公开(公告)号：US08664621B2

公开(公告)日：2014-03-04

申请号：US13063742

申请日：2009-09-14

申请人： Jacques Gierak ,  Ralf Jede

发明人： Jacques Gierak ,  Ralf Jede

IPC分类号： H01J27/00

CPC分类号： H01J27/26 ,  H01J37/08

摘要： This device (2) for generating an ion beam (4) including a liquid metal ion source (18) is characterized in that the ion source is surrounded by a cryogenic trap (28) maintained at a low temperature, this cryogenic trap being able to trap volatile chemical species (G) by condensing them before they can reach the ion source.

摘要翻译： 用于产生包括液体金属离子源（18）的离子束（4）的该装置（2）的特征在于，离子源被保持在低温的低温阱（28）包围，该低温阱能够 挥发性化学物质（G）通过在它们到达离子源之前冷凝来捕获挥发性化学物质（G）。

公开(公告)号：US08040784B2

公开(公告)日：2011-10-18

申请号：US12088903

申请日：2006-10-05

申请人： Jacques Gierak ,  David Martrou

发明人： Jacques Gierak ,  David Martrou

IPC分类号： G11B9/00

CPC分类号： G11B9/1409 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/149

摘要： The invention concerns a reading/writing tip configured in the shape of a needle consisting of a core of refractory material covered with a coating of electrically conductive material, and having an outer microscope needle geometry by tunnel effect, to obtain an information concerning a surface through tunnel-effect microscopy The needle emits a charged particle from the layer of electrically conductive material, to form the surface. The tip comprises a reservoir capable of being liquefied to flow along the tip.

摘要翻译： 本发明涉及一种以由导电材料涂层覆盖的耐火材料芯构成的针的形状的读/写尖端，并且具有通过隧道效应的外显微镜针几何形状，以获得关于表面通过的信息 隧道效应显微镜针从导电材料层发射带电粒子，形成表面。 尖端包括能够被液化以沿着尖端流动的储存器。

公开(公告)号：US08101925B2

公开(公告)日：2012-01-24

申请号：US12279888

申请日：2007-02-16

申请人： Jacques Gierak

发明人： Jacques Gierak

IPC分类号： G21G5/00

CPC分类号： H01J37/20 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  G01Q80/00 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/20264 ,  H01J2237/244 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/31737 ,  H01J2237/31755 ,  H01J2237/31788

摘要： Nanofabrication installation comprising: a specimen holder, for holding a specimen; a mask, having a through-opening between the upper and lower faces of the mask, for letting charged particles through onto the specimen holder; a near-field detection device for detecting a relative position between the mask (8) and the specimen holder (3); and a displacement device for generating a relative movement between the mask (8) and the specimen holder (3) independently of the relative position between the source (1) and the mask (8), the mask including at least a first electrode in the through-opening (10).

摘要翻译： 纳米加工装置包括：用于保持试样的试样架; 掩模，在掩模的上表面和下表面之间具有通孔，用于使带电粒子通过样本保持器; 用于检测所述掩模（8）和所述检体保持器（3）之间的相对位置的近场检测装置; 以及位移装置，用于独立于所述源（1）和所述掩模（8）之间的相对位置产生所述掩模（8）和所述检体保持器（3）之间的相对运动，所述掩模至少包括所述第一电极 通孔（10）。

公开(公告)号：US20090095923A1

公开(公告)日：2009-04-16

申请号：US12279888

申请日：2007-02-16

申请人： Jacques Gierak

发明人： Jacques Gierak

IPC分类号： A61N5/00

CPC分类号： H01J37/20 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  G01Q80/00 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/20264 ,  H01J2237/244 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/31737 ,  H01J2237/31755 ,  H01J2237/31788

摘要： Nanofabrication installation comprising: a specimen holder, for holding a specimen; a mask, having a through-opening between the upper and lower faces of the mask, for letting charged particles through onto the specimen holder; a near-field detection device for detecting a relative position between the mask (8) and the specimen holder (3); and a displacement device for generating a relative movement between the mask (8) and the specimen holder (3) independently of the relative position between the source (1) and the mask (8), the mask including at least a first electrode in the through-opening (10).

