公开(公告)号：CN102479808A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201110380604.X

申请日：2011-11-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 皮在贤 ,  李宜珩 ,  崔朱逸 ,  金晶焕

IPC: H01L29/41 ,  H01L21/28

CPC classification number: H01L29/0657 ,  H01L21/76898 ,  H01L23/481 ,  H01L23/49827 ,  H01L24/11 ,  H01L24/13 ,  H01L24/48 ,  H01L24/97 ,  H01L25/0657 ,  H01L2224/02372 ,  H01L2224/05571 ,  H01L2224/13006 ,  H01L2224/13017 ,  H01L2224/13024 ,  H01L2224/13025 ,  H01L2224/13076 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/97 ,  H01L2225/0651 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/06544 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/07802 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2224/81 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207

Abstract: 本发明提供了半导体器件及其制造方法。根据本发明构思的半导体器件可以包括衬底，该衬底具有带有电路图案的上表面、与所述上表面相对的下表面和穿过所述衬底的穿透电极。所述穿透电极可以包括从所述下表面突出的突出部分。所述衬底可以包括支撑部分，该支撑部分从所述下表面朝向所述突出部分延伸以围绕所述突出部分的周向侧面。

公开(公告)号：CN102479808B

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201110380604.X

申请日：2011-11-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 皮在贤 ,  李宜珩 ,  崔朱逸 ,  金晶焕

IPC: H01L29/41 ,  H01L21/28

CPC classification number: H01L29/0657 ,  H01L21/76898 ,  H01L23/481 ,  H01L23/49827 ,  H01L24/11 ,  H01L24/13 ,  H01L24/48 ,  H01L24/97 ,  H01L25/0657 ,  H01L2224/02372 ,  H01L2224/05571 ,  H01L2224/13006 ,  H01L2224/13017 ,  H01L2224/13024 ,  H01L2224/13025 ,  H01L2224/13076 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/97 ,  H01L2225/0651 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/06544 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/07802 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2224/81 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207

Abstract: 本发明提供了半导体器件及其制造方法。根据本发明构思的半导体器件可以包括衬底，该衬底具有带有电路图案的上表面、与所述上表面相对的下表面和穿过所述衬底的穿透电极。所述穿透电极可以包括从所述下表面突出的突出部分。所述衬底可以包括支撑部分，该支撑部分从所述下表面朝向所述突出部分延伸以围绕所述突出部分的周向侧面。

公开(公告)号：CN107946197A

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201710946013.1

申请日：2017-10-11

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 皮在贤 ,  李镐珍 ,  金泰成 ,  文光辰 ,  安振镐 ,  李来寅

IPC: H01L21/48 ,  H01L21/50

Abstract: 一种制造半导体封装的方法包括：在插片基板的第一表面上形成光致抗蚀剂图案。所述插片基板包括电极区和划线区。使用光致抗蚀剂图案作为掩模来刻蚀插片基板，以形成分别在电极区和划线区上的第一开口和第二开口。绝缘层和导电层形成于插片基板的第一表面上。第二开口的宽度小于第一开口的宽度。绝缘层接触插片基板的第一表面、第一开口的内表面和第二开口的内表面中的每一个。