回路付サスペンション基板の製造方法
    3.
    发明专利
    回路付サスペンション基板の製造方法 审中-公开
    具有电路的悬挂基板的制造方法

    公开(公告)号:JP2016045971A

    公开(公告)日:2016-04-04

    申请号:JP2014168395

    申请日:2014-08-21

    摘要: 【課題】金属導通部と金属支持層との界面での電気抵抗値を低減することができる回路付サスペンション基板の製造方法を提供すること。 【解決手段】回路付サスペンション基板1の製造方法は、金属支持層2を用意する工程、感光性硬化性絶縁組成物を用いて、硬化性絶縁層3bを、金属支持層2の上に、開口部13が形成されるように形成する工程、硬化性絶縁層3bを硬化して、ベース絶縁層3を形成する工程、開口部13から露出する金属支持層2に、マイクロ波プラズマ処理を実施する工程、および、金属導通部16を、開口部13から露出する金属露出面16の上に形成する工程を備える。 【選択図】図3

    摘要翻译: 要解决的问题:提供一种具有能够降低金属导电部分和金属支撑层之间的边界面上的电阻值的电路的悬置基板的制造方法。解决方案:具有 电路包括以下步骤:制备金属支撑层2; 使用光敏固化绝缘组合物形成可固化绝缘层3b,以在金属支撑层2上形成开口13; 通过固化可固化绝缘层3b形成基底绝缘层3; 对从开口13露出的金属支撑层2施加微波等离子体处理; 并在从开口13暴露的金属曝光表面16上形成金属导电部分16.图示