分离装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104795345A

    公开(公告)日:2015-07-22

    申请号:CN201510031095.8

    申请日:2015-01-21

    IPC分类号: H01L21/67 H01L33/00

    摘要: 本发明提供分离装置,其能够将由第1基板和第2基板接合而成的复合基板分离成第1基板和第2基板。分离装置具备:支承基座,其具备以水平状态支承复合基板的支承面;侧面支承构件,其配设于该支承基座以支承复合基板的外周侧面;剥离构件,其插入第1基板和第2基板的边界部而将它们板剥离,剥离构件包括:剥离部件,其以与支承面平行的状态配设于面对侧面支承构件的位置,具备用于插入边界部的楔部,并具有在楔部的末端开口的气体喷出孔;气体供给构件,其向气体喷出孔供给气体;剥离部件定位构件,其使剥离部件沿与支承基座的支承面垂直的方向移动,将楔部定位于边界部;和剥离部件进退构件,其使楔部相对于边界部前进或后退。

    撕膜机构
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104553249A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201310514287.5

    申请日:2013-10-28

    发明人: 吕小勇 邓小名

    IPC分类号: B32B38/10

    摘要: 一种撕膜机构,用于辅助机械手撕离工件表面的保护膜,该撕膜机构包括用以承载该工件的固定座、设置于该固定座上并与外部气源相连通的吹气件及邻近该吹气件设置的夹持组件,该吹气件上贯穿开设有出气孔,该夹持组件包括连接在该机械手上并对应该出气孔的承接件及设置于该承接件上的驱动件,该出气孔输出高压气流以将该工件上的保护膜的边缘吹起至贴附于该承接件上,该驱动件能够与该承接件相配合以夹紧附着于该承接件上的保护膜,以允许该机械手带动该夹持组件远离该固定座从而将该保护膜从该工件上撕离。上述撕膜机构撕膜效率高且不损伤工件表面。