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公开(公告)号:CN101826548B
公开(公告)日:2012-10-24
申请号:CN201010123974.0
申请日:2010-02-26
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L51/52 , H01L27/3265 , H01L2227/323
Abstract: 本发明提供了一种有机发光二极管(OLED)显示装置及其制造方法。所述OLED显示装置包括:基底,具有薄膜晶体管区域和电容器区域;缓冲层,设置在所述基底上;栅极绝缘层,设置在基底上;下电容器电极,设置在电容器区域中的栅极绝缘层上;层间绝缘层,设置在基底上;上电容器电极,设置在层间绝缘层上并且面对下电容器电极,其中,缓冲层、栅极绝缘层、层间绝缘层、下电容器电极和上电容器电极中的每个的区域具有这样的表面,在这些表面中形成形状与半导体层的晶界的形状相同的突起。所得电容器具有增加的表面面积,因此增大了电容。
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公开(公告)号:CN102386090A
公开(公告)日:2012-03-21
申请号:CN201110235311.2
申请日:2011-08-16
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: H01L21/324 , H01L29/786 , H01L51/50
CPC classification number: H01L29/78675 , H01L21/3226 , H01L27/1277 , H01L27/3262 , H01L29/66757
Abstract: 一种形成多晶硅层的方法,包括:在基板上形成非晶硅层;在所述非晶硅层上形成金属催化剂;在形成所述金属催化剂的所述非晶硅层的整个表面上形成吸杂金属层;以及执行热处理。一种薄膜晶体管包括所述多晶硅层,并且一种有机发光器件包括所述薄膜晶体管。
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公开(公告)号:CN1983571B
公开(公告)日:2011-09-14
申请号:CN200610166982.7
申请日:2006-12-13
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: H01L23/00 , H01L29/786 , H01L27/32 , H01L21/20 , H01L21/336 , H01L21/84 , C30B29/06
CPC classification number: H01L21/02672 , H01L21/02532 , H01L27/1277
Abstract: 本发明公开了一种多晶硅层,一种使用所述多晶硅层的平板显示器及其制造方法。所述多晶硅层通过使用超晶粒硅结晶(SGS)技术结晶非晶硅层的籽晶区而形成。所述籽晶区的结晶度扩散入籽晶区之外的结晶区。所述结晶区形成为可以被结合以制成驱动平板显示器的薄膜晶体管的半导体层。用本发明的方法制成的所述半导体层提供了一致的晶界的生长,并且改善了由所述半导体层制成的薄膜晶体管的特性。
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公开(公告)号:CN101942640A
公开(公告)日:2011-01-12
申请号:CN201010224415.9
申请日:2010-07-07
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Inventor: 罗兴烈 , 李基龙 , 徐晋旭 , 郑珉在 , 洪钟元 , 姜有珍 , 张锡洛 , 梁泰勋 , 郑胤谟 , 苏炳洙 , 朴炳建 , 伊凡·马伊达楚克 , 李东炫 , 李吉远 , 白原奉 , 朴钟力 , 崔宝京 , 郑在琓
IPC: C23C14/24 , C23C16/448 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45525 , C23C16/4481 , C23C16/45544 , C23C16/52 , Y10T137/6416
Abstract: 本发明公开一种用于沉积装置的罐和一种利用该罐的沉积装置和方法,所述罐在原料通过原子层沉积被沉积在基板上时能够保持包含在供应到沉积室的反应气体中的原料的预定量,该罐包括:主体、被配置为存储原料的原料存储器、设置在所述主体的外侧的加热器以及被配置为控制所述原料从所述原料存储器供应到所述主体的第一供给控制器。
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公开(公告)号:CN101771087A
公开(公告)日:2010-07-07
申请号:CN200910258925.5
申请日:2009-12-30
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: H01L29/786 , H01L29/38 , H01L21/336 , H01L21/322 , H01L27/32
CPC classification number: H01L29/66765 , H01L21/02488 , H01L21/02532 , H01L21/02672 , H01L29/66757 , H01L29/78696
Abstract: 一种薄膜晶体管、制备该薄膜晶体管的方法以及装备有该薄膜晶体管的有机发光二极管(OLED)显示设备,其中该薄膜晶体管包括:基板、置于所述基板上的缓冲层、置于所述缓冲层上的第一半导体层和第二半导体层、与所述第一半导体层和所述第二半导体层绝缘的栅极电极、将所述栅极电极与所述第一半导体层和所述第二半导体层绝缘的栅极绝缘层、以及与所述栅极电极绝缘并且部分连接到所述第二半导体层的源极和漏极电极,其中所述第二半导体层置于所述第一半导体层上。
