公开(公告)号：US06444920B1

公开(公告)日：2002-09-03

申请号：US09491628

申请日：2000-01-26

申请人： Mareike K. Klee ,  Hans-Wolfgang Brand ,  Uwe Mackens ,  Rainer Kiewitt ,  Antonius J. M. Nellisen ,  Antal F. J. Baggerman ,  Martin Fleuster ,  Marc De Samber

发明人： Mareike K. Klee ,  Hans-Wolfgang Brand ,  Uwe Mackens ,  Rainer Kiewitt ,  Antonius J. M. Nellisen ,  Antal F. J. Baggerman ,  Martin Fleuster ,  Marc De Samber

IPC分类号： H05K116

CPC分类号： H01L27/016 ,  H01L2924/0002 ,  H05K1/0306 ,  H05K3/3442 ,  H05K3/368 ,  H05K3/403 ,  H05K2201/0317 ,  H01L2924/00

摘要： The invention relates to a thin film circuit with component. The thin film circuit comprises a network of capacitors, or a network of capacitors and resistors, or a network of capacitors, resistors and inductances, or a network of capacitors and inductances. Current supply contacts such as, for example, SMD end contacts or bump end contacts render it possible for the thin film circuit to be connected to further components of a circuit or, for example, to be combined with active components through the use of contact surfaces.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有部件的薄膜电路。 薄膜电路包括电容器网络或电容器和电阻器的网络，或电容器，电阻器和电感器的网络，或电容器和电感器的网络。 电流供应触点，例如SMD端触点或凸起端触点使得薄膜电路可以连接到电路的其它部件，或者例如通过使用接触表面与有源部件组合 。

公开(公告)号：US06420096B1

公开(公告)日：2002-07-16

申请号：US09541767

申请日：2000-04-03

申请人： Hans-Peter Löbl ,  Paul Van Oppen ,  Mareike Klee ,  Martin Fleuster

发明人： Hans-Peter Löbl ,  Paul Van Oppen ,  Mareike Klee ,  Martin Fleuster

IPC分类号： G03F726

CPC分类号： H05K3/108 ,  H01L21/4846 ,  H01L21/76834 ,  H01L21/76885 ,  H01L23/66 ,  H01L24/11 ,  H01L2223/6627 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01072 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/1903 ,  H01L2924/19042 ,  H01L2924/19043 ,  H01P11/00 ,  H05K1/0237 ,  H05K1/0306 ,  H05K3/28 ,  H05K3/388 ,  H05K3/4685 ,  H05K2201/0195 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/0401

摘要： The invention describes a method of manufacturing an electronic thin-film component comprising at least one stripline. In this method, first a metallic base layer is deposited on a substrate layer, a photoresist layer is applied to this metallic base layer, and structured in accordance with the stripline(s) to be formed. An electroconductive layer is deposited on the exposed regions of the metallic base layer. Subsequently, the photoresist is removed and the metallic base layer is etched. This method has the advantage that less metal is required as compared to other thin-film methods. Overlapping areas of the striplines can be formed readily, economically, and with small current capacitances by means of bridges. By means of the method described herein, passive components, such as thin-film couplers for high-frequency applications or thin-film coils can be readily obtained.

摘要翻译： 本发明描述了一种制造包括至少一条带状线的电子薄膜部件的方法。 在该方法中，首先在基板层上沉积金属基底层，将光致抗蚀剂层施加到该金属基底层上，并根据要形成的带状线构造。 导电层沉积在金属基层的暴露区域上。 随后，去除光致抗蚀剂并蚀刻金属基层。 该方法的优点是与其它薄膜方法相比，需要较少的金属。 带状线的重叠区域可以容易地，经济地形成，并且可以通过桥接形成小的电流电容。 通过本文描述的方法，可以容易地获得无源部件，例如用于高频应用的薄膜耦合器或薄膜线圈。

公开(公告)号：US06545225B2

公开(公告)日：2003-04-08

申请号：US09746029

申请日：2000-12-21

申请人： Carlo Copetti ,  Martin Fleuster ,  Franciscus Hubertus Marie Sanders

发明人： Carlo Copetti ,  Martin Fleuster ,  Franciscus Hubertus Marie Sanders

IPC分类号： H05K116

CPC分类号： H05K1/162 ,  H01L27/016 ,  H01L2924/0002 ,  H05K1/0306 ,  H05K1/16 ,  H05K1/167 ,  H05K3/388 ,  H05K3/428 ,  H05K3/467 ,  H05K2201/0179 ,  H01L2924/00

摘要： A module is provided with a thin-film circuit. To realize the module with a thin-film circuit, capacitors, or capacitors and resistors, or capacitors, resistors and inductors are provided next to the conductor tracks directly on a substrate (1) of an insulating material. The partial or full integration of passive elements leads to the creation of a module which is very compact.

