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公开(公告)号:JPWO2011125800A1
公开(公告)日:2013-07-11
申请号:JP2012509552
申请日:2011-03-30
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/44 , C08F12/20 , C08L101/04
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08F220/24 , C08F222/1006 , C08L33/16 , C08F220/30
Abstract: 本発明は、[A]重合性化合物、[B]フッ素原子含有重合体、及び[C]ラジカル発生剤を含有するナノインプリント用硬化性組成物である。[B]フッ素原子含有重合体の含有量が、[A]重合性化合物100質量部に対して、0.1質量部以上10質量部以下であることが好ましい。[B]フッ素原子含有重合体のゲルパーミエーションクロマトグラフィーによるポリスチレン換算重量平均分子量が、1,000以上30,000以下であることが好ましい。[B]フッ素原子含有重合体が、下記式(B−1)で表される構造単位及び下記式(B−2)で表される構造単位からなる群より選ばれる少なくとも1種の構造単位を有する重合体を含むことが好ましい。
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公开(公告)号:JPWO2011125686A1
公开(公告)日:2013-07-08
申请号:JP2012509497
申请日:2011-03-29
IPC: G03F7/039 , C08F220/18 , G03F7/004
CPC classification number: G03F7/0397 , C08F220/18 , G03F7/0045
Abstract: 本発明は、ホールパターン形成時に、CDU(CD Uniformity)、MEEF(Mask Error Enhanced Factor)の低減等の多様な要求特性を満足させる感放射線性樹脂組成物及びそれに用いる重合体を提供することを目的とする。アダマンタン構造を有する特定構造の繰り返し単位と、シクロアルカン構造を有する特定構造の繰り返し単位とを含む重合体と、上記重合体を含有する感放射線性樹脂組成物を提供する。
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公开(公告)号:JPWO2011125646A1
公开(公告)日:2013-07-08
申请号:JP2012509480
申请日:2011-03-29
CPC classification number: C08L83/04 , C08G77/16 , H01L33/56 , H01L2224/48091 , H01L2224/8592 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L2924/00014
Abstract: 発光効率に優れた発光装置を得るために、屈折率が高く、透明性、耐熱性などにも優れた、発光素子の被覆用の硬化性樹脂組成物を提供する。(A)一般式(1):(R1)pSi(X)4−p[一般式(1)中、R1は炭素数が1〜12である非加水分解性の有機基、Xは加水分解性基、およびpは0〜3の整数である。]で示される化合物を含むシラン化合物から得られるシロキサン系重合体、(B)金属酸化物粒子、及び、(C)有機溶媒、を含み、(A)成分は、シラノール基を含み、該シラノール基に含まれる水酸基の数は、前記シロキサン系重合体中のケイ素原子の数に対して15〜300%であり、(B)成分の配合量が、(A)成分100質量部に対して50〜1,000質量部である、硬化性樹脂組成物。該硬化性樹脂組成物は、発光素子1を被覆する硬化膜2の材料である。
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公开(公告)号:JPWO2011125505A1
公开(公告)日:2013-07-08
申请号:JP2012509423
申请日:2011-03-24
CPC classification number: H01G9/155 , H01G9/0003 , H01M2/1077 , H01M10/0525 , H01M10/613 , H01M10/6555 , Y02E60/122 , Y02E60/13
Abstract: 本発明に係る蓄電デバイス600は、正極、負極、および電解質を有する蓄電ユニットが、外装体に収容された蓄電セル10と、蓄電セル10の外装体の外表面に設けられた放熱板30と、蓄電10セルおよび放熱板30を収容する筐体602と、を含み、放熱板30は、筐体602の内面603に接している。
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公开(公告)号:JPWO2011122199A1
公开(公告)日:2013-07-08
申请号:JP2012508153
申请日:2011-02-28
CPC classification number: C08J5/18 , C08G73/106 , C08J2379/08 , C09D179/08
Abstract: (a)支持体に、下記式(1)で表わされる構造単位を有するポリアミック酸と有機溶媒とを含むポリイミド系膜形成用組成物を塗布及び乾燥し、ポリアミック酸を含む塗膜を形成する工程と、(b)前記ポリアミック酸を含む塗膜を加熱し、ポリイミド系膜を得る工程と、(c)前記ポリイミド系膜上に素子を形成する工程と、(d)前記素子が形成されたポリイミド系膜を支持体から剥離する工程と、を含むことを特徴とする基板の製造方法である。(式(1)中、複数あるR1は、各々独立して炭素数1〜20の1価の有機基であり、nは1〜100の整数である。)
