公开(公告)号：US07317529B1

公开(公告)日：2008-01-08

申请号：US10928429

申请日：2004-08-27

申请人： Martin M. Liphardt ,  Ping He ,  Blaine D. Johs ,  Galen L. Pfeiffer ,  James D. Welch ,  John A. Woollam

发明人： Martin M. Liphardt ,  Ping He ,  Blaine D. Johs ,  Galen L. Pfeiffer ,  James D. Welch ,  John A. Woollam

IPC分类号： G01N21/88

CPC分类号： G01N21/211 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/10 ,  G01J4/00 ,  G01N21/55 ,  G01N2021/213

摘要： Systems and methods for providing and enhancing electromagnetic radiation beam radial energy homogeneity and intensity vs. wavelength content, for reliably directing electromagnetic radiation emitted by a source thereof in a common direction, for achromatically reducing spot size on a sample (eg. liquid cavity containing lenses and low aberration 1:1 imaging systems modified to perform as spatial filters), and for directing different wavelengths into different detectors, in ellipsometer, polarizer or the like systems.

摘要翻译： 用于提供和增强电磁辐射束径向能量均匀性和强度与波长含量的系统和方法，用于可靠地引导由其源沿着共同方向发射的电磁辐射，用于减少样品上的光斑尺寸（例如，含有液体腔的透镜 和被修改为执行空间滤波器的低像差1：1成像系统），以及用于将不同波长引导到椭偏仪，偏振器等系统中的不同检测器中。

公开(公告)号：US07245376B2

公开(公告)日：2007-07-17

申请号：US11284213

申请日：2005-11-22

申请人： Martin M. Liphardt ,  Blaine D. Johs ,  Jeffrey S. Hale ,  Craig M. Herzinger ,  Steven E. Green ,  Ping He ,  John A. Woollam

发明人： Martin M. Liphardt ,  Blaine D. Johs ,  Jeffrey S. Hale ,  Craig M. Herzinger ,  Steven E. Green ,  Ping He ,  John A. Woollam

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0243 ,  G01J4/00 ,  G01N21/21 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/213 ,  G02B17/008

摘要： Low aberration relay systems modified to perform as spatial filters in rotating compensator ellipsometer, polarimeter and the like systems.

摘要翻译： 改进的低像差继电器系统在旋转补偿器椭圆偏振器，偏振计等系统中作为空间滤波器。

公开(公告)号：US06982792B1

公开(公告)日：2006-01-03

申请号：US10376677

申请日：2003-02-28

申请人： John A. Woollam ,  Steven E. Green ,  Ping He ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Galen L. Pfeiffer ,  Brian D. Guenther ,  Martin M. Liphardt

发明人： John A. Woollam ,  Steven E. Green ,  Ping He ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger ,  Galen L. Pfeiffer ,  Brian D. Guenther ,  Martin M. Liphardt

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01N21/211 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0235 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/04 ,  G01J3/12 ,  G01J4/00 ,  G01N2021/213

摘要： Disclosed are improvements in ellipsometer and the like systems capable of operating in the Vacuum-Ultra-Violet (VUV) to Near Infrared (NIR) wavelength range, and methodology of use.

摘要翻译： 公开了能够在真空 - 紫外（VUV）至近红外（NIR）波长范围内操作的椭偏仪等系统的改进以及使用方法。

公开(公告)号：US06590655B2

公开(公告)日：2003-07-08

申请号：US09840483

申请日：2001-04-23

申请人： James D. Welch ,  Blaine D. Johs ,  Martin M. Liphardt ,  Ping He

发明人： James D. Welch ,  Blaine D. Johs ,  Martin M. Liphardt ,  Ping He

IPC分类号： G01J400

CPC分类号： G02B27/0927 ,  G01J3/10 ,  G01N21/21 ,  G01N21/211 ,  G02B27/09 ,  G02B27/0961 ,  G02B27/0966 ,  G02B27/0983

摘要： Disclosed are systems for, and methods of controlling radial energy density profiles in, and/or cross-section dimensioning of electromagnetic beams in polarimeters, ellipsometers, reflectometers and spectrophotometers.

摘要翻译： 公开了用于控制偏振计，椭偏仪，反射计和分光光度计中电磁束的径向能量密度分布和/或横截面尺寸的系统和方法。

公开(公告)号：US10247611B1

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：US14757280

申请日：2015-12-14

申请人： Martin M. Liphardt ,  Ping He ,  Duane E. Meyer

发明人： Martin M. Liphardt ,  Ping He ,  Duane E. Meyer

IPC分类号： G01J4/04 ,  G01J3/447 ,  G01J3/10 ,  G01J3/02

摘要： Application of detectors of electromagnetic radiation and systems for enabling the optimization thereof for application over various specific wavelength ranges, involving functional combinations of gratings and/or combination dichroic beam splitter-prisms, which themselves can be optimized as regards wavelength dispersion characteristics.

公开(公告)号：US08189193B1

公开(公告)日：2012-05-29

申请号：US12589076

申请日：2009-10-19

申请人： Martin M. Liphardt ,  Ping He ,  James D. Welch

发明人： Martin M. Liphardt ,  Ping He ,  James D. Welch

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01J3/0224 ,  G01J3/021 ,  G01J3/10 ,  G01N21/21 ,  G01N21/211 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/0636

摘要： Control of the angle-of-incidence of a beam of electromagnetic radiation provided by a horizontally oriented arc-lamp in ellipsometer, polarimeter, spectrophotometer, reflectometer, Mueller matrix measuring, or the like systems.

