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    TREATMENT OF EFFLUENT CONTAINING CHLORINE-CONTAINING GAS
    11.
    发明申请
    TREATMENT OF EFFLUENT CONTAINING CHLORINE-CONTAINING GAS 审中-公开
    含有含氯气的液体处理

    公开(公告)号：US20080102011A1

    公开(公告)日：2008-05-01

    申请号：US11553894

    申请日：2006-10-27

    申请人： Mehran MOALEM ,  Morteza Frania

    发明人： Mehran MOALEM ,  Morteza Frania

    IPC分类号： B01D53/00 ,  B01J8/00

    CPC分类号： B01D53/75 ,  B01D53/68 ,  B01D2251/202 ,  B01D2257/2025 ,  B01D2257/2045 ,  B01D2257/2064 ,  B01D2257/702 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/818

    摘要： A substrate processing apparatus comprises a process chamber and an effluent treatment apparatus comprising a hydrogenation reactor, scrubber, combustor, and a controller to operate the process chamber and effluent treatment apparatus. In the hydrogenation reactor, hydrogen-containing gas is used to treat chamber effluent to form a hydrogenated effluent comprising hydrogen chloride gas. A scrubber sprays water through the hydrogenated effluent to dissolve the hydrogen chloride gas. An oxygen-containing gas is added to the treated effluent during a combustion step to further abate the effluent.

    摘要翻译： 基板处理装置包括处理室和包括氢化反应器，洗涤器，燃烧器和用于操作处理室和流出物处理装置的控制器的流出物处理装置。 在氢化反应器中，使用含氢气体来处理室流出物以形成包含氯化氢气体的氢化流出物。 洗涤器通过氢化流出物喷射水以溶解氯化氢气体。 在燃烧步骤中将经氧化的气体加入经处理的流出物中以进一步消除流出物。

    TREATMENT OF EFFLUENT IN THE DEPOSITION OF CARBON-DOPED SILICON
    12.
    发明申请
    TREATMENT OF EFFLUENT IN THE DEPOSITION OF CARBON-DOPED SILICON 审中-公开
    处理碳掺杂硅沉积物中的液体

    公开(公告)号：US20080081130A1

    公开(公告)日：2008-04-03

    申请号：US11537418

    申请日：2006-09-29

    申请人： Moretza Farnia ,  Mehran Moalem

    发明人： Moretza Farnia ,  Mehran Moalem

    IPC分类号： H05H1/24

    CPC分类号： C23C16/30 ,  C23C16/4412 ,  H01J37/32844 ,  Y02C20/30

    摘要： A substrate processing apparatus exposes a substrate in a process zone of a process chamber to a plasma of a precursor gas comprising a hydrocarbon gas to deposit carbon-doped silicon on the substrate. An effluent comprising unreacted precursor gas and byproducts from the carbon-doped silicon deposition process is exhausted from the process zone and passed into an effluent treatment zone of an effluent treatment reactor. An additive gas comprising an oxygen-containing gas is added to the effluent treatment zone and a plasma is formed of the effluent and additive gas to treat the effluent to reduce the content of unreacted precursor gas and byproduct in the effluent.

    摘要翻译： 衬底处理设备将处理室的处理区中的衬底暴露于包含烃气体的前体气体的等离子体以在衬底上沉积碳掺杂的硅。 包含未反应的前体气体和来自碳掺杂硅沉积工艺的副产物的流出物从处理区排出并进入流出物处理反应器的流出物处理区。 将包含含氧气体的添加气体加入到流出物处理区域中，并且由流出物和添加剂气体形成等离子体以处理流出物以降低流出物中未反应的前体气体和副产物的含量。

    Systems and methods for treating flammable effluent gases from manufacturing processes
    14.
    发明授权
    Systems and methods for treating flammable effluent gases from manufacturing processes 有权
    用于处理来自制造过程的易燃废气的系统和方法

    公开(公告)号：US09387428B2

    公开(公告)日：2016-07-12

    申请号：US12365886

    申请日：2009-02-04

    申请人： Daniel O. Clark ,  Mehran Moalem ,  Robbert M. Vermeulen ,  Phil Chandler

    发明人： Daniel O. Clark ,  Mehran Moalem ,  Robbert M. Vermeulen ,  Phil Chandler

    IPC分类号： B01D53/00 ,  B01D53/40

    CPC分类号： B01D53/005 ,  B01D53/40 ,  B01D2257/108 ,  B01D2258/0216

    摘要： A system for treating flammable effluent gas is provided. The system includes an exhaust conduit to carry the flammable effluent gas to an abatement unit, a control system coupled to the abatement unit to determine an operating parameter of the abatement unit, a bypass valve coupled to the exhaust conduit which is an operative responsive to the monitoring system, and a source of second gas to be mixed with the effluent gas diverted from the abatement unit when the bypass valve is operating in a bypass mode to provide a mixed gas having a flammability lower than the effluent gas. Methods of the invention as well as numerous other aspects are provided.

