微粒子検知システム
    10.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018081056A

    公开(公告)日:2018-05-24

    申请号:JP2016225321

    申请日:2016-11-18

    IPC分类号: G01N27/60 G01N15/06

    摘要: 【課題】外部ガス流の流速の変化による影響を抑制して、外部ガスに含まれた微粒子量を適切に出力できる微粒子検知システムを提供する。 【解決手段】微粒子検知システムは、センサ部と、センサ駆動部とを備え、外部ガス流EGFによって、センサ部の内部を通過する被測定ガス流EIFをセンサ部内に生じさせて、被測定ガスEIに含まれた微粒子Sの量Mを検知する。センサ部は、イオンCPを発生させ、イオンが付着した帯電微粒子SCをセンサ部外に排出する一方、非付着イオンCPFを捕集して排出を抑制するイオン作用部100eを有し、センサ駆動部は、流出した流出電荷量QHに対応するセンサ電流値を取得するセンサ電流値取得部と、外部から外部ガス流の流速Vgを取得する流速取得部と、センサ電流値及び外部ガス流の流速Vgを用いて流速Vgの影響が低減された微粒子の量Mを取得する微粒子量取得部と、を有する。 【選択図】図5