公开(公告)号：US07015468B1

公开(公告)日：2006-03-21

申请号：US10807899

申请日：2004-03-24

申请人： Amir Azordegan ,  Gian Francesco Lorusso ,  Ananthanarayanan Mohan ,  Mark Neil ,  Waiman Ng ,  Srini Vedula

发明人： Amir Azordegan ,  Gian Francesco Lorusso ,  Ananthanarayanan Mohan ,  Mark Neil ,  Waiman Ng ,  Srini Vedula

IPC分类号： H01J37/26 ,  G01N23/225

CPC分类号： G03F7/70625 ,  H01J2237/2067 ,  H01J2237/2817

摘要： A method of improving stability for CD-SEM measurements of photoresist, in particular 193 nm photoresist, and of reducing shrinkage of 193 nm photoresist during CD-SEM measurements.The photoresist is exposed to a dose of electrons or other stabilizing beam prior to or during CD measurement. One embodiment of the invention includes multiplexing of the SEM electron beam.

摘要翻译： 提高光刻胶，特别是193nm光致抗蚀剂的CD-SEM测量的稳定性的方法，以及在CD-SEM测量期间减小193nm光致抗蚀剂的收缩的方法。 在CD测量之前或期间，光致抗蚀剂暴露于一定量的电子或其他稳定光束。 本发明的一个实施例包括SEM电子束的多路复用。

公开(公告)号：US07161656B2

公开(公告)日：2007-01-09

申请号：US10485097

申请日：2002-07-18

申请人： Mark Neil ,  Farnaz Massoumian ,  Rimas Juskaitis ,  Tony Wilson

发明人： Mark Neil ,  Farnaz Massoumian ,  Rimas Juskaitis ,  Tony Wilson

IPC分类号： G03B27/42 ,  G03B27/54 ,  G03B27/72

CPC分类号： G02B21/06 ,  G02B5/001 ,  G02B27/0075

摘要： A method and apparatus for generating a beam of light having extended depth of focus. The apparatus comprises, for instance, a binary phase mask that generates a diffraction pattern including a bright main ring and a plurality of side-lobe rings, an annular aperture mask that passing only a portion of the diffraction pattern, and a lens that causes light passing through the annular aperture to converge toward and cross an optical axis. Where the converging light crosses the optical axis, constructive interference takes place, thereby generating a beam of light that has extended depth of focus.

摘要翻译： 一种用于产生具有延长的焦深的光束的方法和装置。 该装置包括例如产生包括亮主环和多个旁瓣环的衍射图案的二进制相位掩模，仅通过衍射图案的一部分的环形孔径掩模和引起光的透镜 穿过环形孔径以朝向和横过光轴会聚。 在会聚光与光轴交叉的地方，发生了相当大的干扰，从而产生了延长焦深的光束。

公开(公告)号：US08658973B2

公开(公告)日：2014-02-25

申请号：US13913240

申请日：2013-06-07

申请人： Mark Neil ,  Mehran Nasser-Ghodsi ,  Christopher Sears

发明人： Mark Neil ,  Mehran Nasser-Ghodsi ,  Christopher Sears

IPC分类号： H01J37/26

CPC分类号： H01J37/26 ,  G01N23/2276 ,  G01N2223/345 ,  G06K9/00563 ,  G06K9/6271 ,  H01J49/0036 ,  H01J49/44

摘要： System and methods for decomposing an Auger electron spectrum into elemental and chemical components, includes conditioning and input spectrum to generate a normalized input spectrum; determining statistical correlation between the normalized input spectrum and stored elemental spectral signatures; and characterizing elemental or chemical species in the input spectrum from the statistical correlation, wherein said conditioning the input spectrum includes estimating a background signal of non-Auger electrons in the input spectrum and subtracting the estimated background signal from the input spectrum.

