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公开(公告)号:CN105602333A
公开(公告)日:2016-05-25
申请号:CN201511028377.9
申请日:2011-06-28
申请人: 纳克公司
发明人: 希夫库马尔·基鲁沃卢 , 伊戈尔·奥尔特曼 , 伯纳德·M·弗雷 , 李卫东 , 刘国钧 , 罗伯特·B·林奇 , 吉娜·伊丽莎白·佩格拉-梁 , 乌马·斯里尼瓦桑
CPC分类号: C09D11/38 , B01D21/262 , B01J19/121 , B01J2219/0869 , B01J2219/0871 , B01J2219/0875 , B82Y30/00 , C01B33/02 , C08K3/08 , C08K3/36 , C08K9/02 , C09D5/24 , C09D7/67 , C09D7/68 , C09D7/80 , C09D11/037 , C09D11/101 , C09D11/322 , C09D11/36 , C09D11/52 , H01L21/02532 , H01L21/02573 , H01L21/02579 , H01L21/02581 , H01L21/02601 , H01L21/02628 , H01L23/4828 , H01L23/53276 , H01L31/00 , H01L31/02363 , H01L31/03682 , H01L31/03762 , H01L31/0747 , H01L31/182 , H01L31/1864 , H01L2924/0002 , Y02E10/52 , Y02E10/546 , Y02E10/548 , Y02P70/521 , H01L2924/00
摘要: 本申请涉及硅/锗纳米粒子墨水和相关方法。本发明还描述了改进的硅纳米粒子墨水,其具有的硅纳米粒子未经任何有机化合物表面改性。硅墨水性质可经改造以用于特定印刷应用,例如喷墨印刷、凹版印刷或丝网印刷。本发明还描述了适当加工方法以不对硅纳米粒子进行表面改性即向墨水设计提供灵活性。
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公开(公告)号:CN103460345B
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201280014566.9
申请日:2012-01-23
申请人: 纳克公司
发明人: 刘国钧 , 乌马·斯里尼瓦桑 , 希夫库马尔·基鲁沃卢
IPC分类号: H01L21/22 , H01L21/228 , B82Y30/00
CPC分类号: H01L21/2252 , B82Y30/00 , H01L21/2225 , H01L21/228 , H01L31/068 , H01L31/0682 , H01L31/1804 , Y02E10/52 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要: 使用掺杂硅纳米粒子墨水和其它液体掺杂物来源可提供适合的掺杂物来源,以便如果提供适合的帽盖,就使用热工艺将掺杂物元素驱入晶体硅衬底中。适合的帽盖包括例如盖板、可能搁置于或可能不搁置于所述衬底的表面上的覆盖物、和覆盖层。可达成所需的掺杂物分布。所述掺杂纳米粒子可使用硅墨水传递。残留硅墨水可在掺杂物驱入后去除或至少部分致密化为并入产品装置中的硅材料。所述硅掺杂适合于将掺杂物引入晶体硅中以形成太阳能电池。
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公开(公告)号:CN102668115B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201080048224.X
申请日:2010-09-21
申请人: 纳克公司
发明人: 刘国钧 , 克利福德·M·莫里斯 , 伊戈尔·奥尔特曼 , 乌马·斯里尼瓦桑 , 希夫库马尔·基鲁沃卢
IPC分类号: H01L31/18 , H01L31/20 , H01L21/02 , H01L31/0368 , H01L31/0376 , H01L31/068 , H01L31/075 , H01L31/076
CPC分类号: H01L31/068 , H01L21/02532 , H01L21/02595 , H01L21/02601 , H01L21/02628 , H01L31/03682 , H01L31/03762 , H01L31/075 , H01L31/076 , H01L31/182 , H01L31/202 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02E10/548 , Y02P70/521
摘要: 本发明提供了一种高品质硅墨水,用于形成具有p-n结的薄膜太阳能电池内的多晶层。可烧结随墨水沉积的粒子以形成硅膜,该硅膜可为本征膜或掺杂膜。硅墨水可具有不超过约250nm的z平均二次粒径,该粒径通过对墨水样品进行动态光散射来测定,如墨水最初具有较大浓度可稀释到0.4重量百分比。在一些实施例中,本征层可为非晶硅部分与晶体硅部分的复合物。
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公开(公告)号:CN102971070A
公开(公告)日:2013-03-13
申请号:CN201180032443.3
申请日:2011-06-28
申请人: 纳克公司
发明人: 希夫库马尔·基鲁沃卢 , 伊戈尔·奥尔特曼 , 伯纳德·M·弗雷 , 李卫东 , 刘国钧 , 罗伯特·B·林奇 , 吉娜·伊丽莎白·佩格拉-梁 , 乌马·斯里尼瓦桑
