公开(公告)号：US08927942B2

公开(公告)日：2015-01-06

申请号：US14124408

申请日：2012-06-05

申请人： Jacques Gierak ,  Nicolas Allemandou ,  Klaus Hasselbach ,  Jean-Paul Leggeri ,  Guillaume Donnier-Valentin ,  Stephen Purcell ,  Pauline Gavand

发明人： Jacques Gierak ,  Nicolas Allemandou ,  Klaus Hasselbach ,  Jean-Paul Leggeri ,  Guillaume Donnier-Valentin ,  Stephen Purcell ,  Pauline Gavand

IPC分类号： H01J27/00 ,  H01J37/08 ,  H01J27/02 ,  H01J27/22 ,  H01J3/18 ,  H01J3/26 ,  H01J37/05 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J3/18 ,  H01J3/26 ,  H01J27/022 ,  H01J27/024 ,  H01J27/22 ,  H01J37/05 ,  H01J37/317 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/0815 ,  H01J2237/0827

摘要： A ion source comprises: a chamber, an injection to inject matter into the chamber, wherein said matter comprises at least a first species, a tip with an apex located in the chamber, wherein the apex has a surface made of a metallic second species, a generator to generate ions of said species, and a regulation system adapted to set operative conditions of the chamber to alternatively generate ions from the gaseous first species, and ions from the non-gaseous metallic second species.

摘要翻译： 离子源包括：腔室，用于将物质注入到腔室中的注射器，其中所述物质包括至少第一物质，具有位于所述腔室中的顶点的尖端，其中所述顶点具有由金属第二物质制成的表面， 用于产生所述物质的离子的发生器，以及调节系统，其适于设置所述腔室的操作条件以交替地从所述气态第一物质产生离子，以及从所述非气态金属第二物质产生离子。

公开(公告)号：US20140175301A1

公开(公告)日：2014-06-26

申请号：US14124408

申请日：2012-06-05

申请人： Jacques Gierak ,  Nicolas Allemandou ,  Klaus Hasselbach ,  Jean-Paul Leggeri ,  Guillaume Donnier-Valentin ,  Stephen Purcell ,  Pauline Gavand

发明人： Jacques Gierak ,  Nicolas Allemandou ,  Klaus Hasselbach ,  Jean-Paul Leggeri ,  Guillaume Donnier-Valentin ,  Stephen Purcell ,  Pauline Gavand

IPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01J37/05 ,  H01J3/18 ,  H01J27/02 ,  H01J3/26

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J3/18 ,  H01J3/26 ,  H01J27/022 ,  H01J27/024 ,  H01J27/22 ,  H01J37/05 ,  H01J37/317 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/0815 ,  H01J2237/0827

摘要： A ion source comprises: a chamber (45), an injection to inject matter into the chamber, wherein said matter comprises at least a first species, a tip with an apex located in the chamber, wherein the apex has a surface made of a metallic second species, a generator to generate ions of said species, and a regulation system adapted to set operative conditions of the chamber to alternatively generate ions from the gaseous first species, and ions from the non-gaseous metallic second species.

摘要翻译： 离子源包括：室（45），用于将物质注入到室中的注入，其中所述物质包括至少第一种类，具有位于所述室中的顶点的尖端，其中所述顶点具有由金属 第二种类，用于产生所述物质的离子的发生器，以及调节系统，其适于设置所述室的操作条件以交替地从所述气态第一物质产生离子，以及从所述非气态金属第二物质产生离子。