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    Removable pellicle for immersion lithography
    2.
    发明申请
    Removable pellicle for immersion lithography 有权
    浸没光刻用可拆卸防护薄膜

    公开(公告)号：US20070064215A1

    公开(公告)日：2007-03-22

    申请号：US10596647

    申请日：2004-12-22

    申请人： Peter Dirksen ,  Robert Morton ,  Peter Zandbergen ,  David Van Steelwinckel ,  Yuri Aksenov ,  Jeroen Lammers ,  Johannes Van Wingerden ,  Laurent Marinier

    发明人： Peter Dirksen ,  Robert Morton ,  Peter Zandbergen ,  David Van Steelwinckel ,  Yuri Aksenov ,  Jeroen Lammers ,  Johannes Van Wingerden ,  Laurent Marinier

    IPC分类号： G03B27/32

    CPC分类号： G03F7/70341 ,  G03F7/70983

    摘要： A method of irradiating to pattern a photosensitive layer such as a resist (L2) immersed in a fluid (L3), involves applying a removable transparent layer (L4, L5), projecting the radiation onto the resist through the immersion fluid and through the transparent layer, such that imperfections in the fluid are out of focus as projected on the surface, and subsequently removing the transparent layer. The transparent layer can help distance such imperfections from the focus of the radiation on the surface and so can reduce or eliminate shadowing. Hence the irradiation can be more complete, and defects reduced. It can be particularly effective for imperfections in the form of small bubbles or particles in the immersion fluid especially at the fluid/surface interface for example. The radiation can be for any purpose including inspection, processing, patterning and so on. The removal of the transparent layer can be combined with a step of developing the resist layer.

    摘要翻译： 一种照射方法来照射浸入流体（L 3）中的抗蚀剂（L 2）等感光层，包括涂敷可移除的透明层（L 4，L 5），通过浸渍流体将辐射投射到抗蚀剂上 并且通过透明层，使得流体中的缺陷如投影在表面上而失焦，并随后去除透明层。 透明层可以帮助将这种缺陷从辐射的焦点远离在表面上，因此可以减少或消除阴影。 因此，照射可以更完整，并且缺陷减少。 对于浸入液体中的小气泡或颗粒形式的缺陷，特别是在流体/表面界面处的缺陷可能特别有效。 辐射可以用于任何目的，包括检查，加工，图案化等。 可以将透明层的去除与显影抗蚀剂层的步骤组合。

    ILLUMINATION SYSTEM, HIGH-PRESSURE DISCHARGE LAMP AND IMAGE PROJECTION SYSTEM
    3.
    发明申请
    ILLUMINATION SYSTEM, HIGH-PRESSURE DISCHARGE LAMP AND IMAGE PROJECTION SYSTEM 审中-公开
    照明系统，高压放电灯和图像投影系统

    公开(公告)号：US20100259731A1

    公开(公告)日：2010-10-14

    申请号：US12740384

    申请日：2008-11-06

    申请人： Yuri Aksenov ,  Herman Muller ,  Albert Bijlsma

    发明人： Yuri Aksenov ,  Herman Muller ,  Albert Bijlsma

    IPC分类号： G03B21/28 ,  F21V7/07

    CPC分类号： H01J61/30 ,  F21V7/04 ,  H01J61/86

    摘要： The invention relates to an illumination system(100), a high-pressure discharge lamp (90) and an image projection system. The illumination system comprises a high-pressure discharge lamp and a back reflector (30) reflecting the light emitted by the high-pressure discharge lamp towards a light exit window (50). The back reflector comprises an optical axis (55). The high-pressure discharge lamp comprises a discharge vessel (90) comprising two electrodes (98, 99) between which, during operation, a discharge arc is produced. The discharge vessel comprises a first part (10) arranged at least partially between the discharge arc and the back reflector, and a second part (20) arranged at least partially between the discharge arc and the light exit window. The second part has a different shape compared to the first part, thereby forming a refractive element in the second part for reducing an angular distribution at the light exit window of the light emitted from the discharge arc and refracted By the second part. The measures according to the invention have the effect that, due to the reduction of the angular distribution at the light exit window, the specific refractive property of the second part improves the efficiency of the illumination system.