CPC分类号: C09D11/38 , B01D21/262 , B01J19/121 , B01J2219/0869 , B01J2219/0871 , B01J2219/0875 , B82Y30/00 , C01B33/02 , C08K3/08 , C08K3/36 , C08K9/02 , C09D5/24 , C09D7/67 , C09D7/68 , C09D7/80 , C09D11/037 , C09D11/101 , C09D11/322 , C09D11/36 , C09D11/52 , H01L21/02532 , H01L21/02573 , H01L21/02579 , H01L21/02581 , H01L21/02601 , H01L21/02628 , H01L23/4828 , H01L23/53276 , H01L31/00 , H01L31/02363 , H01L31/03682 , H01L31/03762 , H01L31/0747 , H01L31/182 , H01L31/1864 , H01L2924/0002 , Y02E10/52 , Y02E10/546 , Y02E10/548 , Y02P70/521 , H01L2924/00
摘要: 本发明描述了激光热解反应器设计和相应反应物入口喷嘴以提供尤其适合于合成元素硅粒子的所需粒子淬灭。具体来说,所述喷嘴的设计可基于包围反应物前体流的相当大的惰性气体流用惰性气体和用有效包围所述反应物前体流和淬灭气体流的较大惰性夹带流来促进成核和淬灭。本发明还描述了改进的硅纳米粒子墨水,其具有的硅纳米粒子未经任何有机化合物表面改性。硅墨水性质可经改造以用于特定印刷应用,例如喷墨印刷、凹版印刷或丝网印刷。本发明还描述了适当加工方法以不对硅纳米粒子进行表面改性即向墨水设计提供灵活性。
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公开(公告)号:CN102971070B
公开(公告)日:2017-02-08
申请号:CN201180032443.3
申请日:2011-06-28
申请人: 纳克公司
发明人: 希夫库马尔·基鲁沃卢 , 伊戈尔·奥尔特曼 , 伯纳德·M·弗雷 , 李卫东 , 刘国钧 , 罗伯特·B·林奇 , 吉娜·伊丽莎白·佩格拉-梁 , 乌马·斯里尼瓦桑
CPC分类号: C09D11/38 , B01D21/262 , B01J19/121 , B01J2219/0869 , B01J2219/0871 , B01J2219/0875 , B82Y30/00 , C01B33/02 , C08K3/08 , C08K3/36 , C08K9/02 , C09D5/24 , C09D7/67 , C09D7/68 , C09D7/80 , C09D11/037 , C09D11/101 , C09D11/322 , C09D11/36 , C09D11/52 , H01L21/02532 , H01L21/02573 , H01L21/02579 , H01L21/02581 , H01L21/02601 , H01L21/02628 , H01L23/4828 , H01L23/53276 , H01L31/00 , H01L31/02363 , H01L31/03682 , H01L31/03762 , H01L31/0747 , H01L31/182 , H01L31/1864 , H01L2924/0002 , Y02E10/52 , Y02E10/546 , Y02E10/548 , Y02P70/521 , H01L2924/00
摘要: 本发明描述了激光热解反应器设计和相应反应物入口喷嘴以提供尤其适合于合成元素硅粒子的所需粒子淬灭。具体来说,所述喷嘴的设计可基于包围反应物前体流的相当大的惰性气体流用惰性气体和用有效包围所述反应物前体流和淬灭气体流的较大惰性夹带流来促进成核和淬灭。本发明还描述了改进的硅纳米粒子墨水,其具有的硅纳米粒子未经任何有机化合物表面改性。硅墨水性质可经改造以用于特定印刷应用,例如喷墨印刷、凹版印刷或丝网印刷。本发明还描述了适当加工方法以不对硅纳米粒子进行表面改性即向墨水设计提供灵活性。
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公开(公告)号:CN102668115A
公开(公告)日:2012-09-12
申请号:CN201080048224.X
申请日:2010-09-21
申请人: 纳克公司
发明人: 刘国钧 , 克利福德·M·莫里斯 , 伊戈尔·奥尔特曼 , 乌马·斯里尼瓦桑 , 希夫库马尔·基鲁沃卢
IPC分类号: H01L31/042 , H01L31/0216
CPC分类号: H01L31/068 , H01L21/02532 , H01L21/02595 , H01L21/02601 , H01L21/02628 , H01L31/03682 , H01L31/03762 , H01L31/075 , H01L31/076 , H01L31/182 , H01L31/202 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02E10/548 , Y02P70/521
摘要: 本发明提供了一种高品质硅墨水,用于形成具有p-n结的薄膜太阳能电池内的多晶层。可烧结随墨水沉积的粒子以形成硅膜,该硅膜可为本征膜或掺杂膜。硅墨水可具有不超过约250nm的z平均二次粒径,该粒径通过对墨水样品进行动态光散射来测定,如墨水最初具有较大浓度可稀释到0.4重量百分比。在一些实施例中,本征层可为非晶硅部分与晶体硅部分的复合物。
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公开(公告)号:CN101680091A
公开(公告)日:2010-03-24
申请号:CN200880019534.1
申请日:2008-06-12
申请人: 纳克公司
发明人: 亨利·希斯梅尔 , 罗纳德·J·莫索 , 纳拉扬·索拉亚普恩 , 希夫库马尔·基鲁沃卢 , 朱利奥·E·莫里斯
IPC分类号: C23C16/455 , C23C16/00 , H01L21/205
