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公开(公告)号：JP6098468B2
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：JP2013215311
申请日：2013-10-16
Applicant: トヨタ自動車株式会社
IPC: B01J19/08
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公开(公告)号：JP2018016839A
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：JP2016147261
申请日：2016-07-27
Applicant: トヨタ自動車株式会社
CPC classification number: C23C16/274 , C23C14/14 , C23C14/325 , C23C16/26 , C23C16/4581 , C23C16/511 , C23C28/32 , H01J37/32192 , H01J37/3222 , H01L21/205 , H05H1/46 , H05H2001/4607 , H05H2001/463
Abstract: 【課題】ワークに高周波が供給されにくくなることを抑制できる高周波供給構造を提供する。 【解決手段】高周波供給構造30は、規定方向Xに延伸する中心導体31と、中心導体31と同軸配置されており、且つグランドに接地されている外側導体32と、中心導体31と外側導体32との間に設けられている円筒形状の絶縁部材35とを備える。そして、中心導体31の先端がワークWを支持する支持部33となっている。外側導体32よりも外側には、外側導体32及び中心導体31と同軸配置されている防着部材34が配設され、防着部材34の先端34eは、外側導体32の先端32eよりも規定方向Xにおける支持部33側に位置している。絶縁部材35のうち外側導体32の開口から支持部33側に突出する部分である突出部分36は、外側導体32の先端32eと規定方向Xにおいて対向している。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2017155278A
公开(公告)日：2017-09-07
申请号：JP2016038873
申请日：2016-03-01
Applicant: トヨタ自動車株式会社
IPC: C23C16/511 , H05H1/46 , C23C16/26
CPC classification number: C23C16/26 , C23C16/511 , C23C16/52 , H05H1/46 , H05H2001/4622
Abstract: 【課題】硬度の高さ及び摩擦係数の低さを高い次元で両立したDLC膜をワークに生成することができる成膜方法及びPCVD装置を提供する。 【解決手段】ワークへの成膜に用いるPCVD装置は、反応炉内に位置する部位でワークを支持するとともに、高周波出力装置から出力されたマイクロ波をワークに伝播させる導波部材を備える。導波部材を通じてワークに伝播するマイクロ波の強度を「0」から徐々に大きくする過程で同ワークのバイアス電流BAが跳躍したときにおける高周波出力装置から出力されるマイクロ波の強度SMWを第1の強度SMW1とし、マイクロ波の強度SMWを第1の強度SMW1から大きくする過程でバイアス電流BAが再度跳躍したときにおけるマイクロ波の強度SMWを第2の強度SMW2とする。成膜時には、第1の強度SMW1よりも大きく且つ第2の強度SMW2よりも小さい強度SMWのマイクロ波を高周波出力装置から出力させる。 【選択図】図3
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2020193355A
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：JP2019098583
申请日：2019-05-27
Applicant: トヨタ自動車株式会社 , 株式会社神戸製鋼所
IPC: C23C8/12 , H01M8/0206 , H01M8/0215 , H01M8/0226 , H01M8/0228 , H01M8/0213 , H01M8/0247 , C22F1/18
Abstract: 【課題】本開示の目的は、導電性及びプレス加工性を兼ね備えるセパレータ材を製造することができる製造方法を提供することである。 【解決手段】本実施形態は、チタン基材と、該チタン基材の上に、炭素粒子及び酸化チタンを含む混合層と、を備える燃料電池用セパレータ材を製造する方法であって、前記チタン基材を圧延する圧延工程と、前記圧延工程後に、前記チタン基材を焼鈍する焼鈍工程と、前記焼鈍工程後に、前記チタン基材の表面に前記炭素粒子を塗布する塗布工程と、前記塗布工程後に、前記チタン基材を酸化雰囲気下で熱処理し、前記酸化チタンを形成する酸化処理工程と、を含み、前記焼鈍工程が、加熱温度(X)及び加熱時間(Y)が所定式(A)を満たすように行われる、燃料電池用セパレータ材の製造方法である。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2019169296A
公开(公告)日：2019-10-03
申请号：JP2018055007
申请日：2018-03-22
Applicant: トヨタ自動車株式会社
IPC: H01M8/0213 , H01M8/0206 , H01M8/0215 , H01M8/0228
Abstract: 【課題】導電率の低下を抑制可能な燃料電池用セパレータを提供すること。 【解決手段】本発明にかかる燃料電池用セパレータ1は、Tiからなる基材10と、基材10の表面に形成されたTiOx(1≦x≦2)層11と、TiOx層11の表面に形成された炭素膜12と、を備え、TiOx層11の厚さは0〜30nmであり、炭素膜12の厚さは10〜35nmである。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2019073745A
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：JP2017198689
申请日：2017-10-12
Applicant: トヨタ自動車株式会社 , アリオス株式会社
Abstract: 【課題】アーク放電の発生に要する電力消費を抑制できるアーク蒸着式成膜装置を提供する。 【解決手段】真空チャンバ10内に設置されたターゲットカソード11に電圧を印加する電源として、電源電圧は高いが電流容量は小さい高圧電源14と、電源電圧は低いが電流容量は大きい低圧電源15と、の2つの電源を備え、アーク放電の発生に際してターゲットカソード11に電圧を印加する電源を、グロー放電の発生が確認された時点で高圧電源14から低圧電源15に切り替えるようにした。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6292244B2
公开(公告)日：2018-03-14
申请号：JP2016038873
申请日：2016-03-01
Applicant: トヨタ自動車株式会社
IPC: C23C16/511 , C30B29/04 , H05H1/46 , C23C16/27
CPC classification number: C23C16/26 , C23C16/511 , C23C16/52 , H05H1/46 , H05H2001/4622
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公开(公告)号：JP2018006260A
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：JP2016135077
申请日：2016-07-07
Applicant: トヨタ自動車株式会社
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/54 , H01J37/32055
Abstract: 【課題】チャンバ内で発生していたアーク放電を消弧させるべく電源装置から蒸発源への通電を終了するときに、チャンバの壁面の一部と同蒸発源との間でアーク放電が発生することを抑制できるアーク放電発生装置及び成膜方法を提供する。 【解決手段】アーク放電発生装置20では、チャンバ11内でアーク放電を発生させるときには、電源装置30から蒸発源21に通電させることによって蒸発源21を陰極とし、蒸発源21にストライカチップ241を接触させ、その後、ストライカチップ241を蒸発源21から離間させることでチャンバ11内にアーク放電を発生させる。また、チャンバ11内で発生しているアーク放電を消弧させるときには、ストライカチップ241を蒸発源21に接触させ、ストライカチップ241が蒸発源21に接触している状況下で電源装置30から蒸発源21への通電を終了させる。 【選択図】図1
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