摘要翻译： 将俄歇电子谱分解为元素和化学成分的系统和方法包括调节和输入光谱以产生归一化输入光谱; 确定归一化输入光谱和存储的基本光谱特征之间的统计相关性; 以及从所述统计相关性表征所述输入光谱中的元素或化学物质，其中所述调节所述输入光谱包括估计所述输入光谱中的非俄歇电子的背景信号并从所述输入光谱中减去所估计的背景信号。

公开(公告)号：US20050046818A1

公开(公告)日：2005-03-03

申请号：US10485097

申请日：2002-07-18

申请人： Mark Neil ,  Farnaz Massoumian ,  Rimas Juskaitis ,  Tony Wilson

发明人： Mark Neil ,  Farnaz Massoumian ,  Rimas Juskaitis ,  Tony Wilson

IPC分类号： G02B5/00 ,  G02B21/06 ,  G02B27/46 ,  G03B27/52

CPC分类号： G02B21/06 ,  G02B5/001 ,  G02B27/0075

摘要： A method and apparatus for generating a beam of light having extended depth of focus. The apparatus comprises, for instance, a binary phase mask that generates a diffraction pattern including a bright main ring and a plurality of side-lobe rings, an annular aperture mask passing only a portion of the diffraction pattern, and a lens that causes light passing through the annular aperture to converge toward and cross an optical axis. Where the converging light crosses the optical axis, constructive interference takes place, thereby generating a beam of light that has extended depth of focus.

摘要翻译： 一种用于产生具有延长的焦深的光束的方法和装置。 该装置包括例如产生包括亮主环和多个旁瓣环的衍射图案的二进制相位掩模，仅通过衍射图案的一部分的环形孔径掩模和引起光通过的透镜 通过环形孔径朝向和横过光轴会聚。 在会聚光与光轴交叉的地方，发生了相当大的干扰，从而产生了延长焦深的光束。

公开(公告)号：US20070195298A1

公开(公告)日：2007-08-23

申请号：US11631958

申请日：2005-07-08

申请人： Jonathan Hares ,  Paul French ,  Christopher Dunsby ,  Mark Neil

发明人： Jonathan Hares ,  Paul French ,  Christopher Dunsby ,  Mark Neil

IPC分类号： G03B27/42

CPC分类号： G01N21/6408

摘要： An imaging apparatus comprising: a capture device (4,5) operate e to capture a sequence of component images of a target (2) to be imaged; and an image generator (4,5) operable to generate a plurality of output images; wherein the image generator is operable to generate respective output images from corresponding subsets of two or more component images, and the capture device is operable to capture the component images such that the component images of one subset are interleaved with the component images of other subsets in the sequence of component images.

摘要翻译： 一种成像装置，包括：捕获装置（4,5），操作e以捕获待成像的目标（2）的分量图像序列; 以及图像生成器（4,5），其可操作以产生多个输出图像; 其中所述图像生成器可操作以从两个或更多个分量图像的相应子集生成相应的输出图像，并且所述捕获装置可操作以捕获所述分量图像，使得一个子集的分量图像与其它子集的分量图像交错 分量图像序列。

公开(公告)号：US20110127405A1

公开(公告)日：2011-06-02

申请号：US12992963

申请日：2009-05-18

申请人： Nir Grossman ,  Patrick Degenaar ,  Konstantin Nikolic ,  Mark Neil ,  Gordon Kennedy ,  Vincent Poher

发明人： Nir Grossman ,  Patrick Degenaar ,  Konstantin Nikolic ,  Mark Neil ,  Gordon Kennedy ,  Vincent Poher

IPC分类号： G01J1/16 ,  A61N5/06 ,  G02B21/06

CPC分类号： G02B21/004 ,  G01N21/6458 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0076 ,  G02B21/16

摘要： This invention describes a device for optical stimulation of cells and other biological structures. It has an ability to target multiple cells and/or multiple sub-cellular targets. The stimulation optical pattern on each cell can be independently controlled with individual frequencies. The light sensitivity of the cells can be imparted as a result of genetic expression of surface and/or subsurface proteins, chemical modification of existing proteins, or via the release of caged entities which in turn act to stimulate the cell through chemical means. The embodiment is capable of functioning on neurons but can also be used for other cells. It can perform optimal stimulation with sub-cellular resolutions, record the activity of the targeted cells and perform processing to ensure calibration.