CPC分类号: C30B25/02 , C23C16/01 , C23C16/24 , C23C16/545 , C30B13/00 , C30B25/18 , C30B29/06 , H01L21/02488 , H01L21/02513 , H01L21/02532 , H01L31/1804 , H01L31/1872 , H01L31/202 , Y02E10/547 , Y02P70/521 , Y10T428/26 , Y10T428/263 , Y10T428/264 , Y10T428/265
摘要: 本发明描述使用定向反应物气流和相对于所述气流移动的基板的次大气压化学气相沉积。因此,使用所述CVD配置可达到相对较高的沉积速率,同时获得所要程度的涂层均一性。本发明描述将一个或多个无机层置放于释放层(诸如多孔、微粒释放层)上的沉积方法。在一些实施例中,所述释放层是由涂布于基板上的亚微米粒子的分散液形成。所述方法可有效用于形成硅膜,所述硅膜可通过使用释放层而分离成硅箔。所述硅箔可用于形成一系列以半导体为主的器件,诸如显示电路或太阳能电池。
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公开(公告)号:CN107418295A
公开(公告)日:2017-12-01
申请号:CN201611216497.6
申请日:2011-06-28
申请人: 纳克公司
发明人: 希夫库马尔·基鲁沃卢 , 伊戈尔·奥尔特曼 , 伯纳德·M·弗雷 , 李卫东 , 刘国钧 , 罗伯特·B·林奇 , 吉娜·伊丽莎白·佩格拉-梁 , 乌马·斯里尼瓦桑
IPC分类号: C09D11/03 , C09D11/033 , C09D11/037 , C09D11/36 , C09D11/101 , C09D11/322 , C09D11/52 , C09D5/24 , C09D7/12 , C09D7/14 , B01D21/26 , B01J19/12 , B82Y30/00 , C01B33/02 , C08K3/08 , C08K3/36 , C08K9/02 , H01L21/02 , H01L23/482 , H01L23/532 , H01L31/0236 , H01L31/0368 , H01L31/0376 , H01L31/0747 , H01L31/18
摘要: 本申请涉及硅/锗纳米粒子墨水、用于合成纳米粒子的激光热解反应器和相关方法。本发明描述了激光热解反应器设计和相应反应物入口喷嘴以提供尤其适合于合成元素硅粒子的所需粒子淬灭。具体来说,所述喷嘴的设计可基于包围反应物前体流的相当大的惰性气体流用惰性气体和用有效包围所述反应物前体流和淬灭气体流的较大惰性夹带流来促进成核和淬灭。本发明还描述了改进的硅纳米粒子墨水,其具有的硅纳米粒子未经任何有机化合物表面改性。硅墨水性质可经改造以用于特定印刷应用,例如喷墨印刷、凹版印刷或丝网印刷。本发明还描述了适当加工方法以不对硅纳米粒子进行表面改性即向墨水设计提供灵活性。
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公开(公告)号:CN105448676A
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201510943186.9
申请日:2012-01-23
申请人: 纳克公司
发明人: 刘国钧 , 乌马·斯里尼瓦桑 , 希夫库马尔·基鲁沃卢
IPC分类号: H01L21/22 , H01L21/228 , H01L31/068 , B82Y30/00
CPC分类号: H01L21/2252 , B82Y30/00 , H01L21/2225 , H01L21/228 , H01L31/068 , H01L31/0682 , H01L31/1804 , Y02E10/52 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要: 本发明涉及具有由掺杂硅墨水形成的掺杂表面触点的硅衬底和相应的方法。使用掺杂硅纳米粒子墨水和其它液体掺杂物来源可提供适合的掺杂物来源,以便如果提供适合的帽盖,就使用热工艺将掺杂物元素驱入晶体硅衬底中。适合的帽盖包括例如盖板、可能搁置于或可能不搁置于所述衬底的表面上的覆盖物、和覆盖层。可达成所需的掺杂物分布。所述掺杂纳米粒子可使用硅墨水传递。残留硅墨水可在掺杂物驱入后去除或至少部分致密化为并入产品装置中的硅材料。所述硅掺杂适合于将掺杂物引入晶体硅中以形成太阳能电池。
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公开(公告)号:CN104919012A
公开(公告)日:2015-09-16
申请号:CN201480005244.7
申请日:2014-05-20
申请人: 纳克公司
发明人: 李卫东 , 添田雅也 , 吉娜·伊丽莎白·佩格拉-梁 , 希夫库马尔·基鲁沃卢
IPC分类号: C09D11/037 , C09D11/03
CPC分类号: B82Y30/00 , C09D11/037 , C09D11/52 , H01B1/20 , H01B1/24 , H01L21/02532 , H01L21/02601 , H01L21/02625 , H01L21/2225 , H01L21/228 , H01L21/268 , H01L29/0665 , H01L31/0682 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521 , C09D11/03
摘要: 本发明涉及基于硅的纳米颗粒墨水,其与粘性多环醇类一起配制以便控制所述墨水的流变性。所述墨水可配制成具有非牛顿流变性和良好网版印刷特性的糊剂。所述墨水可具有低金属污染,以使其适于形成半导体结构。所述基于硅的纳米颗粒可为具有或不具有掺杂剂的元素硅颗粒。
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