用于横向分离半导体晶片的方法以及光电子器件

    公开(公告)号:CN101253660A

    公开(公告)日:2008-08-27

    申请号:CN200680031538.2

    申请日:2006-08-07

    IPC分类号: H01S5/323 H01S5/02 H01L33/00

    摘要: 一种根据本发明的用于横向分离半导体晶片(1)的方法,包括以下方法步骤:提供生长衬底(2);将半导体层序列(3)外延生长到生长衬底(2)上,该半导体层序列包括功能半导体层(5);将掩模层(10)施加到半导体层序列(3)的部分区域上,以产生被屏蔽的区域(11)和未被屏蔽的区域(12);通过未被屏蔽的区域(12)注入离子,在半导体晶片(1)中产生注入区(13);以及沿着注入区(13)分离半导体晶片(1),其中生长衬底(2)或者生长衬底(2)的至少一部分被从半导体晶片分离。