氮化物系半导体发光元件

    公开(公告)号:CN100517773C

    公开(公告)日:2009-07-22

    申请号:CN03159402.6

    申请日:2003-09-18

    CPC classification number: H01L33/02 H01L33/32 H01L33/38

    Abstract: 本发明提供一种氮化物系半导体发光元件,该氮化物系半导体发光元件通过减少在接触层的光吸收损失,可提高发光效率。该氮化物系半导体发光元件具备在基板上形成的第1导电型的第1氮化物系半导体层,形成于第1氮化物系半导体层上的由氮化物系半导体层构成的活性层,形成于活性层上的第2导电型的第2氮化物系半导体层,形成于第2氮化物系半导体层上的未掺杂接触层和形成于未掺杂接触层上的电极。

    氮化物类半导体发光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101043121A

    公开(公告)日:2007-09-26

    申请号:CN200610154358.5

    申请日:2006-09-22

    Abstract: 本发明得到一种能够抑制特性降低和合格率降低的氮化物类半导体发光元件的制造方法。该氮化物类半导体发光元件的制造方法包括:通过将与氮化物类半导体基板的发光部分对应的氮化物类半导体基板的第一区域以外的第二区域的规定区域有选择地去除到规定的深度,在氮化物类半导体基板上形成槽部的工序;和在氮化物类半导体基板的第一区域和槽部,形成其组成与该氮化物类半导体基板不同的氮化物类半导体层的工序。

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