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公开(公告)号：CN111376282B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN201911345943.7
申请日：2019-12-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 神谷俊幸
Abstract: 一种力检测装置，以正交的第一轴线和第二轴线中的所述第一轴线为力的检测轴，其具有：层叠体，依次层叠有第一电极、第一石英板、第二电极、第二石英板、第三电极、第三石英板、第四电极、第四石英板、以及第五电极；以及力检测电路，基于从第二电极输出的电荷和从第四电极输出的电荷，检测第一轴线方向的力，第一石英板的+X方向与第二石英板的+X方向朝向相反方向，第三石英板的+X方向与第四石英板的+X方向朝向相反方向，第二石英板的+X方向与第一轴线的一方向所成的角不同于第四石英板的+X方向与第一轴线的一方向所成的角，第二石英板的+X方向与第二轴线的一方向所成的角等于第四石英板的+X方向与第二轴线的一方向所成的角。
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公开(公告)号：CN110774314A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201910690292.9
申请日：2019-07-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了能够对力传感器的异常进行检测的刚性较高的机器人及机器人的异常检测方法。机器人的特征在于，具有：机械臂；第一部件及第二部件，在所述机械臂的基台和被设置部之间配置；第一力传感器及第二力传感器，与所述第一部件及所述第二部件双方相接，在以所述基台和所述被设置部排列的方向作为法线方向的平面上配置；假想直线上分量运算部，根据所述第一力传感器的输出求出假想直线上的平移力分量作为第一平移力分量，根据所述第二力传感器的输出求出所述假想直线上的平移力分量作为第二平移力分量；以及判断部，基于所述第一平移力分量和所述第二平移力分量的差，在判断所述第一力传感器或所述第二力传感器异常的情况下，输出信号。
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公开(公告)号：CN104596675B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201410573529.2
申请日：2014-10-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件的特征在于，在将相互正交的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，分别至少具有：一张第一压电板，其由X截割水晶板构成并根据沿着A轴方向的外力而输出电荷；一张第二压电板，其由Y截割水晶板构成，沿A轴方向与第一压电板层叠，并根据B轴方向的外力而输出电荷；一张第三压电板，其由Y截割水晶板构成，以在其与第一压电板之间夹持第二压电板的方式，并且以绕A轴旋转的配置沿A轴方向层叠，并根据C轴方向的外力而输出电荷。
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公开(公告)号：CN104614118B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201410610416.5
申请日：2014-11-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种力检测装置、机器人以及电子部件输送装置。力检测装置具备第一基部、第二基部、以及配置于它们之间的电荷输出元件。电荷输出元件具有由Y切向水晶板构成的第一基板以及由Y切向水晶板构成的第二基板，这些基板沿与第二基部的安装面的法线正交的方向层叠。而且，力检测装置基于与和第一基板的层叠方向正交的第一检测方向的剪切力对应的第一输出以及与和第二基板的层叠方向正交、和第一检测方向交叉的第二检测方向的剪切力对应的第二输出对外力进行检测。
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公开(公告)号：CN106092421A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610570110.0
申请日：2012-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器器件、传感器模块、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于所述封装；以及盖体，其对所述封装进行密封，所述传感器元件具有供所述盖体接触的接触面，所述封装具有供所述盖体接合的接合面，所述接触面与所述接合面不位于同一平面，所述传感器元件是通过板状基板层积而成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104614118A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201410610416.5
申请日：2014-11-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B25J13/085 , B25J9/1633 , B25J9/1694 , G01L1/16 , G01L1/18 , G01L5/00 , G01L5/009 , G01L5/167 , G01L5/226 , G01P15/09 , G01P15/18 , H01L41/042 , H01L41/083 , H01L41/1132 , H02N2/0095 , Y10S901/46
Abstract: 本发明提供一种力检测装置、机器人以及电子部件输送装置。力检测装置具备第一基部、第二基部、以及配置于它们之间的电荷输出元件。电荷输出元件具有由Y切向水晶板构成的第一基板以及由Y切向水晶板构成的第二基板，这些基板沿与第二基部的安装面的法线正交的方向层叠。而且，力检测装置基于与和第一基板的层叠方向正交的第一检测方向的剪切力对应的第一输出以及与和第二基板的层叠方向正交、和第一检测方向交叉的第二检测方向的剪切力对应的第二输出对外力进行检测。
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公开(公告)号：CN104596678A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410583871.0
申请日：2014-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。所述力检测装置具备：第一基部；第二基部；元件，其被设置在第一基部与第二基部之间，根据外力来输出电荷；转换电路，其将从元件输出的电荷转换为电压；补偿用转换电路，其对转换电路进行温度补偿；温度传感器，其检测转换电路的温度；以及外力运算电路，其根据温度传感器的检测结果、从转换电路输出的电压、和从补偿用转换电路输出的电压来运算外力。
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公开(公告)号：CN100463182C
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN200510112895.9
申请日：2005-10-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种在制造工序以及制造之后，难以导致特性劣化，并且可靠性高的铁电体存储器及其制造方法。根据本发明的铁电体存储器(1000)的制造方法，包括以下工序：(a)通过在基板(10)的上方依次层积下部电极层(20)、铁电体层(30)、以及上部电极层(40)，形成铁电体层积体；(b)对铁电体层积体进行图案形成，形成铁电体电容器(100)；(c)供给氧气的同时通过物理气相沉积法，形成覆盖铁电体电容器(100)的第一屏障膜(50)；(d)通过原子层化学气相沉积法，形成覆盖第一屏障膜(50)的第二屏障膜(60)。
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公开(公告)号：CN109773830B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN201811343639.4
申请日：2018-11-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供一种便利性良好、高精度、高灵敏度的力检测系统，此外还提供一种具备该力检测系统的机器人。该力检测系统的特征在于，具备：力检测部，输出与外力对应的信号；第一输出部，输出基于从所述力检测部输出的信号的第一数据；以及第二输出部，利用与所述第一输出部不同的系统，输出基于从所述力检测部输出的信号的第二数据。所述第一数据与所述第二数据相互不同。
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公开(公告)号：CN104596681B
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN201410594251.7
申请日：2014-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种传感器设备、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置，该传感器设备具有：电荷输出元件，其具有多个压电体以及形成在各压电体之间的内部电极；外壳，其收纳电荷输出元件；第一导电性膏，其与多个内部电极电连接；以及第二导电性膏，其将第一导电性膏与输出端子电连接，并且与第一导电性膏相比弹性模量较低。另外，第一导电性膏的杨氏模量在3.4GPa以上5.0GPa以下，第二导电性膏的杨氏模量在0.1GPa以上0.2GPa以下。
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