摘要翻译： 纳米加工装置包括：用于保持试样的试样架; 掩模，在掩模的上表面和下表面之间具有通孔，用于使带电粒子通过样本保持器; 用于检测所述掩模（8）和所述检体保持器（3）之间的相对位置的近场检测装置; 以及位移装置，用于独立于所述源（1）和所述掩模（8）之间的相对位置产生所述掩模（8）和所述检体保持器（3）之间的相对运动，所述掩模至少包括所述第一电极 通孔（10）。

公开(公告)号：US06864495B2

公开(公告)日：2005-03-08

申请号：US10472090

申请日：2002-03-26

申请人： Jacques Gierak ,  Yvon Lagadec ,  Albert Septier

发明人： Jacques Gierak ,  Yvon Lagadec ,  Albert Septier

IPC分类号： H01J27/26 ,  H01J27/02 ,  H01J27/22 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01J37/20

CPC分类号： H01J27/26 ,  B82Y30/00 ,  H01J27/022 ,  H01J27/22 ,  H01J37/08 ,  H01J37/09 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3045 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/0805 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1502 ,  H01J2237/30433 ,  H01J2237/3174

摘要： An ion beam generation device including an ion source, an extraction mechanism for ions emitted by the source, an accelerating mechanism of the ions thus extracted, a selector for the ions thus accelerated, and an electrostatic optical system for focusing the selected ions along a first axis. Further, a mechanism varies the distance between the ion source and the extraction means, this distance being counted along a second axis parallel to the first axis and constituting the axis of the ion beam emitted by the source. The device may be particularly applied to the manufacture of nanostructures.

摘要翻译： 一种离子束产生装置，包括离子源，由源发射的离子的提取机构，由此提取的离子的加速机构，用于这样加速的离子的选择器;以及静电光学系统，用于沿着第一 轴。 此外，机构改变离子源和提取装置之间的距离，该距离沿着平行于第一轴线的第二轴计数并且构成由源发射的离子束的轴线。 该装置可以特别地应用于纳米结构的制造。

公开(公告)号：US08546768B2

公开(公告)日：2013-10-01

申请号：US13063749

申请日：2009-09-14

申请人： Jacques Gierak ,  Ralf Jede

发明人： Jacques Gierak ,  Ralf Jede

IPC分类号： H01J40/00 ,  H01J47/00

CPC分类号： H01J27/26 ,  H01J37/08

摘要： A device for generating an ion beam includes a support; a liquid metal ion source connected to the support at the lower end of the ion source and surrounded by a cryogenic trap which is capable of preventing volatile chemicals from reaching the ion source; an ion extraction means for extracting the ions emitted by the source through an opening disposed near the upper end of the ion source; and means for generating a magnetic field in the opening of the extraction means, the generated magnetic field capable of preventing charged particles from reaching the ion source.

摘要翻译： 用于产生离子束的装置包括支撑件; 液体金属离子源连接到离子源下端的支撑体，并被能够防止挥发性化学物质到达离子源的低温陷阱围绕; 离子提取装置，用于通过设置在离子源的上端附近的开口提取由源发射的离子; 以及用于在提取装置的开口中产生磁场的装置，所产生的磁场能够防止带电粒子到达离子源。

公开(公告)号：US20060027765A1

公开(公告)日：2006-02-09

申请号：US11245072

申请日：2005-10-07

申请人： Jacques Gierak ,  Peter Hawkes

发明人： Jacques Gierak ,  Peter Hawkes

IPC分类号： G21G4/00

CPC分类号： B82Y30/00 ,  B82Y10/00 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/0653 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/24535 ,  H01J2237/2485 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/30438 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31749

摘要： This device comprises adjustment means (40) for storing the desired characteristics for the beam (14), determining the values of the adjustment parameters of the apparatus (2) according to its characteristics, storing these values and giving these stored values to the adjustment parameters of the apparatus. The invention is applied in particular to the manufacturing of nanostructures.

