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/02

    CPC分类号： H01L21/67011 ,  H01L21/0209

    摘要： 本发明公开了一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备及其使用方法。为了解决现有的紫外光/臭氧表面清洗与氧化改性设备中存在的工艺时间过长，设备自动化程度不高的问题，所述表面清洗与氧化改性设备主要由上下料传送系统、预热腔、工艺腔、冷却腔、真空系统、紫外光光源系统、自动控制与监测系统组成。上下料传送系统采用链轮和链条带动滚轴，滚轴带动轴上小滚球转动的传动方式；预热腔、工艺腔与冷却腔紧凑连接，和上下料传送系统构成连续型结构；真空系统采用两个真空泵来快速地保持各腔室的真空环境。本发明样品清洗和氧化改性效果好，设备安全可靠，操作简单，自动化程度高，极大的提高了生产的质量和效率。

    太阳能电池及其制备方法
    38.
    发明公开
    太阳能电池及其制备方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN116613226A

    公开(公告)日：2023-08-18

    申请号：CN202310706970.2

    申请日：2023-06-14

    申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

    发明人： 李兵 ,  赵增超 ,  成秋云 ,  李明

    IPC分类号： H01L31/0352 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/068 ,  H01L31/18

    摘要： 本发明公开了一种太阳能电池及其制备方法，该电池包括硅基体，在硅基体的背面设有交替排布且成台阶分布的N型隧穿钝化接触结构和P型隧穿钝化接触结构。其制备方法包括采用激光开窗和酸洗的方式在硅片背面形成凹槽并在凹槽的顶部和底部分别制备类型不同且不导通的钝化结构。本发明太阳能电池，通过优化背面的叉指结构，使得不同类型的钝化结构交替排布且成台阶分布，可以显著降低漏电风险，有利于提高电池的转化效率，且高达26.25％，对于实现太阳能电池的大规模推广和应用具有重要意义。本发明制备方法具有工艺简单、易于操作、可精确分离n/p区、易量产等优点，可实现太阳能电池的批量化生产，以及推广应用。