制作薄膜晶体管的方法及薄膜晶体管

    公开(公告)号:CN104241139B

    公开(公告)日:2017-11-10

    申请号:CN201410433014.2

    申请日:2014-08-28

    IPC分类号: H01L21/336 H01L29/786

    CPC分类号: H01L29/786

    摘要: 本发明公开了一种制作低温多晶硅薄膜晶体管的方法及低温多晶硅薄膜晶体管。该方法包括:利用光刻胶图案对栅极金属层进行刻蚀操作,形成栅极中间图案,所述栅极中间图案的尺寸大于栅极目标图案的尺寸;利用所述光刻胶图案进行遮挡,在多晶硅层形成n+区;采用干法刻蚀工艺去除所述栅极中间图案相对于所述栅极目标图案的多余部分,得到所述栅极目标图案;利用所述栅极目标图案进行遮挡,在所述多晶硅层中形成n‑区。本发明制作的薄膜晶体管的n‑区的精度可以满足低温多晶硅薄膜晶体管对LDD结构尺寸的精确控制,同时简化了LTPS TFF的制作工艺流程。