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公开(公告)号:JPWO2011115217A1
公开(公告)日:2013-07-04
申请号:JP2012505747
申请日:2011-03-17
IPC: G03F7/004 , C08F20/22 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0046 , G03F7/2041
Abstract: ベース樹脂となる重合体(A)、感放射線性酸発生剤(B)、フッ素原子を含む重合体(C)、及び比誘電率が30以上200以下で、1気圧における沸点が100℃以上の低分子化合物(D)を含有し、前記低分子化合物(D)の前記重合体(A)100質量部に対する含有量が、10質量部以上500質量部以下である感放射線性樹脂組成物である。前記低分子化合物(D)として環状カーボネート化合物またはニトリル化合物を含むとよい。前記重合体(C)の前記重合体(A)100質量部に対する含有量が、0.1質量部以上5質量部以下であるとよい。
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公开(公告)号:JPWO2011115190A1
公开(公告)日:2013-07-04
申请号:JP2012505737
申请日:2011-03-16
IPC: G03F7/004 , C08F20/38 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0045 , C08F220/38 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 本発明は、LWRが小さく、かつパターン形状に優れるレジストパターンを形成可能な感放射線性樹脂組成物を提供することを目的とし、[A]下記式(1)で表される構造単位(I)を有する酸解離性基含有重合体、及び[B]下記式(2)で表される化合物を含有する感放射線性樹脂組成物である。下記式(1)におけるM+が、下記式(3)及び下記式(4)でそれぞれ表されるオニウムカチオンからなる群より選ばれる少なくとも1種のオニウムカチオンであることが好ましい。
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公开(公告)号:JPWO2011092994A1
公开(公告)日:2013-05-30
申请号:JP2011551717
申请日:2010-12-28
IPC: H01L33/14
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/038 , G03F7/0388 , H01L33/007 , H01L33/145
Abstract: 本発明は、電流阻止層を有する半導体発光素子の製造方法において、エッチングなどのプロセスを介さず、種々の位置や層上に種々の形状の電流阻止層を形成することが可能な、半導体発光素子の製造方法、当該半導体発光素子の製造方法によって得られる半導体発光素子、および当該半導体発光素子の製造方法に用いられる感光性組成物を提供することを目的とする。本発明は、電流阻止層を有する半導体発光素子の製造方法において、リソグラフィー法により感光性組成物から得られるパターンを形成し、該パターンを電流阻止層とすることを特徴とする。
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公开(公告)号:JPWO2011070947A1
公开(公告)日:2013-04-22
申请号:JP2011545179
申请日:2010-11-30
CPC classification number: C08F12/32 , C08F12/20 , C08F12/22 , C08F12/24 , C08F12/30 , C08F220/38 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 本発明の目的は、電子線や極紫外線に有効に感応し、ナノエッジラフネス、感度及び解像度に優れ、微細パターンを高精度に且つ安定して形成可能な化学増幅型レジスト膜を成膜することができる感放射線性組成物、その組成物に用いられる新規なスルホン酸塩含有重合体、その重合体に用いられる新規単量体、及び感放射線性樹脂組成物の製造方法を提供することである。本発明の感放射線性樹脂組成物は、下式(I)及び(II)で表される繰り返し単位のうちの少なくとも一方を有する重合体と、溶剤と、を含有する。
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公开(公告)号:JPWO2011065215A1
公开(公告)日:2013-04-11
申请号:JP2011543199
申请日:2010-11-08
IPC: G03F7/023 , G03F7/004 , G03F7/075 , G03F7/40 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0045 , G03F7/0233
Abstract: 本発明の目的は、耐熱性、透明性、耐溶媒性及び低誘電性に優れた硬化膜、並びに電圧保持率が高い液晶セルを形成するために好適に用いられ、かつ十分な放射線感度、及び現像後の加熱工程における耐メルトフロー性に優れたポリシロキサン系ポジ型感放射線性組成物、その組成物から形成される硬化膜、並びにその硬化膜の形成方法を提供することである。本発明は、[A]シロキサンポリマー、[B]キノンジアジド化合物、及び[C][B]キノンジアジド化合物の極大吸収波長より短い極大吸収波長を有する感放射線性酸発生剤を含有するポジ型感放射線性組成物である。
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