摘要翻译： 该装置包括用于存储用于波束（14）的期望特性的调节装置（40），根据其特性确定装置（2）的调节参数的值，存储这些值并将这些存储的值提供给调整参数 的装置。 本发明特别适用于纳米结构的制造。

公开(公告)号：US5936251A

公开(公告)日：1999-08-10

申请号：US765873

申请日：1997-04-18

申请人： Jacques Gierak ,  Gerard Jacques Ben Assayag

发明人： Jacques Gierak ,  Gerard Jacques Ben Assayag

IPC分类号： H01J27/22 ,  H01J27/26 ,  H01J37/08 ,  H01J27/00

CPC分类号： H01J27/22 ,  H01J27/26

摘要： A liquid metal ion source includes a cylindrical rod made of an electrically conductive refractory material, ending in a conical pointed end. The cylindrical rod passes through a reservoir of a liquid supply metal. The length of the rod inserted into the reservoir is in electrical contact with the liquid metal in the reservoir, and the reservoir is in contact with a conductive filament. The cylindrical rod, the reservoir and the conductive filament are electrically connected in series.

摘要翻译： PCT No.PCT / FR95 / 00903 Sec。 371日期1997年4月18日 102（e）日期1997年4月18日PCT提交1995年7月6日PCT公布。 公开号WO96 / 0206500 日期1996年1月25日液体金属离子源包括由导电耐火材料制成的圆柱形杆，终止于锥形尖端。 圆柱形杆通过液体供应金属的储存器。 插入储存器中的杆的长度与储存器中的液体金属电接触，并且储存器与导电细丝接触。 圆柱形棒，储存器和导电细丝串联电连接。

公开(公告)号：US20140175301A1

公开(公告)日：2014-06-26

申请号：US14124408

申请日：2012-06-05

申请人： Jacques Gierak ,  Nicolas Allemandou ,  Klaus Hasselbach ,  Jean-Paul Leggeri ,  Guillaume Donnier-Valentin ,  Stephen Purcell ,  Pauline Gavand

发明人： Jacques Gierak ,  Nicolas Allemandou ,  Klaus Hasselbach ,  Jean-Paul Leggeri ,  Guillaume Donnier-Valentin ,  Stephen Purcell ,  Pauline Gavand

IPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01J37/05 ,  H01J3/18 ,  H01J27/02 ,  H01J3/26

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J3/18 ,  H01J3/26 ,  H01J27/022 ,  H01J27/024 ,  H01J27/22 ,  H01J37/05 ,  H01J37/317 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/0815 ,  H01J2237/0827

摘要： A ion source comprises: a chamber (45), an injection to inject matter into the chamber, wherein said matter comprises at least a first species, a tip with an apex located in the chamber, wherein the apex has a surface made of a metallic second species, a generator to generate ions of said species, and a regulation system adapted to set operative conditions of the chamber to alternatively generate ions from the gaseous first species, and ions from the non-gaseous metallic second species.

摘要翻译： 离子源包括：室（45），用于将物质注入到室中的注入，其中所述物质包括至少第一种类，具有位于所述室中的顶点的尖端，其中所述顶点具有由金属 第二种类，用于产生所述物质的离子的发生器，以及调节系统，其适于设置所述室的操作条件以交替地从所述气态第一物质产生离子，以及从所述非气态金属第二物质产生离子。

公开(公告)号：US07365348B2

公开(公告)日：2008-04-29

申请号：US11758770

申请日：2007-06-06

申请人： Jacques Gierak ,  Peter Hawkes

发明人： Jacques Gierak ,  Peter Hawkes

IPC分类号： G21G4/00

CPC分类号： B82Y30/00 ,  B82Y10/00 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/0653 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/24535 ,  H01J2237/2485 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/30438 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31749

摘要： An adjusting device of an apparatus for generating a beam of charged particles, wherein said beam is for interacting with a target and wherein said adjusting device comprises interface means for receiving, from a user of the apparatus, a set of desired values of characteristics of the beam of charged particles; means for determining a set of nominal values of adjusting parameters of the apparatus, corresponding to said characteristics and for passing them to the apparatus; means for measuring said adjusting parameters of the apparatus, and for computing corresponding values of said characteristics of the beam; and means for determining whether a correction of said values of adjusting parameters is necessary.

摘要翻译： 一种用于产生带电粒子束的装置的调节装置，其中所述光束用于与目标相互作用，并且其中所述调节装置包括接口装置，用于从所述装置的用户接收一组期望的特征值 带电粒子束; 用于确定对应于所述特性并将其传递到所述装置的所述装置的调整参数的一组标称值的装置; 用于测量所述装置的所述调整参数并用于计算所述光束的所述特性的对应值的装置; 以及用于确定是否需要校正所述调整参数值的装置。