    摘要翻译： 提供了一种处理易燃废气的系统。 该系统包括用于将可燃性流出气体运送到减排单元的排气管道，耦合到减排单元以确定减排单元的操作参数的控制系统;联接到排气管道的旁通阀，该旁通阀是响应于 监测系统，以及当旁通阀以旁通模式操作时与从减排单元转移的废气混合的第二气体源，以提供具有低于废气的可燃性的混合气体。 提供了本发明的方法以及许多其它方面。

    METHODS AND SYSTEMS FOR DESIGNING AND VALIDATING OPERATION OF ABATEMENT SYSTEMS
    15.
    发明申请
    METHODS AND SYSTEMS FOR DESIGNING AND VALIDATING OPERATION OF ABATEMENT SYSTEMS 审中-公开
    用于设计和确认退休系统操作的方法和系统

    公开(公告)号：US20090018688A1

    公开(公告)日：2009-01-15

    申请号：US12139472

    申请日：2008-06-14

    申请人： Phil Chandler ,  Daniel O. Clark ,  Robbert M. Vermeulen ,  Belynda Flippo ,  Mehran Moalem ,  Charles Murray

    发明人： Phil Chandler ,  Daniel O. Clark ,  Robbert M. Vermeulen ,  Belynda Flippo ,  Mehran Moalem ,  Charles Murray

    IPC分类号： G06F19/00

    CPC分类号： B01D53/346 ,  B01D2258/0216

    摘要： A method of developing an integrated abatement system is provided, including the steps: a) determining whether an integrated abatement system meets a destruction removal efficiency standard wherein the determination includes the steps: i) operating an electronic device manufacturing process tool using a best known method, whereby effluent containing a target species is produced; ii) abating the target species to form abated effluent, using an abatement system which is coupled to the process tool; and iii) calculating a destruction removal efficiency for the target species; and b) modifying the abatement system by altering at least one of a design parameter and an operating parameter of the abatement system to improve the destruction removal efficiency. Numerous other aspects are provided.

    摘要翻译： 提供了一种开发集成减排系统的方法，包括步骤：a）确定综合减排系统是否满足销毁去除效率标准，其中确定包括以下步骤：i）使用最佳已知方法操作电子设备制造工艺工具 由此产生含有目标物种的流出物; ii）使用与处理工具相连的减排系统来减轻目标物种以形成减排的流出物; 和iii）计算目标物种的破坏去除效率; 以及b）通过改变所述减排系统的设计参数和操作参数中的至少一个来改进所述减排系统，以提高所述破坏去除效率。 提供了许多其他方面。

    Methods and apparatus for treating exhaust gas in a processing system
    17.
    发明授权
    Methods and apparatus for treating exhaust gas in a processing system 有权
    在处理系统中处理废气的方法和装置

    公开(公告)号：US08747762B2

    公开(公告)日：2014-06-10

    申请号：US12957539

    申请日：2010-12-01

    申请人： Colin John Dickinson ,  Mehran Moalem ,  Daniel O. Clark

    发明人： Colin John Dickinson ,  Mehran Moalem ,  Daniel O. Clark

    IPC分类号： B01J19/08

    CPC分类号： B01D53/32 ,  B01D53/92 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/122 ,  B01D2259/80 ,  B01D2259/818 ,  C23C16/4412

    摘要： Methods and apparatus for treating an exhaust gas in a foreline of a substrate processing system are provided herein. In some embodiments, an apparatus for treating an exhaust gas in a foreline of a substrate processing system includes a plasma source coupled to a foreline of a process chamber, a reagent source coupled to the foreline upstream of the plasma source, and a foreline gas injection kit coupled to the foreline to controllably deliver a gas to the foreline, wherein the foreline injection kit includes a pressure regulator to set a foreline gas delivery pressure setpoint, and a first pressure gauge coupled to monitor a delivery pressure of the gas upstream of the foreline.

