公开(公告)号：US5151395A

公开(公告)日：1992-09-29

申请号：US495790

申请日：1990-03-16

申请人： Glenn M. Tom

发明人： Glenn M. Tom

IPC分类号： B01D53/04 ,  B01J8/02 ,  B01J20/32 ,  C01B6/00 ,  C01B6/06 ,  C01B6/24 ,  C01B17/16 ,  C01B19/04 ,  C01B21/04 ,  C01B23/00 ,  C01B25/06 ,  C01B33/04 ,  C23C16/448 ,  C30B25/14 ,  F17C13/08 ,  F17C13/12

CPC分类号： B01D53/0423 ,  B01D53/0454 ,  B01J20/3204 ,  B01J20/321 ,  B01J20/3219 ,  B01J20/3236 ,  B01J20/3265 ,  B01J8/0278 ,  C01B17/16 ,  C01B17/165 ,  C01B19/04 ,  C01B21/0427 ,  C01B23/00 ,  C01B25/06 ,  C01B33/043 ,  C01B6/00 ,  C01B6/065 ,  C01B6/24 ,  C23C16/4488 ,  C30B25/14 ,  F17C13/084 ,  F17C13/123 ,  B01D2251/10 ,  B01D2251/302 ,  B01D2251/304 ,  B01D2251/306 ,  B01D2251/402 ,  B01D2253/102 ,  B01D2253/104 ,  B01D2253/106 ,  B01D2253/1122 ,  B01D2253/202 ,  B01D2253/25 ,  B01D2253/308 ,  B01D2253/31 ,  B01D2255/20776 ,  B01D2255/808 ,  B01D2257/204 ,  B01D2257/406 ,  B01D2257/55 ,  B01D2257/60 ,  B01D2257/70 ,  B01D2257/704 ,  B01D2257/706 ,  B01D2257/93 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/40003 ,  B01D2259/40086 ,  B01D2259/4146 ,  F17C2201/0109 ,  F17C2201/0119 ,  F17C2201/032 ,  F17C2205/0107 ,  F17C2205/0111 ,  F17C2205/0142 ,  F17C2205/0146 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0341 ,  F17C2221/014 ,  F17C2221/03 ,  F17C2221/037 ,  F17C2227/044 ,  F17C2270/0518

摘要： A sorbent composition comprising a first sorbent bed of hygroscopic aluminosilicate sorbent and a second sorbent bed comprising an aluminosilicate sorbent impregnated with an aqueous base solution, whereby the hygroscopic aluminosilicate sorbent provides an initial contact zone to protect upstream gas and processing equipment from reaction products resulting from back-diffusion of water which will occur in the absence of the first sorbent.

摘要翻译： 一种吸附剂组合物，其包含吸湿性硅铝酸盐吸附剂的第一吸附剂床和包含浸渍有碱性水溶液浸渍的硅铝酸盐吸附剂的第二吸附剂床，由此吸湿性硅铝酸盐吸附剂提供初始接触区域，以保护上游气体和加工设备免受由 在不存在第一吸附剂的情况下将发生水的反向扩散。

公开(公告)号：US4950419A

公开(公告)日：1990-08-21

申请号：US169400

申请日：1988-03-17

申请人： Glenn M. Tom ,  Duncan W. Brown

发明人： Glenn M. Tom ,  Duncan W. Brown

IPC分类号： B01J20/32 ,  C01B6/06 ,  C01B21/04 ,  C01B23/00 ,  C01B25/06

CPC分类号： B01J20/08 ,  B01J20/223 ,  B01J20/28057 ,  B01J20/3078 ,  B01J20/3204 ,  B01J20/3265 ,  C01B21/0427 ,  C01B23/00 ,  C01B25/06 ,  C01B6/065 ,  B01J2220/56 ,  B01J2220/64 ,  B01J2220/66

摘要： A scavenger for purifying inert gas mixtures to remove Lewis acid and oxidant impurities therefrom, comprising (i) an inert inorganic support, and (ii) an active scavenging species on the support, formed by deposition thereon of an organometallic precursor and pyrolysis thereof at a selected elevated temperature. The organometallic precursor is an alkyl metal compound comprising a metal of Group IA, IIA, and/or IIIA, wherein the pyrolysis temperature may range from about 150.degree. C. to about 250.degree. C., depending on the specific alkyl metal compound employed as the precursor. Also disclosed are: a corresponding method of making the scavenger; a process for purifying inert gases by contacting same with the scavenger; and a vessel containing a bed of the scavenger, useful as an apparatus for purifying inert gases.

