一种绝缘灌封方法及功率半导体器件

    公开(公告)号:CN115799085A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211426344.X

    申请日:2022-11-15

    IPC分类号: H01L21/56 H01L23/31

    摘要: 本发明公开了一种绝缘灌封方法及功率半导体器件,该方法包括:在待灌封样品表面形成涂覆层;在待灌封样品形成涂覆层的表面进行第一层灌封,第一层灌封包括第一灌胶和第一脱气处理,第一脱气处理包括多次真空和正压处理;在待灌封样品进行第一层灌封后的表面进行第二层灌封。通过实施本发明,对待灌封样品构建了三道保护防线,其中,形成的涂覆层能够降低局放起始电压,第一层灌封能够对待灌封样品进行绝缘保护,第二层灌封起到支撑和导热作用,同时能够更好的隔绝外部环境水汽,提高器件可靠性。并且,在进行第一层灌封时,第一脱气处理采用真空和正压反复处理,能够通过改变气体的逃逸系数,促使气泡排除/破裂,从而实现无缺陷灌封。

    一种利用有机硅凝胶灌封IGBT器件的系统

    公开(公告)号:CN116646258A

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN202310592212.2

    申请日:2023-05-24

    摘要: 本发明公开一种利用有机硅凝胶灌封IGBT器件的系统,涉及材料灌封技术领域,腔体上开设第一通孔、第二通孔和第三通孔,抽气泵的一端通过第一通孔与腔体的内部连通,抽气泵的另一端与第一三通阀的第一端连接,第一三通阀的第二端与废气处理装置连接,第一三通阀的第三端与第一绝缘气体存储容器连接;第二绝缘气体存储容器与第二三通阀的第一端连接,第二三通阀的第二端通过第二通孔与腔体的内部连通,第二三通阀的第三端与外界环境连接;硅凝胶注入装置通过第三通孔伸入至腔体的内部,实现对放置在腔体的内部的IGBT器件的灌封,本发明增设了两个绝缘气体存储容器和废气处理装置,提高了利用有机硅凝胶灌封得到的IGBT器件的耐压水平。

    一种压接型功率半导体器件压力分布测试装置及测试方法

    公开(公告)号:CN115790934A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211439668.7

    申请日:2022-11-17

    IPC分类号: G01L5/00 G01L1/25

    摘要: 本发明公开了一种压接型功率半导体器件压力分布测试装置及测试方法,该装置包括:基座,用于和待测器件连接,保持待测器件的正常工作;压力测量装置,测量施加在待测器件的整体压力值;超声波发射接收传感器,测量待测器件内部每个芯片的相对压力;处理器,用于接收整体压力值和相对压力,获取待测器件内部每个芯片压力值。通过设置基座,为待测器件提供通流能力,还可以作为待测器件进行压力测试时的物理载体;设置超声波发射接收传感器以及压力测量装置实现了芯片相对压力以及器件整体压力的测量;设置处理器计算得到待测器件内部每个芯片压力值。解决了现有技术中无法对工作状态下压接型功率半导体器件内部芯片压力进行准确测试的问题。

    含气泡硅凝胶样品的制备方法、气泡含量检测方法及系统

    公开(公告)号:CN115877153A

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202211545915.1

    申请日:2022-12-05

    IPC分类号: G01R31/20

    摘要: 本发明提供一种含气泡硅凝胶样品的制备方法、气泡含量检测方法及系统,属于高压绝缘领域,制备方法包括:将硅凝胶样品分为三份;将第一份硅凝胶样品灌封进容器中,并进行脱气处理;对第二份硅凝胶样品进行搅拌,以使第二份硅凝胶样品中引入气泡,并将搅拌后的第二份硅凝胶样品倒入容器中;对第三份硅凝胶样品进行脱气处理,并将脱气处理后的第三硅凝胶样品倒入容器中,以得到含气泡硅凝胶样品;能够在不破坏硅凝胶完整性的前提下,制备目标位置处含气泡的硅凝胶样品。通过采集含气泡硅凝胶样品的图像,并对图像的RGB值进行加权求和,结合无气泡硅凝胶样品图像中像素的灰度平均值,准确计算出含气泡硅凝胶样品的气泡含量。