    摘要翻译： 本发明涉及照明系统（100），高压放电灯（90）和图像投影系统。 照明系统包括高压放电灯和将由高压放电灯发射的光朝向光出射窗（50）反射的后反射器（30）。 后反射器包括光轴（55）。 高压放电灯包括一个包括两个电极（98,99）的放电容器（90），在其间在工作期间产生放电电弧。 放电容器包括至少部分地布置在放电弧和后反射器之间的第一部分（10）和至少部分地布置在放电弧和光出射窗之间的第二部分（20）。 第二部分与第一部分相比具有不同的形状，从而在第二部分中形成折射元件，用于减小从放电弧发射的光的光出射窗处的角分布，并由第二部分折射。 根据本发明的措施具有这样的效果：由于在光出射窗处的角度分布的减小，第二部分的比折射特性提高了照明系统的效率。

    Method of manufacturing a part of a color ring and a part of a color ring
    4.
    发明授权
    Method of manufacturing a part of a color ring and a part of a color ring 有权
    制造彩色环的一部分和彩色环的一部分的方法

    公开(公告)号：US08998455B2

    公开(公告)日：2015-04-07

    申请号：US13990091

    申请日：2011-11-23

    申请人： Ulrich Weichmann ,  Yuri Aksenov ,  Johannes Baier ,  Jan Renier Marie Hochstenbach ,  Uwe Mackens ,  Joachim Opitz ,  Peter Josef Schmidt

    发明人： Ulrich Weichmann ,  Yuri Aksenov ,  Johannes Baier ,  Jan Renier Marie Hochstenbach ,  Uwe Mackens ,  Joachim Opitz ,  Peter Josef Schmidt

    IPC分类号： F21S8/10 ,  F21V9/08 ,  C04B37/00 ,  C09K11/08 ,  C09K11/77 ,  G03B21/20

    CPC分类号： F21V9/08 ,  C04B37/006 ,  C04B2235/9661 ,  C04B2237/12 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/366 ,  C04B2237/368 ,  C04B2237/64 ,  C04B2237/76 ,  C04B2237/78 ,  C09K11/0883 ,  C09K11/7734 ,  C09K11/7774 ,  G03B21/204

    摘要： A method 200 of manufacturing a (part of) color ring is provided. The color ring converts a color of light emitted by a light emitter into at least one other color. The method (200) comprising the steps of: i) pressing (102) a first ring body of a first granulated precursor comprising a first luminescent material for converting the color of the light of the light emitter into a first one of the at least one other color, and ii) sintering (104) the first ring body for obtaining a first ceramic ring. The color ring comprises at least a segment of the first ceramic ring. Further, the method may comprises the steps of: iii) pressing (208) a second ring body of a second granulated precursor, wherein the first luminescent material is absent, iv) sintering (210) the second ring body for obtaining a second ceramic ring, v) segmenting (206) the first ceramic rings in at least two parts and segmenting (212) the second ceramic ring in at least two parts, and vi) forming (214) at least a part of the color ring by coupling a part of the first ceramic ring and a part of the second ceramic ring.

    摘要翻译： 提供制造（部分）色环的方法200。 色环将由发光体发射的光的颜色转换为至少一种其它颜色。 方法（200）包括以下步骤：i）将包含第一发光材料的第一粒状前体的第一环体按压（102），以将发光体的光的颜色转换成至少一个 其它颜色，以及ii）烧结（104）所述第一环体以获得第一陶瓷环。 色环包括至少一段第一陶瓷环。 此外，该方法可以包括以下步骤：iii）压制（208）第二颗粒状前体的第二环体，其中第一发光材料不存在，iv）烧结（210）第二环体以获得第二陶瓷环 ，v）在至少两个部分中分割（206）所述第一陶瓷环并将所述第二陶瓷环分成（212）至少两个部分，以及vi）通过将所述颜色环的至少一部分 的第一陶瓷环和第二陶瓷环的一部分。

    Inhibiting unauthorized access to a laser source
    5.
    发明授权
    Inhibiting unauthorized access to a laser source 有权
    禁止未经授权的访问激光源