摘要翻译： 由椭圆光度计，偏光计，分光光度计，反射计，米勒矩阵测量等系统中的水平取向的弧光灯提供的电磁辐射束的入射角的控制。

公开(公告)号：US20110188040A1

公开(公告)日：2011-08-04

申请号：US13065090

申请日：2011-03-14

申请人： Ping He ,  Blaine D. Johs ,  Steven E. Green ,  Craig M. Herzinger ,  Duane E. Meyer ,  Martin M. Liphardt

发明人： Ping He ,  Blaine D. Johs ,  Steven E. Green ,  Craig M. Herzinger ,  Duane E. Meyer ,  Martin M. Liphardt

IPC分类号： G01J4/00 ,  G01J4/04

CPC分类号： G01J4/00 ,  G01J4/04

摘要： A system, method of configuring, and application a system for introducing a relative phase retardation into orthogonally polarized components of an electromagnetic beam entered thereinto, wherein the system involves a substantially achromatic multiple element retarder system for use in wide spectral range (for example, 190-1700 nm) rotating compensator spectroscopic ellipsometer and/or polarimeter systems.

摘要翻译： 一种用于配置和应用用于将相对相位延迟引入到其中输入的电磁波的正交极化分量的系统的方法，其中所述系统包括用于宽光谱范围的基本上无色的多元件延迟器系统（例如，190 -1700nm）旋转补偿光谱椭偏仪和/或偏振计系统。

公开(公告)号：US07623237B1

公开(公告)日：2009-11-24

申请号：US11452483

申请日：2006-06-14

申请人： Martin M. Liphardt ,  Thomas E. Tiwald ,  Blaine D. Johs ,  Jeffrey S. Hale ,  Craig M. Herzinger ,  Steven E. Green ,  Ping He ,  Ronald A. Synowicki ,  John A. Woollam

发明人： Martin M. Liphardt ,  Thomas E. Tiwald ,  Blaine D. Johs ,  Jeffrey S. Hale ,  Craig M. Herzinger ,  Steven E. Green ,  Ping He ,  Ronald A. Synowicki ,  John A. Woollam

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01N21/55

摘要： A spectroscopic system for adjusting spacing between an adjacent source/detector as a unit, and a sample, and a reflecting means for directing an incident beam which reflects from said sample back onto said sample and then into the detector along a locus which is in a plane of incidence that is offset from that of the incident beam, or directly from the reflecting means into the detector, including means for reducing reflections of a beam of electromagnetic from the back of a sample, including methodology of use.

摘要翻译： 用于调整作为单元的相邻源/检测器与样本之间的间隔的分光系统和用于将从所述样品反射回入所述样品然后沿着位于所述样品中的轨迹的入射光束引导的反射装置 入射平面与入射光束偏移，或直接从反射装置进入检测器，包括用于减少来自样品背面的电磁波束的反射的装置，包括使用方法。

公开(公告)号：US07554662B1

公开(公告)日：2009-06-30

申请号：US11648060

申请日：2006-12-29

申请人： Martin M. Liphardt ,  Ping He ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger

发明人： Martin M. Liphardt ,  Ping He ,  Blaine D. Johs ,  Craig M. Herzinger

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01N21/211 ,  G01J1/02 ,  G01J1/0295 ,  G01J1/04 ,  G01J1/0451 ,  G01N21/55 ,  G02B27/46

摘要： Systems which utilize electromagnetic radiation to investigate samples and include at least one spatial filter which has an aperture having a hole therethrough with a non-unity aspect ratio.

摘要翻译： 利用电磁辐射来研究样品并且包括至少一个空间滤光器的系统，所述至少一个空间滤光器具有孔，所述孔具有非均匀纵横比的通孔。

公开(公告)号：US07535566B1

公开(公告)日：2009-05-19

申请号：US11453656

申请日：2006-06-15

申请人： Blaine D. Johs ,  Galen L. Pfeiffer ,  Jeffrey S. Hale ,  Christopher A. Goeden ,  Brian D. Guenther ,  Martin M. Liphardt ,  Ping He

发明人： Blaine D. Johs ,  Galen L. Pfeiffer ,  Jeffrey S. Hale ,  Christopher A. Goeden ,  Brian D. Guenther ,  Martin M. Liphardt ,  Ping He

IPC分类号： G01J4/00 ,  G02B5/20 ,  F21V9/06

CPC分类号： G01N21/211 ,  G01J3/02 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0224 ,  G01J2003/1213 ,  G01J2003/1282 ,  G01N21/274 ,  G01N2021/213 ,  G02B27/141

摘要： An electromagnetic beam chromatic shifting and directing means for use in reflectively directing a spectroscopic beam of electromagnetic radiation while simultaneously de-emphasizing intensity in a first range of wavelengths, (eg. the Visible wavelengths), and simultaneously relatively emphasizing intensity in another wavelength range, (eg. UV wavelengths).

摘要翻译： 一种用于反射地引导电磁辐射的分光束同时在第一波长范围（例如可见波长）中强调强度的电磁光束色移和引导装置，同时相对强调另一波长范围内的强度， （例如UV波长）。