公开(公告)号：US20100117229A1

公开(公告)日：2010-05-13

申请号：US12655975

申请日：2010-01-12

申请人： Madhav Datta ,  Dave Emory ,  Subhash M. Joshi ,  Susanne Menezes ,  Doowon Suh

发明人： Madhav Datta ,  Dave Emory ,  Subhash M. Joshi ,  Susanne Menezes ,  Doowon Suh

IPC分类号： H01L23/498 ,  H01L21/768

CPC分类号： H01L24/11 ,  H01L23/49816 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L2224/0361 ,  H01L2224/03912 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/11009 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/1148 ,  H01L2224/11849 ,  H01L2224/11901 ,  H01L2224/11912 ,  H01L2224/13023 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/13116 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/13166 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01021 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/0104 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01058 ,  H01L2924/01072 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01327 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/05552

摘要： The invention relates to a ball-limiting metallurgy stack for an electrical device that contains at least one copper layer disposed upon a Ti adhesion metal layer. The ball-limiting metallurgy stack resists Sn migration toward the upper metallization of the device.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于电气装置的极限极限冶金堆，其包含设置在Ti粘附金属层上的至少一个铜层。 限流冶金叠层可阻止Sn向器件的上部金属化迁移。

公开(公告)号：US07196001B2

公开(公告)日：2007-03-27

申请号：US10776076

申请日：2004-02-10

申请人： Madhav Datta ,  Dave Emory ,  Subhash M. Joshi ,  Susanne Menezes ,  Doowon Suh

发明人： Madhav Datta ,  Dave Emory ,  Subhash M. Joshi ,  Susanne Menezes ,  Doowon Suh

IPC分类号： H01L21/44

CPC分类号： H01L24/11 ,  H01L23/49816 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L2224/0361 ,  H01L2224/03912 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/11009 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/1148 ,  H01L2224/11849 ,  H01L2224/11901 ,  H01L2224/11912 ,  H01L2224/13023 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/13116 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/13166 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01021 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/0104 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01058 ,  H01L2924/01072 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01327 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/05552

摘要： The invention relates to a ball-limiting metallurgy stack for an electrical device that contains at least one copper layer disposed upon a Ti adhesion metal layer. The ball-limiting metallurgy stack resists Sn migration toward the upper metallization of the device.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于电气装置的极限极限冶金堆，其包含设置在Ti粘附金属层上的至少一个铜层。 限流冶金叠层可阻止Sn向器件的上部金属化迁移。

公开(公告)号：US08952550B2

公开(公告)日：2015-02-10

申请号：US12655975

申请日：2010-01-12

申请人： Madhav Datta ,  Dave Emory ,  Subhash M. Joshi ,  Susanne Menezes ,  Doowon Suh

发明人： Madhav Datta ,  Dave Emory ,  Subhash M. Joshi ,  Susanne Menezes ,  Doowon Suh

IPC分类号： H01L23/48

CPC分类号： H01L24/11 ,  H01L23/49816 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L2224/0361 ,  H01L2224/03912 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/11009 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/1148 ,  H01L2224/11849 ,  H01L2224/11901 ,  H01L2224/11912 ,  H01L2224/13023 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/13116 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/13166 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01021 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/0104 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01058 ,  H01L2924/01072 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01327 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/05552

摘要： The invention relates to a ball-limiting metallurgy stack for an electrical device that contains at least one copper layer disposed upon a Ti adhesion metal layer. The ball-limiting metallurgy stack resists Sn migration toward the upper metallization of the device.

公开(公告)号：US07250678B2

公开(公告)日：2007-07-31

申请号：US10776448

申请日：2004-02-10

申请人： Madhav Datta ,  Dave Emory ,  Subhash M. Joshi ,  Susanne Menezes ,  Doowon Suh

发明人： Madhav Datta ,  Dave Emory ,  Subhash M. Joshi ,  Susanne Menezes ,  Doowon Suh

IPC分类号： H01L23/48

CPC分类号： H01L24/11 ,  H01L23/49816 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L2224/0361 ,  H01L2224/03912 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/11009 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/1148 ,  H01L2224/11849 ,  H01L2224/11901 ,  H01L2224/11912 ,  H01L2224/13023 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/13116 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/13166 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01021 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/0104 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01058 ,  H01L2924/01072 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01327 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/05552

摘要： The invention relates to a ball-limiting metallurgy stack for an electrical device that contains at least one copper layer disposed upon a Ti adhesion metal layer. The ball-limiting metallurgy stack resists Sn migration toward the upper metallization of the device.

