公开(公告)号：US08614783B2

公开(公告)日：2013-12-24

申请号：US12392852

申请日：2009-02-25

申请人： Emiel Jozef Melanie Eussen ,  Engelbertus Antonius Fransiscus Van Der Pasch ,  Robbert Edgar Van Leeuwen ,  Renatus Gerardus Klaver ,  Martijn Robert Hamers

发明人： Emiel Jozef Melanie Eussen ,  Engelbertus Antonius Fransiscus Van Der Pasch ,  Robbert Edgar Van Leeuwen ,  Renatus Gerardus Klaver ,  Martijn Robert Hamers

IPC分类号： G03B27/52 ,  G03B27/58

CPC分类号： G03B27/54 ,  G01D5/24461 ,  G01D5/347 ,  G03F7/70775

摘要： An encoder-type measurement system is configured to measure a position dependent signal of a movable object. The measurement system includes a light source and a sensor. The light source and the sensor are mounted on one of the movable object or a substantially stationary frame. The measurement system also includes a reference object that includes a grating or grid mounted on the other of the movable object or the substantially stationary frame. The light source is configured to emit a light beam towards the reference object. The sensor is configured to detect light of the light source reflected by the reference object. The measurement system also includes an error detector capable of detecting errors in or on the grating or grid of the sensor target object during a continuous production process.

摘要翻译： 编码器型测量系统被配置为测量可移动物体的位置相关信号。 测量系统包括光源和传感器。 光源和传感器安装在可移动物体之一或基本上固定的框架上。 测量系统还包括参考对象，其包括安装在可移动物体或基本上固定的框架上的另一个上的光栅或栅格。 光源被配置为朝向参考对象发射光束。 传感器被配置为检测由参考对象反射的光源的光。 该测量系统还包括能够在连续生产过程中检测传感器目标物体的光栅或格栅上的误差的误差检测器。

公开(公告)号：US08248583B2

公开(公告)日：2012-08-21

申请号：US12367193

申请日：2009-02-06

申请人： Marinus Aart Van Den Brink ,  Hans Butler ,  Emiel Jozef Melanie Eussen ,  Engelbertus Antonius Fransiscus Van Der Pasch ,  Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst ,  Georgo Angelis ,  Renatus Gerardus Klaver ,  Martijn Robert Hamers ,  Boudewijn Theodorus Verhaar ,  Peter Hoekstra

发明人： Marinus Aart Van Den Brink ,  Hans Butler ,  Emiel Jozef Melanie Eussen ,  Engelbertus Antonius Fransiscus Van Der Pasch ,  Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst ,  Georgo Angelis ,  Renatus Gerardus Klaver ,  Martijn Robert Hamers ,  Boudewijn Theodorus Verhaar ,  Peter Hoekstra

IPC分类号： G03B27/52

CPC分类号： G03F7/70775 ,  G03F7/70516

摘要： In an embodiment, a stage system calibration method includes moving the stage relative to an encoder grid in response to a setpoint signal and measuring a position of the stage by a sensor head cooperating with the encoder grid. The position of the stage is controlled by a stage controller. A signal representative of a difference between the setpoint signal and the position of the stage as measured by the sensor head is registered. The stage system is calibrated from the registered signal representative of the difference.

摘要翻译： 在一个实施例中，舞台系统校准方法包括响应于设定点信号相对于编码器网格移动舞台，并通过与编码器网格协作的传感器头测量舞台的位置。 舞台的位置由舞台控制器控制。 记录表示由传感器头测量的设定点信号和台的位置之间的差异的信号。 舞台系统根据代表差异的注册信号进行校准。

