公开(公告)号：US07346431B2

公开(公告)日：2008-03-18

申请号：US11555240

申请日：2006-10-31

申请人： Michael Robert Rice ,  Martin R. Elliott ,  Robert B. Lowrance ,  Jeffrey C. Hudgens ,  Eric Andrew Englhardt

发明人： Michael Robert Rice ,  Martin R. Elliott ,  Robert B. Lowrance ,  Jeffrey C. Hudgens ,  Eric Andrew Englhardt

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： B65G37/02 ,  B65G47/61 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67778

摘要： In a first aspect, a substrate loading station is served by a conveyor which continuously transports substrate carriers. A substrate carrier handler that is part of the substrate loading station operates to exchange substrate carriers with the conveyor while the conveyor is in motion. A carrier exchange procedure may include moving an end effector of the substrate carrier handler at a velocity that substantially matches a velocity of the conveyor. Numerous other aspects are provided.

摘要翻译： 在第一方面中，基板装载站由连续输送基板载体的输送机供给。 作为基板装载站的一部分的基板载体处理器在输送机运动的同时与输送机交换基板载体。 载体交换过程可以包括以基本匹配输送机速度的速度移动基底载体处理器的端部执行器。 提供了许多其他方面。

公开(公告)号：US07258520B2

公开(公告)日：2007-08-21

申请号：US10650312

申请日：2003-08-28

申请人： Martin R. Elliott ,  Michael Robert Rice ,  Robert B. Lowrance ,  Jeffrey C. Hudgens ,  Eric Andrew Englhardt ,  Loy Randall Stuart

发明人： Martin R. Elliott ,  Michael Robert Rice ,  Robert B. Lowrance ,  Jeffrey C. Hudgens ,  Eric Andrew Englhardt ,  Loy Randall Stuart

IPC分类号： B65B59/00 ,  H01L21/67

CPC分类号： H01L21/67353 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67386 ,  H01L21/67772 ,  Y10S414/139

摘要： A system for opening a substrate carrier includes a substrate carrier having an openable portion. The substrate carrier also has an opening mechanism coupled to the openable portion. A substrate transfer location has a support adapted to support a substrate carrier. The substrate transfer location also has an actuator mechanism. The actuator mechanism is positioned relative to the support so as to interact with the opening mechanism of the substrate carrier. The actuator mechanism of the substrate transfer location and the opening mechanism of the substrate carrier are adapted to interface with each other at the substrate transfer location so as to employ movement of the substrate carrier to achieve opening and closing of the substrate carrier.

摘要翻译： 用于打开衬底载体的系统包括具有可打开部分的衬底载体。 衬底托架还具有联接到可打开部分的打开机构。 衬底转移位置具有适于支撑衬底载体的支撑件。 基板转印位置也具有致动器机构。 致动器机构相对于支撑件定位，以便与衬底载体的开启机构相互作用。 衬底传送位置的致动器机构和衬底载体的打开机构适于在衬底传送位置处彼此接合，以便采用衬底载体的移动来实现衬底载体的打开和闭合。

公开(公告)号：US5763851A

公开(公告)日：1998-06-09

申请号：US676599

申请日：1996-07-03

申请人： John Forster ,  Aihua Chen ,  Howard Grunes ,  Robert B. Lowrance ,  Ralf Hofmann ,  Zheng Xu ,  Fernand Dorleans

发明人： John Forster ,  Aihua Chen ,  Howard Grunes ,  Robert B. Lowrance ,  Ralf Hofmann ,  Zheng Xu ,  Fernand Dorleans

IPC分类号： H01J37/32 ,  B23K10/00

CPC分类号： H01J37/32477 ,  H01J37/321 ,  Y10S156/916

摘要： A coil shield assembly for an RF field coil in a plasma processing system includes a first shield positioned inside the coil. The first shield has a central opening substantially surrounding a central space of a processing chamber in which the plasma is maintained. At least one slot is formed in the first shield and extends therethrough. A barrier is positioned between the first shield and the coil and spaced apart from the first shield near the at least one slot. The slot permits an RF signal from the coil to couple with the plasma, and the first shield and the barrier are structured and arranged to prevent plasma ions or sputtered material from bombarding the coil by a direct path from the central space and through the at least one slot.