摘要翻译： 本发明描述了用于光学刺激细胞和其他生物结构的装置。 它具有靶向多个细胞和/或多个亚细胞靶标的能力。 每个单元上的刺激光学图案可以独立地用各个频率控制。 由于表面和/或地下蛋白质的遗传表达，现有蛋白质的化学修饰，或通过释放的笼状实体，细胞的光敏感性可以赋予细胞，这些实体又通过化学方式刺激细胞。 该实施例能够在神经元上起作用，但也可用于其他细胞。 它可以用亚细胞分辨率执行最佳刺激，记录目标细胞的活性，并进行处理以确保校准。

公开(公告)号：US07476831B2

公开(公告)日：2009-01-13

申请号：US10546845

申请日：2004-01-08

申请人： Rimvydas Juskaitis ,  Mark Neil ,  Tony Wilson

发明人： Rimvydas Juskaitis ,  Mark Neil ,  Tony Wilson

IPC分类号： G02B21/00

CPC分类号： G02B3/0081 ,  G02B3/06 ,  G02B21/002 ,  G02B27/0031

摘要： A microscopic imaging system includes a receiving means (2) for receiving an article (4) to be imaged, a linear optical detector (16), focussing means (10) for focussing an image of an article in the receiving means onto the detector, scanning means (6) for producing relative movement between the image and the detector in a direction substantially perpendicular to the axis of the detector, and an optical correcting element (14) for reducing aberrations in the image focussed onto the detector.

摘要翻译： 显微成像系统包括用于接收待成像的物品（4）的接收装置（2），线性光学检测器（16），用于将接收装置中的物品的图像聚焦到检测器上的聚焦装置（10） 扫描装置（6），用于在基本上垂直于检测器的轴线的方向上产生图像和检测器之间的相对运动;以及光学校正元件（14），用于减少聚焦到检测器上的图像中的像差。

公开(公告)号：US20070273784A1

公开(公告)日：2007-11-29

申请号：US11579490

申请日：2005-05-10

申请人： Mark Neil ,  Paul French

发明人： Mark Neil ,  Paul French

IPC分类号： H04N5/238

CPC分类号： H04N5/2355 ,  H04N5/235

摘要： An imaging apparatus comprising: A spatial light modulator (30) operable to receive incident light (34) representing an incident light image and to intensity modulate said incident light to form spatially modulated (38) light; and an image capture device (42) operable to receive said spatially modulated light and to detect an intensity value for different portions of said spatially modulated light to form a modulated light image therefrom; wherein said spatial light modulator attenuates different parts of said incident light by different proportions such that intensity values of said incident light image are given by a combination of intensity values of said modulated light image captured by said image capture device and data representing proportions of attenuation applied to corresponding parts of said incident light image by said spatial light modulator.

摘要翻译： 一种成像设备，包括：空间光调制器（30），其可操作以接收表示入射光图像的入射光（34），并强度调制所述入射光以形成空间调制光（38）; 以及图像捕获装置（42），其可操作以接收所述空间调制光并且检测所述空间调制光的不同部分的强度值以从其形成调制的光图像; 其中所述空间光调制器以不同的比例衰减所述入射光的不同部分，使得所述入射光图像的强度值由所述图像捕获装置捕获的所述调制光图像的强度值与表示衰减应用比例的数据的组合给出 通过所述空间光调制器到所述入射光图像的对应部分。

公开(公告)号：US20070002434A1

公开(公告)日：2007-01-04

申请号：US10546845

申请日：2004-01-08

申请人： Rimbydas Juskaitis ,  Mark Neil ,  Tony Wilson

发明人： Rimbydas Juskaitis ,  Mark Neil ,  Tony Wilson

IPC分类号： G02B21/00

CPC分类号： G02B3/0081 ,  G02B3/06 ,  G02B21/002 ,  G02B27/0031

摘要： A microscopic imaging system includes a receiving means (2) for receiving an article (4) to be imaged, a linear optical detector (16), focussing means (10) for focussing an image of an article in the receiving means onto the detector, scanning means (6) for producing relative movement between the image and the detector in a direction substantially perpendicular to the axis of the detector, and an optical correcting element (14) for reducing aberrations in the image focussed onto the detector.

摘要翻译： 显微成像系统包括用于接收待成像的物品（4）的接收装置（2），线性光学检测器（16），用于将接收装置中的物品的图像聚焦到检测器上的聚焦装置（10） 扫描装置（6），用于在基本上垂直于检测器的轴线的方向上产生图像和检测器之间的相对运动;以及光学校正元件（14），用于减少聚焦到检测器上的图像中的像差。