公开(公告)号：US20070076349A1

公开(公告)日：2007-04-05

申请号：US11240132

申请日：2005-09-30

申请人： Viacheslav Dementiev ,  Robert West ,  Robert Hamers ,  Kiu-Yuen Tse

发明人： Viacheslav Dementiev ,  Robert West ,  Robert Hamers ,  Kiu-Yuen Tse

IPC分类号： H01G9/00

CPC分类号： H01G11/62 ,  H01G11/24 ,  H01G11/26 ,  H01G11/38 ,  Y02B10/30 ,  Y02E60/13 ,  Y02T10/7022

摘要： Disclosed are supercapacitors having organosilicon electrolytes, high surface area/porous electrodes, and optionally organosilicon separators. Electrodes are formed from high surface area material (such as porous carbon nanotubes or carbon nanofibers), which has been impregnated with the electrolyte. These type devices appear particularly suitable for use in electric and hybrid electric vehicles.

摘要翻译： 公开了具有有机硅电解质，高表面积/多孔电极和任选的有机硅分离器的超级电容器。 电极由已经浸渍有电解质的高表面积材料（例如多孔碳纳米管或碳​​纳米纤维）形成。 这些类型的装置特别适用于电动和混合电动车辆。

公开(公告)号：US20060201811A1

公开(公告)日：2006-09-14

申请号：US11075615

申请日：2005-03-09

申请人： Robert Hamers ,  Joseph Beck

发明人： Robert Hamers ,  Joseph Beck

IPC分类号： B03C5/02

CPC分类号： B03C5/026 ,  B03C2201/26

摘要： Dielectrophoresis is used to attract particles to an electrode edge then to controllably allow the transport of particles along that edge under a fluid flow to a particular region. The particles may be bacteria which may be maintained in this process in a live state through capture, transport and release.

摘要翻译： 电泳用于将颗粒吸引到电极边缘，然后可控制地允许沿流体流向特定区域的沿边缘的颗粒传输。 颗粒可以是可以通过捕获，运输和释放在活的状态下保持在该过程中的细菌。

公开(公告)号：US08355115B2

公开(公告)日：2013-01-15

申请号：US12576079

申请日：2009-10-08

申请人： Robertus Leonardus Tousain ,  Martijn Robert Hamers ,  Jeroen Arnoldus Leonardus Johannes Raaymakers

发明人： Robertus Leonardus Tousain ,  Martijn Robert Hamers ,  Jeroen Arnoldus Leonardus Johannes Raaymakers

IPC分类号： G03B27/58

CPC分类号： G03B27/58 ,  G03F7/70725

摘要： A lithographic apparatus includes a positioner configured to position a first part of the apparatus relative to a second part of the apparatus, the positioner including a motor having a motor position dependent motor constant defining a relation between a motor input and a motor output, and a control system to drive the motor, the control system including a set-point generator to provide a reference signal based on a desired position of the first part relative to the second part, and a controller to provide a drive signal to the motor based on the reference signal, wherein the controller includes a compensator which is configured to at least partially compensate the drive signal for the motor position dependent motor constant. The invention further relates to a positioner, a method to optimize the positioning system, and a method to derive a motor position dependent motor constant.

摘要翻译： 光刻设备包括定位器，其被配置为相对于设备的第二部分定位设备的第一部分，定位器包括具有定义电动机输入和电动机输出之间的关系的电动机位置相关电动机常数的电动机，以及 控制系统，用于驱动电动机，所述控制系统包括设定点发生器，以基于所述第一部分相对于所述第二部分的期望位置提供参考信号;以及控制器，用于基于所述第一部分向所述电动机提供驱动信号 参考信号，其中所述控制器包括补偿器，所述补偿器被配置为至少部分地补偿所述电动机位置相关电动机常数的驱动信号。 本发明还涉及一种定位器，一种优化定位系统的方法，以及一种导出与电动机位置有关的电动机常数的方法。

公开(公告)号：US20060134656A1

公开(公告)日：2006-06-22

申请号：US11137127

申请日：2005-05-25

申请人： Robert Hamers ,  Tami Clare ,  Nicholas Abbott ,  Brian Clare

发明人： Robert Hamers ,  Tami Clare ,  Nicholas Abbott ,  Brian Clare

IPC分类号： C12Q1/68 ,  G01N33/53 ,  C12M1/34

CPC分类号： G01N33/54393 ,  A61M2205/0244 ,  G01N33/551

摘要： The present invention relates to surface-modified substrates that demonstrate reduced non-specific adsorption of biological agents. The substrates are silicon or carbon substrates having ethylene glycol oligomers covalently bound to at least one substrate surface. The substrates may be used in sensor devices, such as biochips, and in implantable medical devices in order to reduce the non-specific binding of biological agents.