公开(公告)号：US20060148233A1

公开(公告)日：2006-07-06

申请号：US11366957

申请日：2006-03-01

申请人： Madhav Datta ,  Dave Emory ,  Subhash Joshi ,  Susanne Menezes ,  Doowon Suh

发明人： Madhav Datta ,  Dave Emory ,  Subhash Joshi ,  Susanne Menezes ,  Doowon Suh

IPC分类号： H01L21/44

CPC分类号： H01L24/11 ,  H01L23/49816 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L2224/0361 ,  H01L2224/03912 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/11009 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/1148 ,  H01L2224/11849 ,  H01L2224/11901 ,  H01L2224/11912 ,  H01L2224/13023 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/13116 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/13166 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01021 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/0104 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01058 ,  H01L2924/01072 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01327 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/05552

摘要： The invention relates to a ball-limiting metallurgy stack for an electrical device that contains at least one copper layer disposed upon a Ti adhesion metal layer. The ball-limiting metallurgy stack resists Sn migration toward the upper metallization of the device.

公开(公告)号：US06740427B2

公开(公告)日：2004-05-25

申请号：US09961037

申请日：2001-09-21

申请人： Madhav Datta ,  Dave Emory ,  Tzeun-luh Huang ,  Subhash M. Joshi ,  Christine A. King ,  Zhiyong Ma ,  Thomas Marieb ,  Michael Mckeag ,  Doowon Suh ,  Simon Yang

发明人： Madhav Datta ,  Dave Emory ,  Tzeun-luh Huang ,  Subhash M. Joshi ,  Christine A. King ,  Zhiyong Ma ,  Thomas Marieb ,  Michael Mckeag ,  Doowon Suh ,  Simon Yang

IPC分类号： B32B1501

CPC分类号： C22C11/06 ,  C22C13/00 ,  H01L24/03 ,  H01L24/11 ,  H01L2224/0361 ,  H01L2224/03622 ,  H01L2224/03912 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/11009 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/13023 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01021 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/0104 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01058 ,  H01L2924/01072 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01327 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/14 ,  Y10T428/12576 ,  Y10T428/12687 ,  Y10T428/12701 ,  Y10T428/12708 ,  Y10T428/12743 ,  Y10T428/12806 ,  Y10T428/12812 ,  H01L2924/00014

摘要： The invention relates to a ball limiting metallurgy stack for an electrical device that contains a tin diffusion barrier and thermo-mechanical buffer layer disposed upon a refractory metal first layer. The multi-diffusion barrier layer stack resists tin migration toward the upper metallization of the device.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于电气装置的球限制冶金堆，其包含设置在难熔金属第一层上的锡扩散阻挡层和热机械缓冲层。 多扩散阻挡层堆叠抵抗朝向器件的上部金属化的锡迁移。

公开(公告)号：US06853076B2

公开(公告)日：2005-02-08

申请号：US09961034

申请日：2001-09-21

申请人： Madhav Datta ,  Dave Emory ,  Subhash M. Joshi ,  Susanne Menezes ,  Doowon Suh

发明人： Madhav Datta ,  Dave Emory ,  Subhash M. Joshi ,  Susanne Menezes ,  Doowon Suh

IPC分类号： H01L21/60 ,  H01L23/485 ,  H01L23/48 ,  H01L23/52 ,  H01L29/40

CPC分类号： H01L24/11 ,  H01L23/49816 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L2224/0361 ,  H01L2224/03912 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/11009 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/1148 ,  H01L2224/11849 ,  H01L2224/11901 ,  H01L2224/11912 ,  H01L2224/13023 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/13116 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/13166 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01021 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/0104 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01058 ,  H01L2924/01072 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01327 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/05552

摘要： The invention relates to a ball-limiting metallurgy stack for an electrical device that contains at least one copper layer disposed upon a Ti adhesion metal layer. The ball-limiting metallurgy stack resists Sn migration toward the upper metallization of the device.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于电气装置的极限极限冶金堆，其包含设置在Ti粘附金属层上的至少一个铜层。 限流冶金叠层可阻止Sn向器件的上部金属化迁移。