摘要翻译： 一种用于净化惰性气体混合物以从其中除去路易斯酸和氧化剂杂质的清除剂，其包含（i）惰性无机载体，和（ii）载体上的活性清除物质，其通过在其上沉积有机金属前体而形成，并在 选择升高的温度。 有机金属前体是包含IA，IIA和/或IIIA族金属的烷基金属化合物，其中热分解温度可以在约150℃至约250℃的范围内，这取决于作为 的前身。 还公开了：制备清除剂的相应方法; 通过与清除剂接触来净化惰性气体的方法; 以及容纳清除剂床的容器，可用作净化惰性气体的装置。

公开(公告)号：US4781900A

公开(公告)日：1988-11-01

申请号：US154917

申请日：1988-02-11

申请人： Glenn M. Tom ,  Duncan W. Brown

发明人： Glenn M. Tom ,  Duncan W. Brown

IPC分类号： B01J20/32 ,  C01B6/06 ,  C01B21/04 ,  C01B23/00 ,  C01B25/06 ,  B01D53/04

CPC分类号： C01B6/065 ,  B01J20/3204 ,  B01J20/321 ,  B01J20/3234 ,  B01J20/3246 ,  B01J20/3248 ,  B01J20/3255 ,  B01J20/3265 ,  C01B21/0427 ,  C01B23/00 ,  C01B25/06

摘要： A process for purifying a gaseous mixture comprising arsine, phosphine, ammonia, and/or inert gases, to remove Lewis acid and/or oxidant impurities therefrom, comprising contacting the mixture with a scavenger including a support having associated therewith an anion which is effective to remove such impurities, such anion being selected from one or more members of the group consisting of: (i) carbanions whose corresponding protonated compounds have a pK.sub.a value of from about 22 to about 36; and (ii) anions formed by reaction of such carbanions with the primary component of the mixture.

摘要翻译： 一种净化包含胂，膦，氨和/或惰性气体的气体混合物以从其中除去路易斯酸和/或氧化剂杂质的方法，包括使该混合物与包含与其相关联的载体的清除剂接触，所述阴离子对于 除去这些杂质，这种阴离子选自以下组成的一个或多个成员：（i）其对应的质子化合物的pKa值为约22至约36的碳阴离子; 和（ii）通过这种碳阴离子与混合物的主要组分的反应形成的阴离子。

公开(公告)号：US4761395A

公开(公告)日：1988-08-02

申请号：US29632

申请日：1987-03-24

申请人： Glenn M. Tom ,  Duncan W. Brown

发明人： Glenn M. Tom ,  Duncan W. Brown

IPC分类号： B01D53/02 ,  B01D53/28 ,  B01J20/22 ,  B01J20/32 ,  C01B6/06 ,  C01B6/34 ,  C01B21/04 ,  C01B23/00 ,  C01B25/06 ,  C01G28/00 ,  C10B25/06 ,  B01J20/04 ,  B01J20/16

CPC分类号： C01B6/065 ,  B01J20/3204 ,  B01J20/321 ,  B01J20/3246 ,  B01J20/3255 ,  B01J20/3265 ,  C01B21/0427 ,  C01B23/00 ,  C01B25/06

摘要： A process for purifying a gaseous mixture comprising arsine, phosphine, ammonia, and/or inert gases, to remove Lewis acid and/or oxidant impurities therefrom, comprising contacting the mixture with a scavenger including a support having associated therewith an anion which is effective to remove such impurities, such anion being selected from one or more members of the group consisting of: (i) carbanions whose corresponding protonated compounds have a pK.sub.a value of from about 22 to about 36; and (ii) anions formed by reaction of such carbanions with the primary component of the mixture.

公开(公告)号：US4661575A

公开(公告)日：1987-04-28

申请号：US839258

申请日：1986-03-13

申请人： Glenn M. Tom

发明人： Glenn M. Tom

IPC分类号： C08G61/08 ,  C08F32/06

CPC分类号： C08G61/08

摘要： A novel polymer product comprised of polymerized units of dicyclopentadiene and method of making the same as disclosed.

