具有平面性调整机构的探针接触系统

    公开(公告)号:CN1302286C

    公开(公告)日:2007-02-28

    申请号:CN01115732.1

    申请日:2001-05-31

    CPC classification number: G01R1/07342 G01R1/06794 G01R1/07378

    Abstract: 一种探针接触系统的平面性调整机构,包括:接触基片,其表面上有大量的接触器;探针板,在接触器和测试头之间建立电信连接;导电弹性体,位于接触基片和探针板之间;连接件,在三个位置上连接接触基体和探针板,并可通过调节连接件来改变接触基片与探针板的间隙;间隙传感器,用于测量接触基片与半导体晶片的间隙;以及旋转调节机构,通过调节连接件,使接触基体和每一个位置的半导体晶片之间的间隙相等。这种机构简单并且低廉。

    具有平面性调整机构的探针接触系统

    公开(公告)号:CN1336549A

    公开(公告)日:2002-02-20

    申请号:CN01115732.1

    申请日:2001-05-31

    CPC classification number: G01R1/07342 G01R1/06794 G01R1/07378

    Abstract: 一种探针接触系统的平面性调整机构,包括:接触基片,其表面上有大量的接触器;探针板,在接触器和测试头之间建立电信连接;导电弹性体,位于接触基片和探针板之间;连接件,在三个位置上连接接触基体和探针板,并可通过调节连接件来改变接触基片与探针板的间隙;间隙传感器,用于测量接触基片与半导体晶片的间隙;以及旋转调节机构,通过调节连接件,使接触基体和每一个位置的半导体晶片之间的间隙相等。这种机构简单并且低廉。

Patent Agency Ranking