摘要翻译： 本发明涉及表现出降低生物制剂的非特异性吸附的表面改性底物。 基底是具有共价结合至少一个基底表面的乙二醇低聚物的硅或碳基底。 衬底可用于诸如生物芯片的传感器装置中，并且可用于可植入的医疗装置中，以便减少生物制剂的非特异性结合。

公开(公告)号：US20100091262A1

公开(公告)日：2010-04-15

申请号：US12576079

申请日：2009-10-08

申请人： Robertus Leonardus Tousain ,  Martijn Robert Hamers ,  Jeroen Arnoldus Leonardus Johannes Raaymakers

发明人： Robertus Leonardus Tousain ,  Martijn Robert Hamers ,  Jeroen Arnoldus Leonardus Johannes Raaymakers

IPC分类号： G03B27/58 ,  G05B11/36

CPC分类号： G03B27/58 ,  G03F7/70725

摘要： A lithographic apparatus includes a positioner configured to position a first part of the apparatus relative to a second part of the apparatus, the positioner including a motor having a motor position dependent motor constant defining a relation between a motor input and a motor output, and a control system to drive the motor, the control system including a set-point generator to provide a reference signal based on a desired position of the first part relative to the second part, and a controller to provide a drive signal to the motor based on the reference signal, wherein the controller includes a compensator which is configured to at least partially compensate the drive signal for the motor position dependent motor constant. The invention further relates to a positioner, a method to optimize the positioning system, and a method to derive a motor position dependent motor constant.

摘要翻译： 光刻设备包括定位器，其被配置为相对于设备的第二部分定位设备的第一部分，定位器包括具有定义电动机输入和电动机输出之间的关系的电动机位置相关电动机常数的电动机，以及 控制系统，用于驱动电动机，所述控制系统包括设定点发生器，以基于所述第一部分相对于所述第二部分的期望位置提供参考信号;以及控制器，用于基于所述第一部分向所述电动机提供驱动信号 参考信号，其中所述控制器包括补偿器，所述补偿器被配置为至少部分地补偿所述电动机位置相关电动机常数的驱动信号。 本发明还涉及一种定位器，一种优化定位系统的方法，以及一种导出与电动机位置有关的电动机常数的方法。

公开(公告)号：US20060014155A1

公开(公告)日：2006-01-19

申请号：US10892819

申请日：2004-07-16

申请人： Robert Hamers ,  Sarah Baker ,  Chang-Soo Lee

发明人： Robert Hamers ,  Sarah Baker ,  Chang-Soo Lee

IPC分类号： C12Q1/68

CPC分类号： B82Y30/00 ,  B01J19/0046 ,  B01J2219/00527 ,  B01J2219/00653 ,  B01J2219/00659 ,  B01J2219/00722 ,  B01J2219/00725 ,  B01J2219/00736 ,  B01J2219/0074

摘要： Methods for building sensor arrays using electrical signals to selectively functionalize individual electrodes in an array of electrically addressable electrodes are provided. These methods are useful for providing sensor arrays for use in chemical and biochemical assays. The method is based on the sequential electrochemical reduction of functional groups on individual electrodes in order to selectively promote the functionalization of selected electrodes with selected binding entities.