    公开(公告)号：US08837543B2

    公开(公告)日：2014-09-16

    申请号：US13977110

    申请日：2012-01-04

    申请人： Ulrich Weichmann ,  Yuri Aksenov

    发明人： Ulrich Weichmann ,  Yuri Aksenov

    IPC分类号： H01S3/00 ,  B23K37/00 ,  F16P3/00

    CPC分类号： H01S3/0007 ,  B23K26/702 ,  B23K37/006 ,  F16P3/00

    摘要： The invention relates to the field of laser sources (3), and for specifically to inhibiting damage due to misuse of a laser source (3), in particular of a high-power laser source (3) provided in a consumer product (1). The proposed device (1) includes at least a laser source (3) and a safety unit (2), wherein by means of the arrangement of the safety unit (2) it is provided that potential harm caused by misuse of the laser source (3) based on an unauthorized access to the laser source (3) is confined or even prevented by reducing the power level of the output of the laser source (3) or by even completely stopping any laser output therefrom. A corresponding method of providing a laser source (3) and a further method of preventing misuse of a laser source (3) are also proposed.

    摘要翻译： 本发明涉及激光源（3）领域，特别是为了抑制由于误用激光源（3）而导致的损坏，特别是消费品（1）中提供的大功率激光源（3） 。 所提出的设备（1）至少包括激光源（3）和安全单元（2），其中通过安全单元（2）的布置，提供了由于误用激光源造成的潜在危害 通过降低激光源（3）的输出的功率电平或甚至完全停止来自激光源（3）的激光输出，基于对激光源（3）的未经授权的访问被限制或甚至防止。 还提出了提供激光源（3）的相应方法和防止误用激光源（3）的另外的方法。

    Removable pellicle for immersion lithography
    6.
    发明授权
    Removable pellicle for immersion lithography 有权
    浸没光刻用可拆卸防护薄膜

    公开(公告)号：US08067147B2

    公开(公告)日：2011-11-29

    申请号：US10596647

    申请日：2004-12-22

    申请人： Peter Dirksen ,  Robert Duncan Morton ,  Peter Zandbergen ,  David Van Steenwinckel ,  Yuri Aksenov ,  Jeroen Herman Lammers ,  Johannes Van Wingerden ,  Laurent Marinier

    发明人： Peter Dirksen ,  Robert Duncan Morton ,  Peter Zandbergen ,  David Van Steenwinckel ,  Yuri Aksenov ,  Jeroen Herman Lammers ,  Johannes Van Wingerden ,  Laurent Marinier

    IPC分类号： G03F7/00

    CPC分类号： G03F7/70341 ,  G03F7/70983

    摘要： A method of irradiating to pattern a photosensitive layer such as a resist (L2) immersed in a fluid (L3), involves applying a removable transparent layer (L4, L5), projecting the radiation onto the resist through the immersion fluid and through the transparent layer, such that imperfections in the fluid are out of focus as projected on the surface, and subsequently removing the transparent layer. The transparent layer can help distance such imperfections from the focus of the radiation on the surface and so can reduce or eliminate shadowing. Hence the irradiation can be more complete, and defects reduced. It can be particularly effective for imperfections in the form of small bubbles or particles in the immersion fluid especially at the fluid/surface interface for example. The radiation can be for any purpose including inspection, processing, patterning and so on. The removal of the transparent layer can be combined with a step of developing the resist layer.

    摘要翻译： 一种照射方法来照射浸没在流体（L3）中的抗蚀剂（L2）的感光层，包括施加可去除的透明层（L4，L5），通过浸没流体将辐射投射到抗蚀剂上，并通过透明 使得流体中的缺陷如投射在表面上而失焦，随后去除透明层。 透明层可以帮助将这种缺陷从辐射的焦点远离在表面上，因此可以减少或消除阴影。 因此，照射可以更完整，并且缺陷减少。 对于浸入液体中的小气泡或颗粒形式的缺陷，特别是在流体/表面界面处的缺陷可能特别有效。 辐射可以用于任何目的，包括检查，加工，图案化等。 可以将透明层的去除与显影抗蚀剂层的步骤组合。

    INHIBITING UNAUTHORIZED ACCESS TO A LASER SOURCE
    9.
    发明申请
    INHIBITING UNAUTHORIZED ACCESS TO A LASER SOURCE 有权
    禁止未经授权访问激光源