摘要翻译： 由双环戊二烯的聚合单元组成的新型聚合物产物及其制备方法。

公开(公告)号：US4584425A

公开(公告)日：1986-04-22

申请号：US672424

申请日：1984-11-16

申请人： Glenn M. Tom

发明人： Glenn M. Tom

IPC分类号： B29C45/00 ,  B29K86/00 ,  B29L31/30 ,  C08F32/00 ,  C08F32/02 ,  C08F32/06 ,  C08F32/08 ,  C08G61/06 ,  C08G61/08 ,  C08K3/00 ,  C08K7/00 ,  C08L45/00 ,  C07C7/12

CPC分类号： C08G61/08

摘要： A high flash point cycloolefin composition, including at least 50% by weight dicyclopentadiene, the composition having a flash point of greater than 100.degree. F. and a viscosity of from about 3 cps to about 3000 cps at about 70.degree. F. and about 1 atmosphere pressure. The cycloolefin composition is used in a method of preparation of cycloolefin for polymerization by metathesis catalysis to form a substantially crosslinked thermoset polymer by: distilling the cycloolefin to form distilled cycloolefin, and contacting the distilled cycloolefin and an adsorbant.

摘要翻译： 高闪点环烯烃组合物，包括至少50重量％的二环戊二烯，该组合物的闪点大于100°F，在约70°F下粘度为约3cps至约3000cps，约为1 大气压力。 环烯烃组合物用于制备环烯烃的方法，用于通过复分解催化聚合形成基本上交联的热固性聚合物，方法是：蒸馏环烯烃以形成蒸馏的环烯烃，并使蒸馏的环烯烃和吸附剂接触。

公开(公告)号：US20100112815A1

公开(公告)日：2010-05-06

申请号：US11915996

申请日：2006-06-05

申请人： Kevin T. O'Dougherty ,  Glenn M. Tom

发明人： Kevin T. O'Dougherty ,  Glenn M. Tom

IPC分类号： H01L21/30 ,  B67D7/06 ,  B65D35/56 ,  B67D7/10 ,  B65D83/00 ,  G05D7/00 ,  B67D7/00 ,  B65D17/34 ,  B65D41/06 ,  B23P19/04 ,  B23P11/00

CPC分类号： B67D7/0288 ,  B67D7/0261 ,  B67D7/32 ,  B67D7/3227 ,  B67D7/3281 ,  B67D7/34 ,  B67D7/344 ,  F16K35/00 ,  F16K35/025 ,  F16L37/08 ,  Y10T29/49826 ,  Y10T29/53

摘要： Fluid storage and dispensing systems and processes involving various devices, structures and arrangements, as well as techniques and methods, for fluid storage and dispensing, including, without limitation, pre-connect verification couplings that are usefully employed in application to fluid storage and dispensing packages, to ensure proper coupling and avoid fluid contamination issues, empty detect systems that are usefully employed for fluid storage and dispensing packages incorporating liners that are pressure-compressed in the fluid dispensing operation, ergonomically enhanced structures for facilitating removal of a dispense connector from a capped vessel, cap integrity assurance systems for preventing misuse of vessel caps, and keycoding systems for ensuring coupling of proper dispense assemblies and vessels. Fluid storage and dispensing systems are described, which achieve zero or near-zero headspace character, and prevent or ameliorate solubilization effects in liquid dispensing from liners in overpack vessels.

摘要翻译： 涉及用于流体储存和分配的各种装置，结构和布置以及技术和方法的流体存储和分配系统和方法，包括但不限于预先连接的验证联接器，其有效地用于流体储存和分配包装 ，以确保正确耦合并避免流体污染问题，空气检测系统有效地用于流体储存和分配包装，包括在流体分配操作中被压缩的衬垫，符合人体工程学的增强结构，便于将分配连接器从封盖 船舶，船帽完整性保证系统，防止船只盖的误用，以及键盘系统，用于确保合适的分配组件和船只的连接。 描述了流体存储和分配系统，其实现零或接近零的顶空特征，并且防止或改善在外包装容器中的衬垫中的液体分配中的增溶作用。

公开(公告)号：US20090314798A1

公开(公告)日：2009-12-24

申请号：US11912613

申请日：2006-04-25

申请人： Minna Hovinen ,  John R. Kingery ,  Glenn M. Tom ,  Kevin T. O'Dougherty ,  Kirk Mikkelsen ,  Donald D. Ware ,  Peter C. Van Buskirk

发明人： Minna Hovinen ,  John R. Kingery ,  Glenn M. Tom ,  Kevin T. O'Dougherty ,  Kirk Mikkelsen ,  Donald D. Ware ,  Peter C. Van Buskirk