    摘要翻译： 本文提供了用于处理衬底处理系统的前级管线中的废气的方法和装置。 在一些实施例中，用于处理衬底处理系统的前级管线中的废气的装置包括耦合到处理室的前级管线的等离子体源，耦合到等离子体源上游的前级管线的试剂源和前级气体注入 前级管线注入套件包括用于设定前级气体输送压力设定点的压力调节器，以及耦合以监测前级管线上游气体的输送压力的第一压力表， 。

    METHODS AND APPARATUS FOR TREATING EXHAUST GAS IN A PROCESSING SYSTEM
    18.
    发明申请
    METHODS AND APPARATUS FOR TREATING EXHAUST GAS IN A PROCESSING SYSTEM 有权
    在处理系统中处理排气的方法和装置

    公开(公告)号：US20110135552A1

    公开(公告)日：2011-06-09

    申请号：US12957539

    申请日：2010-12-01

    申请人： COLIN JOHN DICKINSON ,  MEHRAN MOALEM ,  DANIEL O. CLARK

    发明人： COLIN JOHN DICKINSON ,  MEHRAN MOALEM ,  DANIEL O. CLARK

    IPC分类号： B01D53/68 ,  H05H1/46 ,  G05D16/00 ,  B01D53/54

    CPC分类号： B01D53/32 ,  B01D53/92 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/122 ,  B01D2259/80 ,  B01D2259/818 ,  C23C16/4412

    摘要： Methods and apparatus for treating an exhaust gas in a foreline of a substrate processing system are provided herein. In some embodiments, an apparatus for treating an exhaust gas in a foreline of a substrate processing system includes a plasma source coupled to a foreline of a process chamber, a reagent source coupled to the foreline upstream of the plasma source, and a foreline gas injection kit coupled to the foreline to controllably deliver a gas to the foreline, wherein the foreline injection kit includes a pressure regulator to set a foreline gas delivery pressure setpoint, and a first pressure gauge coupled to monitor a delivery pressure of the gas upstream of the foreline.

    摘要翻译： 本文提供了用于处理衬底处理系统的前级管线中的废气的方法和装置。 在一些实施例中，用于处理衬底处理系统的前级管线中的废气的装置包括耦合到处理室的前级管线的等离子体源，耦合到等离子体源上游的前级管线的试剂源和前级气体注入 前级管线注入套件包括用于设定前级气体输送压力设定点的压力调节器，以及耦合以监测前级管线上游气体的输送压力的第一压力表， 。

    SYSTEMS AND METHODS FOR TREATING FLAMMABLE EFFLUENT GASES FROM MANUFACTURING PROCESSES
    19.
    发明申请
    SYSTEMS AND METHODS FOR TREATING FLAMMABLE EFFLUENT GASES FROM MANUFACTURING PROCESSES 有权
    用于从制造过程中处理易燃气体的系统和方法

    公开(公告)号：US20090216061A1

    公开(公告)日：2009-08-27

    申请号：US12365886

    申请日：2009-02-04

    申请人： Daniel O. Clark ,  Mehran Moalem ,  Robbert M. Vermeulen ,  Phil Chandler

    发明人： Daniel O. Clark ,  Mehran Moalem ,  Robbert M. Vermeulen ,  Phil Chandler

    IPC分类号： A62D3/30 ,  B01J19/00

    CPC分类号： B01D53/005 ,  B01D53/40 ,  B01D2257/108 ,  B01D2258/0216

    摘要： A system for treating flammable effluent gas is provided. The system includes an exhaust conduit to carry the flammable effluent gas to an abatement unit, a control system coupled to the abatement unit to determine an operating parameter of the abatement unit, a bypass valve coupled to the exhaust conduit which is an operative responsive to the monitoring system, and a source of second gas to be mixed with the effluent gas diverted from the abatement unit when the bypass valve is operating in a bypass mode to provide a mixed gas having a flammability lower than the effluent gas. Methods of the invention as well as numerous other aspects are provided.

    摘要翻译： 提供了一种处理易燃废气的系统。 该系统包括用于将可燃性流出气体运送到减排单元的排气管道，耦合到减排单元以确定减排单元的操作参数的控制系统;联接到排气管道的旁通阀，该旁通阀是响应于 监测系统，以及当旁通阀以旁通模式操作时与从减排单元转移的废气混合的第二气体源，以提供具有低于废气的可燃性的混合气体。 提供了本发明的方法以及许多其它方面。