電阻式隨機存取記憶體與用於導電及電阻元件之相對應次解析度特徵之製造的控制方法
    5.
    发明专利
    電阻式隨機存取記憶體與用於導電及電阻元件之相對應次解析度特徵之製造的控制方法 审中-公开
    电阻式随机存取内存与用于导电及电阻组件之相对应次分辨率特征之制造的控制方法

    公开(公告)号:TW201436321A

    公开(公告)日:2014-09-16

    申请号:TW102146176

    申请日:2013-12-13

    IPC分类号: H01L45/00 H01L49/02

    摘要: 一種用於導電及電阻元件之相對應次解析度特徵之製造的控制方法,包括下列步驟:形成電阻層的堆疊;在形成電阻層的堆疊之前或之後,形成傳導層;在電阻層的堆疊或傳導層上塗佈遮罩層;在遮罩層上形成第一間隔物;使用第一間隔物作為第一遮罩來蝕刻掉遮罩層的第一部分以提供剩餘部分;在電阻層的堆疊或傳導層及遮罩層的剩餘部分上形成第二間隔物;蝕刻掉遮罩層的剩餘部分的第二部分以形成島狀物;使用島狀物作為第二遮罩去蝕刻電阻層的堆疊以形成記憶體的電阻元件及蝕刻傳導層以形成記憶體的傳導元件。

    简体摘要: 一种用于导电及电阻组件之相对应次分辨率特征之制造的控制方法,包括下列步骤:形成电阻层的堆栈;在形成电阻层的堆栈之前或之后,形成传导层;在电阻层的堆栈或传导层上涂布遮罩层;在遮罩层上形成第一间隔物;使用第一间隔物作为第一遮罩来蚀刻掉遮罩层的第一部分以提供剩余部分;在电阻层的堆栈或传导层及遮罩层的剩余部分上形成第二间隔物;蚀刻掉遮罩层的剩余部分的第二部分以形成岛状物;使用岛状物作为第二遮罩去蚀刻电阻层的堆栈以形成内存的电阻组件及蚀刻传导层以形成内存的传导组件。