公开(公告)号：JP5043439B2

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：JP2006539942

申请日：2004-11-12

申请人： ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation

发明人： ダクシング レン，

IPC分类号： H01L21/3065 ,  C23C16/44 ,  H01J37/32 ,  H01L20060101 ,  H01L21/00 ,  H01L21/302 ,  H01L21/461

CPC分类号： H01L21/67069 ,  C23C16/4405 ,  C23C16/4407 ,  H01J37/32477 ,  H01J2237/022

公开(公告)号：JP4940184B2

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：JP2008134500

申请日：2008-05-22

申请人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ

发明人： 謙 北岡 ,  正道 坂口 ,  主人 高橋

IPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/02 ,  H01L21/683

CPC分类号： H01L21/67028 ,  C23C16/4407 ,  C23C16/45521 ,  C23C16/4586 ,  H01J37/32706 ,  H01J37/32862 ,  H01L21/6831

公开(公告)号：JP4728757B2

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：JP2005276735

申请日：2005-09-22

申请人： 株式会社東芝

发明人： 省三 弓削

IPC分类号： H01L21/205

CPC分类号： C23C16/4408 ,  C23C16/4407 ,  C30B29/40 ,  C30B33/00

公开(公告)号：JP4728748B2

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：JP2005256804

申请日：2005-09-05

申请人： 株式会社東芝

发明人： 孝幸 古澤

IPC分类号： H01L21/31 ,  C23C16/44

CPC分类号： C23C16/4407 ,  C23C16/4401

公开(公告)号：JP4694637B2

公开(公告)日：2011-06-08

申请号：JP2009138563

申请日：2009-06-09

申请人： シャープ株式会社

发明人： 正明 児玉

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/205 ,  H01L21/31

CPC分类号： H01L21/67028 ,  C23C16/4407 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771

公开(公告)号：JP4564570B2

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：JP2009056620

申请日：2009-03-10

申请人： 三井造船株式会社

发明人： 直正 宮武 ,  和俊 村田 ,  康成 森 ,  弘幸 橘

IPC分类号： H01L21/31 ,  C23C16/44 ,  C23C16/455

CPC分类号： C23C16/4409 ,  C23C16/4407 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/4583 ,  C23C16/46 ,  C23C16/54

公开(公告)号：JP2009052142A

公开(公告)日：2009-03-12

申请号：JP2008212533

申请日：2008-08-21

申请人： Applied Materials Inc ,  アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated

发明人： SUN JENNIFER Y ,  THACH SENH ,  ZHU XI ,  XU LI ,  KHAN ANISUL

IPC分类号： C25D11/18 ,  C23F3/00 ,  C25D11/24

CPC分类号： C23C16/4407 ,  C11D7/08 ,  C11D7/10 ,  C11D11/0047 ,  C11D11/0064

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cleaning process for recovering an anodized aluminum part particularly useful when the part has been exposed to a fluorine-containing plasma in etch reactor.
SOLUTION: The part is bathed (86) in an agitated solution of a fluoride acid, such as ammonium fluoride, which converts aluminum fluoride to a soluble fluoride. The part is rinsed (88) in water. The pores of the cleaned anodization may be resealed (90) by submerging the part in hot agitated deionized water.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种用于回收阳极氧化铝部件的清洁工艺，该部件在蚀刻反应器中暴露于含氟等离子体时特别有用。

解决方案：将部件在氟化物酸如氟化铵的搅拌溶液中洗涤（86），将氟化铝转化为可溶性氟化物。 将部件在水中漂洗（88）。 清洁的阳极氧化的孔可以通过将部件浸没在热的搅拌的去离子水中来重新密封（90）。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP3760405B2

公开(公告)日：2006-03-29

申请号：JP2001506300

申请日：2000-06-28

申请人： インフィネオン テクノロジース エスシー300 ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー オッフェエネハンデルスゲゼルシャフトInfineon Technolgies SC300 GmbH & Co.KG ,  フラウンホファー ゲセルシャフトツール フェールデルンク ダー アンゲヴァンテン フォルシュンク エー.ファオ.

发明人： ラインホルト ヴァラー， ,  クラウス シュナイダー， ,  ユルゲン ツィーグラー， ,  フォルカー テゲダー， ,  ロター フィッツナー， ,  ハイナー リュッセル，

IPC分类号： H01L21/3065 ,  C23C14/54 ,  C23C16/44 ,  C23C16/52 ,  G01B11/06 ,  H01J37/32 ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 ,  H01L21/66

CPC分类号： B24B37/013 ,  C23C14/547 ,  C23C16/4407 ,  C23C16/52 ,  G01B11/0616 ,  H01J37/32935 ,  H01L22/26

公开(公告)号：JPWO2003104523A1

公开(公告)日：2005-10-06

申请号：JP2004511578

申请日：2003-05-21

申请人： 三菱商事プラスチック株式会社 ,  株式会社ユーテック ,  麒麟麦酒株式会社

发明人： 浜　研一 ,  浜　　研一 ,  鹿毛　剛 ,  鹿毛　　剛 ,  小林　巧 ,  小林　　巧 ,  川邉　丈晴 ,  丈晴 川邉

IPC分类号： B65D1/00 ,  C23C16/44 ,  B08B5/02 ,  B08B9/00 ,  B08B9/02 ,  B65D1/09 ,  C23C16/04

CPC分类号： B08B9/023 ,  B08B5/02 ,  B08B9/00 ,  C23C16/045 ,  C23C16/4407

摘要： 本発明の目的は、原料ガス導入管外表面に炭素粉を主成分とする汚れの強固な付着を防止して、該汚れを短時間にしかも容易に除去することができる原料ガス導入管清掃方法及びその装置を提供することである。本発明は、プラスチック容器の内表面にCVD膜を形成したのち原料ガス導入管をプラスチック容器内から抜き出す過程で、前記汚れに向けて圧縮エアーを噴射するととともに圧縮エアーの噴射によって除去された汚れが成膜チャンバー及びCVD膜を形成したプラスチック容器側に移行しないように吸引排出手段により汚れを成膜チャンバーの系外に排出させることを特徴とする。

公开(公告)号：JP3554294B2

公开(公告)日：2004-08-18

申请号：JP2001187767

申请日：2001-06-21

申请人： エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッドAir Products And Chemicals Incorporated

发明人： オレッグ ボロシン ジョージ ,  アレン ロバーツ デビッド ,  サム ゾーリッチ ロバート

IPC分类号： B08B9/34 ,  B08B3/04 ,  B08B9/00 ,  B08B9/02 ,  B08B9/027 ,  B08B13/00 ,  B67D7/72 ,  C23C16/44 ,  B67D5/54

CPC分类号： B08B9/032 ,  B08B9/00 ,  C23C16/4407 ,  Y10T137/3127 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/86348