摘要翻译： 用于等离子体处理系统中的RF场线圈的线圈屏蔽组件包括位于线圈内部的第一屏蔽件。 第一屏蔽件具有基本上围绕处理室的中心空间的中心开口，其中维持等离子体。 在第一屏蔽件中形成至少一个槽，并延伸穿过其中。 屏障位于第一屏蔽和线圈之间，并且在靠近至少一个槽的位置处与第一屏蔽隔开。 该槽允许来自线圈的RF信号与等离子体耦合，并且第一屏蔽和屏障被构造和布置成防止等离子体离子或溅射材料通过从中心空间的直接路径至少通过至少 一个槽

公开(公告)号：US5355066A

公开(公告)日：1994-10-11

申请号：US25204

申请日：1993-03-02

申请人： Robert B. Lowrance

发明人： Robert B. Lowrance

IPC分类号： B25J9/10 ,  B25J9/12 ,  B25J21/00 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  G21K5/10

CPC分类号： H01L21/67742 ,  B25J21/005 ,  B25J9/107 ,  B25J9/126 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/139

摘要： A robot having a pair of magnetic couplings that each couple a motor in a cylindrical first chamber to an associated cylindrical ring closely spaced from the cylindrical wall of said first chamber. The robot includes a mechanism to convert rotation of each of these rings into separate motions of the robot. In the preferred embodiment, these separate motions are radial and rotational.

摘要翻译： 一种具有一对磁耦合器的机器人，每个磁耦合器将圆柱形第一腔室中的马达耦合到与所述第一腔室的圆柱形壁紧密间隔的相关联的圆柱形环。 机器人包括将这些环中的每一个的旋转转换成机器人的单独运动的机构。 在优选实施例中，这些分开的运动是径向的和旋转的。

公开(公告)号：US5280983A

公开(公告)日：1994-01-25

申请号：US963006

申请日：1992-10-19

申请人： Dan Maydan ,  Sasson R. Somekh ,  Charles Ryan-Harris ,  Richard A. Seilheimer ,  David Cheng ,  Edward M. Abolnikov ,  Lance S. Reinke ,  J. Christopher Moran ,  Richard M. Catlin, Jr. ,  Robert B. Lowrance ,  Gregory W. Ridgeway

发明人： Dan Maydan ,  Sasson R. Somekh ,  Charles Ryan-Harris ,  Richard A. Seilheimer ,  David Cheng ,  Edward M. Abolnikov ,  Lance S. Reinke ,  J. Christopher Moran ,  Richard M. Catlin, Jr. ,  Robert B. Lowrance ,  Gregory W. Ridgeway

IPC分类号： H01L21/67 ,  H02H9/00 ,  H05K13/02 ,  B66C1/42

CPC分类号： H05K13/021 ,  H01L21/67 ,  H02H9/005 ,  Y10S294/902

摘要： A wafer processing system includes an autoloader mounted within a load lock for providing batch, cassette-to-cassette automatic wafer transfer between the semiconductor processing chamber and cassette load and unload positions within the load lock. The system provides rapid, contamination-free loading and unloading of semiconductor wafers.

摘要翻译： 晶片处理系统包括安装在负载锁中的自动装载机，用于在半导体处理室和装载锁之间的卸载位置之间提供批处理，盒到盒自动晶片传送。 该系统提供快速，无污染的半导体晶片装载和卸载。

公开(公告)号：US5224809A

公开(公告)日：1993-07-06

申请号：US816525

申请日：1991-12-30

申请人： Dan Maydan ,  Sasson R. Somekh ,  Charles Ryan-Harris ,  Richard A. Seilheimer ,  David Cheng ,  Edward M. Abolnikov ,  Lance S. Reinke ,  J. Christopher Moran ,  Richard M. Catlin, Jr. ,  Robert B. Lowrance ,  Gregory W. Ridgeway

发明人： Dan Maydan ,  Sasson R. Somekh ,  Charles Ryan-Harris ,  Richard A. Seilheimer ,  David Cheng ,  Edward M. Abolnikov ,  Lance S. Reinke ,  J. Christopher Moran ,  Richard M. Catlin, Jr. ,  Robert B. Lowrance ,  Gregory W. Ridgeway

IPC分类号： B65G49/07 ,  H01L21/67 ,  H05K13/02

CPC分类号： H01L21/67 ,  H05K13/021 ,  Y10S414/13

摘要： A wafer processing system includes an autoloader mounted within a load lock for providing batch, cassette-to-cassette automatic wafer transfer between the semiconductor processing chamber and cassette load and unload positions within the load lock. The system provides rapid, contamination-free loading and unloading of semiconductor wafers.

摘要翻译： 晶片处理系统包括安装在负载锁中的自动装载机，用于在半导体处理室和装载锁之间的卸载位置之间提供批处理，盒到盒自动晶片传送。 该系统提供快速，无污染的半导体晶片装载和卸载。