IPC分类号： B67D5/06 ,  B65D83/62

CPC分类号： B65D83/0061 ,  B01J4/02 ,  B01J2219/00065 ,  B01J2219/00067 ,  B01J2219/00069 ,  B01J2219/00164 ,  G01F23/18

摘要： Fluid supply systems for storage and dispensing of chemical reagents and compositions, e.g., high purity liquid reagents and chemical mechanical polishing compositions used to manufacture microelectronic device products, having capability for detection of an empty or near-empty condition when the contained liquid is at or approaching depletion during dispensing operation. Fluid delivery systems employing empty detect arrangements are described, including pressure transducer monitoring of dispensed material intermediate the supply package and a servo-hydraulic dispense pump, or monitoring of dispenser chamber replenishment times in a dispenser being replenished on a cyclic schedule to flow material from the dispenser to a downstream tool utilizing the dispensed material.

摘要翻译： 用于储存和分配化学试剂和组合物的流体供应系统，例如用于制造微电子器件产品的高纯度液体试剂和化学机械抛光组合物，具有在所含液体处于或等待时检测空或近空状态的能力， 在分配操作期间接近耗尽。 描述了使用空的检测装置的流体输送系统，包括压力传感器监测供应包装中间的分配材料和伺服液压分配泵，或监测在分配器中的分配器室补充时间，该分配器在循环调度中被补充以从 分配器利用所分配的材料到下游工具。

公开(公告)号：US20090212071A1

公开(公告)日：2009-08-27

申请号：US11912629

申请日：2006-04-25

申请人： Glenn M. Tom ,  John R. Kingery ,  Kevin T. O'Dougherty ,  Kirk Mikkelsen ,  Michele Alberg ,  Patrick M. Olson ,  Tim Hoyt

发明人： Glenn M. Tom ,  John R. Kingery ,  Kevin T. O'Dougherty ,  Kirk Mikkelsen ,  Michele Alberg ,  Patrick M. Olson ,  Tim Hoyt

IPC分类号： B65D81/18 ,  B65D37/00 ,  B65D81/20 ,  B32B3/26 ,  B32B27/34 ,  B32B27/32 ,  B65D35/28

CPC分类号： B65D33/00 ,  B65B31/003 ,  B65D83/0061 ,  B65D83/62 ,  Y10T428/249981 ,  Y10T428/31757

摘要： Packages and methods for storage and dispensing of materials, e.g., high purity liquid reagents and chemical mechanical polishing compositions used in the manufacture of microelectronic device products, including containment structures and methods adapted for pressure-dispensing of high-purity liquids. Liner packaging of liquid or liquid-containing media is described, in which zero or near-zero head space conformations are employed to minimize adverse effects of particle generation, formation of bubbles and degradation of contained material.

摘要翻译： 用于存储和分配材料的包装和方法，例如用于制造微电子器件产品的高纯度液体试剂和化学机械抛光组合物，包括适于压力分配高纯度液体的容纳结构和方法。 描述了液体或含液体介质的衬里包装，其中使用零或近零零的顶部空间构象来最小化产生颗粒的不利影响，气泡的形成和所含材料的劣化。

公开(公告)号：US07427346B2

公开(公告)日：2008-09-23

申请号：US10838390

申请日：2004-05-04

申请人： Glenn M. Tom ,  Steven Lurcott

发明人： Glenn M. Tom ,  Steven Lurcott

IPC分类号： G01N27/42

CPC分类号： G01N27/42

摘要： An electrochemical drive circuitry and method, such as may be employed in electroplating bath chemical monitoring. A microcontroller can be utilized to selectively apply galvanostatic or potentiostatic conditions on the electrochemical cell, for measurement of response of the electrochemical cell to such conditions, with the microcontroller arranged to generate an offset potential to control potential across the electrochemical cell within a range of potential accommodated by a unipolar power supply, and/or a CMOS analog switch can be employed in combination with individual digital-to-analog converters for each of the current-controlled and potential-controlled conditions, to provide high-speed, dual mode operating capability.

摘要翻译： 电化学驱动电路和方法，例如可用于电镀浴化学监测。 可以使用微控制器来选择性地对电化学电池施加恒电流或恒电势条件，以测量电化学电池对这种条件的响应，微控制器被布置成产生在电势范围内的跨越电化学电池的电位的控制电压 通过单极电源容纳的和/或CMOS模拟开关可以与各个数模转换器结合使用，用于每个电流控制和电位控制条件，以提供高速双模操作能力 。