摘要翻译： 模块设置有薄膜电路。 为了实现具有薄膜电路的模块，电容器或电容器和电阻器或电容器，电阻器和电感器被直接设置在绝缘材料的衬底（1）上的导体轨迹旁边。 无源元件的部分或全部集成导致创建非常紧凑的模块。

公开(公告)号：US6079820A

公开(公告)日：2000-06-27

申请号：US956882

申请日：1997-10-23

申请人： Johan F. Dijksman ,  Adrianus C. Van Kasteren ,  Johannes van Zwol ,  Martin Fleuster ,  Johannes A. De Wit ,  Ramin Badie ,  Marcel J. J. Damen ,  Andreas C. M. Van Nes ,  Joseph R. R. Pankert

发明人： Johan F. Dijksman ,  Adrianus C. Van Kasteren ,  Johannes van Zwol ,  Martin Fleuster ,  Johannes A. De Wit ,  Ramin Badie ,  Marcel J. J. Damen ,  Andreas C. M. Van Nes ,  Joseph R. R. Pankert

IPC分类号： B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/14

CPC分类号： B41J2/14274 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2002/14491

摘要： A printhead which comprises a body with pressure chambers (13) and nozzles (14), a membrane (17) connected to the body so as to form one wall of the pressure chambers, and an actuator plate (25) comprising an actuator element (31) for each pressure chamber. A support plate (19) between the actuator plate and the membrane includes first portions (21) and second portions (23) with the first portions being movable relative to the second portions in the direction of the thickness of the support plate, a first portion being situated between each actuator element and the corresponding pressure chamber. The actuator plate has active regions (31) and inactive regions (33), the actuator elements being formed by active regions of the actuator plate. Adjacent actuator elements are separated from each other over substantially their whole length by slits (35) in the actuator plate. The actuator plate can be a ceramic multilayer actuator (CMA).

摘要翻译： 一种打印头，包括具有压力室（13）和喷嘴（14）的主体，连接到主体以形成压力室的一个壁的膜（17），以及包括致动器元件（25）的致动器板（25） 31）。 致动器板和膜之间的支撑板（19）包括第一部分（21）和第二部分（23），其中第一部分可相对于第二部分在支撑板的厚度方向上移动，第一部分 位于每个致动器元件和相应的压力室之间。 致动器板具有有源区域（31）和无效区域（33），致动器元件由致动器板的有效区域形成。 相邻致动器元件通过致动器板中的狭缝（35）在其基本上整个长度上彼此分开。 致动器板可以是陶瓷多层致动器（CMA）。

公开(公告)号：US5882400A

公开(公告)日：1999-03-16

申请号：US646348

申请日：1996-05-10

申请人： Stefanie Bauer ,  Martin Fleuster ,  Willi Zander ,  Jurgen Schubert ,  Christoph Buchal

发明人： Stefanie Bauer ,  Martin Fleuster ,  Willi Zander ,  Jurgen Schubert ,  Christoph Buchal

IPC分类号： C01G33/00 ,  C23C14/08 ,  G02B6/12 ,  G02B6/13 ,  C30B29/30

CPC分类号： G02B6/13 ,  C23C14/088 ,  G02B2006/1204

摘要： The invention concerns a method of producing a surface layer structure by doping a matrix with metal ions. The aim of the invention is to provide a method of this kind in which the depth distribution of the metal ions in the substrate can be regulated, thus optimumizing the doping without incurring any of the disadvantages inherent in the prior art methods. This is achieved by first depositing matrix material on a suitable substrate by laser ablation in an atmosphere of oxygen, thus forming a on surface of the substrate a first layer a matrix material. Dopant is then deposited on the surface of the first layer, followed by more matrix material. The result is a uniform doping of the deposited matrix at a defined depth in the surface layer structure.

摘要翻译： PCT No.PCT / DE94 / 01361 Sec。 371日期：1996年5月10日 102（e）日期1996年5月10日PCT 1994年11月12日PCT PCT。 出版物WO95 / 14250 PCT 日期1995年5月26日本发明涉及通过用金属离子掺杂基质来生产表面层结构的方法。 本发明的目的是提供一种这样的方法，其中可以调节衬底中的金属离子的深度分布，从而使掺杂最佳化，而不会产生现有技术方法中固有的任何缺点。 这是通过首先在氧气氛中通过激光烧蚀将基质材料沉积在合适的衬底上，从而在衬底的表面上形成第一层基质材料来实现的。 然后将掺杂剂沉积在第一层的表面上，随后沉积更多的基体材料。 结果是在表面层结构中在规定的深度处均匀掺杂沉积的基体。