    公开(公告)号：US20130272332A1

    公开(公告)日：2013-10-17

    申请号：US13977110

    申请日：2012-01-04

    申请人： Ulrich Weichmann ,  Yuri Aksenov

    发明人： Ulrich Weichmann ,  Yuri Aksenov

    IPC分类号： H01S3/00

    CPC分类号： H01S3/0007 ,  B23K26/702 ,  B23K37/006 ,  F16P3/00

    摘要： The invention relates to the field of laser sources (3), and for specifically to inhibiting damage due to misuse of a laser source (3), in particular of a high-power laser source (3) provided in a consumer product (1). The proposed device (1) includes at least a laser source (3) and a safety unit (2), wherein by means of the arrangement of the safety unit (2) it is provided that potential harm caused by misuse of the laser source (3) based on an unauthorized access to the laser source (3) is confined or even prevented by reducing the power level of the output of the laser source (3) or by even completely stopping any laser output therefrom. A corresponding method of providing a laser source (3) and a further method of preventing misuse of a laser source (3) are also proposed.

    摘要翻译： 本发明涉及激光源（3）领域，特别是为了抑制由于误用激光源（3）而导致的损坏，特别是消费品（1）中提供的大功率激光源（3） 。 所提出的设备（1）至少包括激光源（3）和安全单元（2），其中通过安全单元（2）的布置，提供了由于误用激光源造成的潜在危害 通过降低激光源（3）的输出的功率电平或甚至完全停止来自激光源（3）的激光输出，基于对激光源（3）的未经授权的访问被限制或甚至防止。 还提出了提供激光源（3）的相应方法和防止误用激光源（3）的另外的方法。

    METHOD OF MANUFACTURING A PART OF A COLOR RING AND A PART OF A COLOR RING
    10.
    发明申请
    METHOD OF MANUFACTURING A PART OF A COLOR RING AND A PART OF A COLOR RING 有权
    制作彩色环的一部分和彩色环的一部分的方法

    公开(公告)号：US20130242536A1

    公开(公告)日：2013-09-19

    申请号：US13990091

    申请日：2011-11-23

    申请人： Ulrich Weichmann ,  Yuri Aksenov ,  Johannes Baier ,  Jan Renier Marie Hochstenbach ,  Uwe Mackens ,  Joachim Opitz ,  Peter Josef Schmidt

    发明人： Ulrich Weichmann ,  Yuri Aksenov ,  Johannes Baier ,  Jan Renier Marie Hochstenbach ,  Uwe Mackens ,  Joachim Opitz ,  Peter Josef Schmidt

    IPC分类号： F21V9/08

    CPC分类号： F21V9/08 ,  C04B37/006 ,  C04B2235/9661 ,  C04B2237/12 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/366 ,  C04B2237/368 ,  C04B2237/64 ,  C04B2237/76 ,  C04B2237/78 ,  C09K11/0883 ,  C09K11/7734 ,  C09K11/7774 ,  G03B21/204

    摘要： A method 200 of manufacturing a (part of) color ring is provided. The color ring converts a color of light emitted by a light emitter into at least one other color. The method (200) comprising the steps of: i) pressing (102) a first ring body of a first granulated precursor comprising a first luminescent material for converting the color of the light of the light emitter into a first one of the at least one other color, and ii) sintering (104) the first ring body for obtaining a first ceramic ring. The color ring comprises at least a segment of the first ceramic ring. Further, the method may comprises the steps of: iii) pressing (208) a second ring body of a second granulated precursor, wherein the first luminescent material is absent, iv) sintering (210) the second ring body for obtaining a second ceramic ring, v) segmenting (206) the first ceramic rings in at least two parts and segmenting (212) the second ceramic ring in at least two parts, and vi) forming (214) at least a part of the color ring by coupling a part of the first ceramic ring and a part of the second ceramic ring.

    摘要翻译： 提供制造（部分）色环的方法200。 色环将由发光体发射的光的颜色转换为至少一种其它颜色。 方法（200）包括以下步骤：i）将包含第一发光材料的第一粒状前体的第一环体按压（102），以将发光体的光的颜色转换成至少一个 其它颜色，以及ii）烧结（104）所述第一环体以获得第一陶瓷环。 色环包括至少一段第一陶瓷环。 此外，该方法可以包括以下步骤：iii）压制（208）第二颗粒状前体的第二环体，其中不存在第一发光材料，iv）烧结（210）第二环体以获得第二陶瓷环 ，v）在至少两个部分中分割（206）所述第一陶瓷环并将所述第二陶瓷环分成（212）至少两个部分，以及vi）通过将所述颜色环的至少一部分 的第一陶瓷环和第二陶瓷环的一部分。