公开(公告)号：US5460877A

公开(公告)日：1995-10-24

申请号：US229092

申请日：1994-04-18

申请人： Tomoji Oishi ,  Ken Takahashi ,  Tetsuo Nakazawa ,  Shigeru Tanaka ,  Tadahiko Miyoshi

发明人： Tomoji Oishi ,  Ken Takahashi ,  Tetsuo Nakazawa ,  Shigeru Tanaka ,  Tadahiko Miyoshi

IPC分类号： C01B13/14 ,  B01J13/00 ,  B01J19/12 ,  C01B13/10 ,  C01B13/32 ,  C01B17/20 ,  C01B33/12 ,  C01G15/00 ,  C01G19/02 ,  C01G23/04 ,  C01G30/00 ,  C03C17/22 ,  C03C17/25 ,  C03C25/10 ,  C07F19/00 ,  F02B75/02 ,  G02B1/11 ,  G11B7/26 ,  H01B3/10 ,  H01G2/12 ,  H01G4/10 ,  H01G4/33 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/316 ,  H01L21/3205 ,  H01L23/29 ,  H01L23/31 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/14 ,  H05B33/22 ,  H05K1/03 ,  B32B15/00

CPC分类号： H01G2/12 ,  B01J13/0052 ,  C01B13/10 ,  C01B13/32 ,  C03C17/22 ,  C03C17/25 ,  C03C25/107 ,  C07F19/005 ,  H01G4/10 ,  H01L21/31058 ,  H01L21/316 ,  H01L21/3205 ,  H01L23/293 ,  H01L23/3135 ,  H05B33/10 ,  H05B33/22 ,  H05K1/0306 ,  C03C2217/21 ,  C03C2217/282 ,  C03C2218/113 ,  F02B2075/027 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/45124 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/73265 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/73 ,  H01L2924/01012 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/0102 ,  H01L2924/01025 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01063 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/19041 ,  Y10S428/917 ,  Y10T428/1064 ,  Y10T428/1086 ,  Y10T428/24917 ,  Y10T428/24926 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/266 ,  Y10T428/2949 ,  Y10T428/31504

摘要： A method of treating a metal alkoxide solution to form metal oxide prepolymer molecules therein is characterized by irradiating the solution with light energy having a wavelength selected to break the metal-alkoxy group bond in said metal alkoxide, thereby to form the metal oxide prepolymer molecules in the solution. The prepolymer is converted into polymeric metal oxide gel. The stoichiometry of the oxide is high. A gel of carbon content below 4 atomic % can be achieved by the step of decarbonizing the gel, preferably using light to produce ozone.

摘要翻译： 处理金属醇盐溶液以形成金属氧化物预聚物分子的方法的特征在于用所选择的波长的光能照射溶液以破坏所述金属醇盐中的金属 - 烷氧基键，由此形成金属氧化物预聚物分子 解决方案。 将预聚物转化成聚合金属氧化物凝胶。 氧化物的化学计量比较高。 碳含量低于4原子％的凝胶可以通过使凝胶脱碳，优选使用光来产生臭氧的步骤来实现。