摘要翻译： 提供了使用电信号构建传感器阵列以选择性地功能化电可寻址电极阵列中的各个电极的方法。 这些方法可用于提供用于化学和生物化学测定的传感器阵列。 该方法基于在各个电极上的官能团的顺序电化学还原，以便选择性地促进所选择的电极与所选择的结合实体的官能化。

公开(公告)号：US20100007867A1

公开(公告)日：2010-01-14

申请号：US12367193

申请日：2009-02-06

申请人： Marinus Aart VAN DEN BRINK ,  Hans BUTLER ,  Emiel Jozef Melanie EUSSEN ,  Engelbertus Antonius Fransiscu VAN DER PASCH ,  Marc Wilhelmus Maria VAN DER WIJST ,  Georgo ANGELIS ,  Renatus Gerardus KLAVER ,  Martijn Robert HAMERS ,  Boudewijn Theodorus VERHAAR ,  Peter HOEKSTRA

发明人： Marinus Aart VAN DEN BRINK ,  Hans BUTLER ,  Emiel Jozef Melanie EUSSEN ,  Engelbertus Antonius Fransiscu VAN DER PASCH ,  Marc Wilhelmus Maria VAN DER WIJST ,  Georgo ANGELIS ,  Renatus Gerardus KLAVER ,  Martijn Robert HAMERS ,  Boudewijn Theodorus VERHAAR ,  Peter HOEKSTRA

IPC分类号： G03B27/58 ,  G03B27/32

CPC分类号： G03F7/70775 ,  G03F7/70516

摘要： In an embodiment, a stage system calibration method includes moving the stage relative to an encoder grid in response to a setpoint signal and measuring a position of the stage by a sensor head cooperating with the encoder grid. The position of the stage is controlled by a stage controller. A signal representative of a difference between the setpoint signal and the position of the stage as measured by the sensor head is registered. The stage system is calibrated from the registered signal representative of the difference.

摘要翻译： 在一个实施例中，舞台系统校准方法包括响应于设定点信号相对于编码器网格移动舞台，并通过与编码器网格协作的传感器头测量舞台的位置。 舞台的位置由舞台控制器控制。 记录表示由传感器头测量的设定点信号和台的位置之间的差异的信号。 舞台系统根据代表差异的注册信号进行校准。

公开(公告)号：US20090237634A1

公开(公告)日：2009-09-24

申请号：US12392852

申请日：2009-02-25

申请人： Emiel Jozef Melanie EUSSEN ,  Engelbertus Antonius Fransiscus VAN DER PASCH ,  Robbert Edgar VAN LEEUWEN ,  Renatus Gerardus KLAVER ,  Martijn Robert HAMERS

发明人： Emiel Jozef Melanie EUSSEN ,  Engelbertus Antonius Fransiscus VAN DER PASCH ,  Robbert Edgar VAN LEEUWEN ,  Renatus Gerardus KLAVER ,  Martijn Robert HAMERS

IPC分类号： G03B27/54 ,  G01B11/14 ,  G06F19/00

CPC分类号： G03B27/54 ,  G01D5/24461 ,  G01D5/347 ,  G03F7/70775

摘要： An encoder-type measurement system is configured to measure a position dependent signal of a movable object. The measurement system includes a light source and a sensor. The light source and the sensor are mounted on one of the movable object or a substantially stationary frame. The measurement system also includes a reference object that includes a grating or grid mounted on the other of the movable object or the substantially stationary frame. The light source is configured to emit a light beam towards the reference object. The sensor is configured to detect light of the light source reflected by the reference object. The measurement system also includes an error detector capable of detecting errors in or on the grating or grid of the sensor target object during a continuous production process.

摘要翻译： 编码器型测量系统被配置为测量可移动物体的位置相关信号。 测量系统包括光源和传感器。 光源和传感器安装在可移动物体之一或基本上固定的框架上。 测量系统还包括参考对象，其包括安装在可移动物体或基本上固定的框架上的另一个上的光栅或栅格。 光源被配置为朝向参考对象发射光束。 传感器被配置为检测由参考对象反射的光源的光。 该测量系统还包括能够在连续生产过程中检测传感器目标物体的光栅或格栅上的误差的误差检测器。