公开(公告)号：CN103907194B

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：CN201280053027.6

申请日：2012-05-07

Applicant: 天工方案公司

Inventor： S.L.佩蒂-威克斯 ,  G.张 ,  H.B.莫迪

IPC: H01L23/66 ,  H01L21/60 ,  H05K3/24 ,  H05K1/02

CPC classification number: H01L24/85 ,  H01L23/66 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/73 ,  H01L2223/6611 ,  H01L2223/6655 ,  H01L2223/6677 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48159 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2224/48644 ,  H01L2224/48844 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/85444 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/1305 ,  H01L2924/13051 ,  H01L2924/1421 ,  H01L2924/1423 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19042 ,  H01L2924/19105 ,  H01L2924/3011 ,  H05K1/0243 ,  H05K3/244 ,  H05K2201/0341 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 本公开涉及一种用于高性能射频(RF)应用的传输线。一种这样的传输线可以包括配置用于接收RF信号的接合层、阻挡层、扩散阻挡层和紧邻扩散阻挡层的导电层。所述扩散阻挡层可以具有允许所接收的RF信号穿透扩散阻挡层到达导电层的厚度。在某些实施例中，扩散阻挡层可以是镍。在这些实施例的一些中，传输线可以包括金接合层、钯阻挡层和镍扩散阻挡层。

公开(公告)号：CN103907194A

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201280053027.6

申请日：2012-05-07

Applicant: 天工方案公司

Inventor： S.L.佩蒂-威克斯 ,  G.张 ,  H.B.莫迪

IPC: H01L29/417 ,  H04B1/40

CPC classification number: H01L24/85 ,  H01L23/66 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/73 ,  H01L2223/6611 ,  H01L2223/6655 ,  H01L2223/6677 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48159 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2224/48644 ,  H01L2224/48844 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/85444 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/1305 ,  H01L2924/13051 ,  H01L2924/1421 ,  H01L2924/1423 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19042 ,  H01L2924/19105 ,  H01L2924/3011 ,  H05K1/0243 ,  H05K3/244 ,  H05K2201/0341 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 本公开涉及一种用于高性能射频(RF)应用的传输线。一种这样的传输线可以包括配置用于接收RF信号的接合层、阻挡层、扩散阻挡层和紧邻扩散阻挡层的导电层。所述扩散阻挡层可以具有允许所接收的RF信号穿透扩散阻挡层到达导电层的厚度。在某些实施例中，扩散阻挡层可以是镍。在这些实施例的一些中，传输线可以包括金接合层、钯阻挡层和镍扩散阻挡层。