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公开(公告)号:CN101494242A
公开(公告)日:2009-07-29
申请号:CN200910001981.0
申请日:2009-01-24
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: H01L29/786 , H01L29/43 , H01L21/336 , H01L27/32
CPC classification number: H01L29/458 , H01L21/02488 , H01L21/02532 , H01L21/02672 , H01L27/1277 , H01L29/66765
Abstract: 本发明涉及一种薄膜晶体管(TFT)及其制备方法,以及包含所述TFT的有机发光二极管(OLED)显示装置;所述TFT包括衬底、布置在衬底上的栅极、布置在栅极上的栅绝缘层、布置在栅绝缘层上并使用金属催化剂结晶的半导体层,以及布置在半导体层上并电连接到半导体层的源区和漏区的源极和漏极。将第二金属扩散到所述半导体层的表面区域里,以吸除所述半导体层的沟道区中的金属催化剂。第二金属在硅中的扩散系数比上述金属催化剂更低。
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公开(公告)号:CN100501547C
公开(公告)日:2009-06-17
申请号:CN200610121898.3
申请日:2004-02-12
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: G02F1/136 , G02F1/1362 , H01L29/786
Abstract: 本发明公开了一种具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置,其包括:开关薄膜晶体管,用于传输数据信号;以及驱动薄膜晶体管,用于驱动有机场致发光装置,使得一定量的电流根据数据信号流经有机场致发光装置,其中,对于单位面积的有源沟道,形成在驱动薄膜晶体管的有源沟道区中并与电流方向线相交的多晶硅晶界的平均数比形成在开关薄膜晶体管的有源沟道区中并与电流方向线相交的多晶硅晶界的平均数大至少一个或更多个。
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公开(公告)号:CN100490072C
公开(公告)日:2009-05-20
申请号:CN200610121417.9
申请日:2006-07-12
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: H01L21/20 , H01L21/268 , H01L21/336 , H01L21/84 , H01L21/00 , B23K26/073
CPC classification number: H01L21/02532 , H01L21/0268 , H01L21/02691 , H01L27/1285
Abstract: 本发明公开了一种用于薄膜晶体管的多晶薄膜的形成方法、在该方法中使用的掩模以及利用该用于薄膜晶体管的多晶薄膜的形成方法制造平板显示装置的方法。一些实施例能够提供这样的显示设备,其中多晶薄膜被均匀结晶以减少亮度的不均匀。在用于薄膜晶体管的多晶薄膜的形成方法中,非晶材料利用激光和具有一个或多个透射区域组混合结构的掩模结晶,该透射区域组每个都包括一个或多个激光光束能够穿过的透射区域和一个或多个激光光束不能穿过的非透射区域。激光光束被引导到材料的重叠区域。
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公开(公告)号:CN100474627C
公开(公告)日:2009-04-01
申请号:CN200310109779.2
申请日:2003-12-16
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: H01L29/786 , G02F1/136 , G09F9/30
CPC classification number: H01L29/78696 , H01L27/1296 , H01L29/04 , H01L29/66757 , H01L29/78621 , H01L29/78675
Abstract: 本发明公开了一种薄膜晶体管(TFT),包含轻掺杂漏区(LDD)或偏移区,其中,形成薄膜晶体管,以便多晶硅衬底中的主晶粒边界不位于轻掺杂漏区(LDD)或偏移区中。
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公开(公告)号:CN102312218A
公开(公告)日:2012-01-11
申请号:CN201110006623.6
申请日:2011-01-10
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Inventor: 郑珉在 , 李基龙 , 洪钟元 , 罗兴烈 , 姜有珍 , 张锡洛 , 徐晋旭 , 梁泰勋 , 郑胤谟 , 苏炳洙 , 朴炳建 , 李东炫 , 李吉远 , 白原奉 , 朴钟力 , 崔宝京 , 伊凡·马伊达楚克 , 郑在琓
IPC: C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/44
CPC classification number: C23C16/4481 , C23C16/45525 , C23C16/52
Abstract: 一种用于沉积装置的罐和使用罐的沉积装置,并且更为具体地,一种能够提供包含在供应到沉积室中的反应气体中的均匀量的原材料并且提高原材料供应的安全性的沉积装置的罐,以及使用罐的沉积装置。该沉积装置包括:沉积室;将反应气体供应到该沉积室的罐;以及用于将载气供应到罐的载气供应器,其中该罐包括主体、加热该主体的加热单元以及布置在该主体下方的温度测量单元。
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