安装方法和安装装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109643666A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201780050772.8

    申请日:2017-08-23

    发明人: 新井义之

    IPC分类号: H01L21/60

    摘要: 本发明的课题在于,将半导体芯片高精度且稳定地安装于电路基板。具体来说,将第1面被保持于载体基板的切割后的半导体芯片安装在载置台所载置的电路基板上,其特征在于,该安装方法依次执行如下的工序:粘合片粘贴工序,将所述半导体芯片的第2面粘贴在粘合片上,该第2面是与被保持于所述载体基板的所述第1面相反的一侧的面;载体基板去除工序,将所述载体基板从所述半导体芯片去除;粘合力降低工序,使所述粘合片的粘合力降低;以及安装工序,通过利用头部对所述半导体芯片的所述第1面侧进行保持而将所述半导体芯片从所述粘合片剥离,通过将所述第2面侧接合在所述电路基板上而将所述半导体芯片安装于所述电路基板。