晶圓層合體、其製造方法及晶圓層合用接著劑組成物
    1.
    发明专利
    晶圓層合體、其製造方法及晶圓層合用接著劑組成物 审中-公开
    晶圆层合体、其制造方法及晶圆层合用接着剂组成物

    公开(公告)号:TW201829688A

    公开(公告)日:2018-08-16

    申请号:TW106134500

    申请日:2017-10-06

    Abstract: 本發明的課題為提供一種支持體與晶圓的接合容易,從晶圓之支持體的剝離亦容易,且可提高薄型晶圓之生產性之適合於薄型晶圓製造的晶圓層合體及其製造方法。   作為解決手段為提供一種晶圓層合體,其係具備支持體、與形成於該支持體上之接著劑層、與於該接著劑層具有電路面的表面以對向的方式層合之晶圓的晶圓層合體,其特徵為前述接著劑層為包含具有遮光性之樹脂A與包含矽氧烷骨架之樹脂B之接著劑組成物的硬化物。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明的课题为提供一种支持体与晶圆的接合容易,从晶圆之支持体的剥离亦容易,且可提高薄型晶圆之生产性之适合于薄型晶圆制造的晶圆层合体及其制造方法。   作为解决手段为提供一种晶圆层合体,其系具备支持体、与形成于该支持体上之接着剂层、与于该接着剂层具有电路面的表面以对向的方式层合之晶圆的晶圆层合体,其特征为前述接着剂层为包含具有遮光性之树脂A与包含硅氧烷骨架之树脂B之接着剂组成物的硬化物。

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