III族氮化物半导体层积晶圆及III族氮化物半导体设备

    公开(公告)号:CN102484076A

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201080038234.5

    申请日:2010-08-23

    CPC分类号: H01L29/7785 H01L29/2003

    摘要: 本发明提供一种击穿电场强度较大且结晶缺陷较少的常关型III族氮化物半导体设备、及用于制作该III族氮化物半导体设备的III族氮化物半导体层积晶圆。III族氮化物半导体层积晶圆(10)包括:基板27,其由AlN构成且具有沿该AlN结晶的c轴的主面(27a);第一AlX1InY1Ga1-X1-Y1N层(13),其由含有Al的III族氮化物系半导体构成且设置在主面(27a)上;以及第二AlX2InY2Ga1-X2-Y2N层(15),其设置在主面(27a)上,由带隙比第一AlX1InY1Ga1-X1-Y1N层(13)更大的III族氮化物系半导体构成,并且与第一AlX1InY1Ga1-X1-Y1N层(13)形成异质结。

    波长变换元件和制造波长变换元件的方法

    公开(公告)号:CN102105835A

    公开(公告)日:2011-06-22

    申请号:CN200980128974.5

    申请日:2009-07-28

    IPC分类号: G02F1/355 G02F1/377

    摘要: 本发明公开了一种具有提高的性能保持寿命的波长变换元件。也公开了一种制造波长变换元件的方法。波长变换元件(10a)具有光波导(13),并对从所述光波导(13)的一端(13a)侧输入的入射光(101)的波长进行变换,使得从所述光波导(13)的另一端(13b)侧输出出射光(102)。所述波长变换元件(10a)包含由AlxGa(1-x)N(0.5≤x≤1)构成的第一晶体(11)和组成与所述第一晶体(11)相同的第二晶体(12)。所述第一晶体和第二晶体(11,12)形成畴相反结构,在所述畴反转结构中极化方向沿所述光波导(13)周期性反转。所述畴相反结构对于所述入射光(101)满足准相位匹配条件。所述第一晶体和第二晶体(11,12)中的至少一种晶体具有1×103cm-2以上且小于1×107cm-2的位错密度。

    A1N衬底及其清洗方法
    48.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101312165B

    公开(公告)日:2010-06-02

    申请号:CN200810130625.4

    申请日:2005-07-01

    摘要: AlxGayIn1-x-yN衬底及其清洗方法,AlN衬底及其清洗方法提供了一种AlxGayIn1-x-yN衬底,其中当AlxGayIn1-x-yN衬底的直径为2英寸时,AlxGayIn1-x-yN衬底一个表面上晶粒大小至少为0.2μm的粒子数至多为20,以及可以获得该AlxGayIn1-x-yN衬底的清洗方法。此外,提供了一种AlxGayIn1-x-yN衬底(51),其中在通过X射线光电子能谱学方法以10°检测角获得的该AlxGayIn1-x-yN衬底(51)表面光电子能谱中,C1s电子的峰面积和N1s电子的峰面积之间的比例至多为3,以及可以获得该AlxGayIn1-x-yN衬底的清洗方法。另外,提供了一种AlN衬底(52),其中在通过X射线光电子能谱学方法以10°检测角获得的AlN衬底(52)表面的光电子能谱中,Al2s电子峰面积和N1s电子峰面积之间的比例至多为0.65,以及可以获得该AlN衬底的清洗方法。

    制造波长变换器的方法和波长变换器

    公开(公告)号:CN101644871A

    公开(公告)日:2010-02-10

    申请号:CN200910164134.6

    申请日:2009-08-06

    IPC分类号: G02F1/365

    摘要: 本发明提供一种制造波长变换器的方法和由此能够提高透射率的波长变换器。制造波长变换器(10a)的方法包括下列步骤。首先,生长晶体。然后,以使畴彼此相反的方式将所述晶体分割成两个以上的部分,从而形成第一晶体(11)和第二晶体(12)。接着,以形成畴相反结构且所述畴相反结构对于所述入射光束(101)满足准相位匹配条件的方式对所述第一晶体(11)和第二晶体(12)进行嵌合,在所述畴相反结构中所述第一晶体(11)和第二晶体(12)的极向沿光波导(13)周期性反转。