氮化物类半导体元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101202421A

    公开(公告)日:2008-06-18

    申请号:CN200710186168.6

    申请日:2007-11-30

    Abstract: 本发明提供一种氮化物类半导体元件,该氮化物类半导体元件包括:由氮化物类半导体构成的基板;在基板上形成的、由形成有向第一方向延伸的光波导的氮化物类半导体构成的氮化物类半导体层;在至少除光波导的端面附近以外的区域,沿光波导延伸的第一方向,在与基板的形成有氮化物类半导体层的一侧相反的一侧的表面上形成的第一台阶部。

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