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32 条记录 (耗时 0.022 秒)

    Unitary removable shield assembly
    1.
    发明授权
    Unitary removable shield assembly 有权
    单一可拆卸屏蔽组件

    公开(公告)号：US06730174B2

    公开(公告)日：2004-05-04

    申请号：US10093252

    申请日：2002-03-06

    申请人： Alan B. Liu ,  Ilya Lavitsky ,  Michael Rosenstein

    发明人： Alan B. Liu ,  Ilya Lavitsky ,  Michael Rosenstein

    IPC分类号： C23C1600

    CPC分类号： H01J37/32477 ,  C23C14/564

    摘要： An apparatus for replacing consumables of a vacuum chamber. A unitary removable shield assembly is provided to quickly replace consumables such as a shield. The shield assembly can include an upper adapter assembly, at least one shield member, a cover ring and an insulator member. The shield assembly is designed so that the consumables can be replaced in one step and allows the chamber to continue with its maintenance cycle.

    摘要翻译： 一种用于更换真空室的耗材的设备。 提供了一体的可拆卸的屏蔽组件，用于快速更换诸如屏蔽的消耗品。 屏蔽组件可以包括上适配器组件，至少一个屏蔽部件，盖环和绝缘体部件。 屏蔽组件设计成可以在一个步骤中更换耗材，并允许室继续其维护周期。

    Cleanroom lift having an articulated arm
    7.
    发明授权
    Cleanroom lift having an articulated arm 失效
    洁净室电梯具有铰接臂

    公开(公告)号：US06688838B2

    公开(公告)日：2004-02-10

    申请号：US10091686

    申请日：2002-03-04

    申请人： Ilya Lavitsky ,  Michael Rosenstein

    发明人： Ilya Lavitsky ,  Michael Rosenstein

    IPC分类号： B66C2300

    CPC分类号： B25J5/007 ,  B25J9/042 ,  B25J18/04

    摘要： A cleanroom lift for maneuvering large objects such as turbomolecular pumps utilized in semiconductor processing applications is provided. In one embodiment, the lift includes a vertically movable carriage coupled to a linkage assembly. The linkage assembly has a first link and a second link. Each link has one piece construction to minimize deflection under load. The first link is coupled to the carriage by a carriage shaft assembly and to the second link by a linkage shaft assembly. The second link is coupled to the linkage shaft assembly and a gripper assembly. Optionally, a third link and second shaft assembly may be disposed between the gripper assembly and the second link to minimize the weight of the links to facilitate assembly in cleanroom environments.

    摘要翻译： 提供了用于操纵诸如用于半导体加工应用中的涡轮分子泵的大型物体的洁净室升降机。 在一个实施例中，升降机包括联接到连杆组件的可垂直移动的滑架。 连杆组件具有第一连杆和第二连杆。 每个连杆都有一件结构，以减少负载下的挠度。 第一连杆通过滑架轴组件联接到滑架，并通过连杆轴组件连接到第二连杆。 第二连杆联接到连杆轴组件和夹具组件。 可选地，第三连杆和第二轴组件可以设置在夹具组件和第二连杆之间，以最小化连杆的重量，以便于在洁净室环境中组装。

    Operating a Mobile Robot
    8.
    发明申请
    Operating a Mobile Robot 有权
    操作移动机器人

    公开(公告)号：US20120185096A1

    公开(公告)日：2012-07-19

    申请号：US13032390

    申请日：2011-02-22

    申请人： Michael Rosenstein ,  Steven V. Shamlian ,  Chikyung Won ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

    发明人： Michael Rosenstein ,  Steven V. Shamlian ,  Chikyung Won ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

    IPC分类号： G05B15/00

    CPC分类号： B25J5/007 ,  B25J11/009 ,  G05D1/0227 ,  G05D1/024 ,  G05D1/0242 ,  G05D1/0246 ,  G05D1/0255 ,  G05D1/027 ,  G05D1/0272 ,  G05D1/0274 ,  G05D2201/0206 ,  Y10S901/01

    摘要： A method of operating a mobile robot to traverse a threshold includes detecting a threshold proximate the robot. The robot includes a holonomic drive system having first, second, and third drive elements configured to maneuver the robot omni-directionally. The method further includes moving the first drive element onto the threshold from a first side and moving the second drive element onto the threshold to place both the first and second drive elements on the threshold. The method includes moving the first drive element off a second side of the threshold, opposite to the first side of the threshold, and moving the third drive element onto the threshold, placing both the second and third drive elements on the threshold. The method includes moving both the second and third drive elements off the second side of the threshold.

    摘要翻译： 操作移动机器人横穿阈值的方法包括检测机器人附近的阈值。 该机器人包括一个完整的驱动系统，其具有被配置成全方向地操纵机器人的第一，第二和第三驱动元件。 该方法还包括将第一驱动元件从第一侧移动到阈值上并将第二驱动元件移动到阈值上以将第一和第二驱动元件都置于阈值上。 该方法包括将第一驱动元件移离阈值的第二侧，与阈值的第一侧相反，并将第三驱动元件移动到阈值上，将第二和第三驱动元件都置于阈值上。 该方法包括将第二和第三驱动元件移动离开阈值的第二侧。