利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

155 条记录 (耗时 0.092 秒)

    Laser system
    1.
    发明申请
    Laser system 有权
    激光系统

    公开(公告)号：US20080165337A1

    公开(公告)日：2008-07-10

    申请号：US11981450

    申请日：2007-10-30

    申请人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J.W. Brown ,  Igor V. Fomenkov ,  Robert A. Bergstedt ,  Ivan Lalovic

    发明人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J.W. Brown ,  Igor V. Fomenkov ,  Robert A. Bergstedt ,  Ivan Lalovic

    IPC分类号： G03B27/54 ,  G03F7/26

    CPC分类号： G03F7/70625 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70583 ,  G03F7/70616 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/10092 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2308

    摘要： A method and apparatus may comprise a line narrowed pulsed excimer or molecular fluorine gas discharge laser system which may comprise a seed laser oscillator producing an output comprising a laser output light beam of pulses which may comprise a first gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber; a line narrowing module within a first oscillator cavity; a laser amplification stage containing an amplifying gain medium in a second gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber receiving the output of the seed laser oscillator and amplifying the output of the seed laser oscillator to form a laser system output comprising a laser output light beam of pulses, which may comprise a ring power amplification stage.

    摘要翻译： 一种方法和装置可以包括线变窄的脉冲准分子或分子氟气放电激光系统，其可以包括种子激光振荡器，其产生包括可以包括第一气体放电准分子或分子氟激光室的脉冲的激光输出光束的输出; 第一振荡器腔内的线窄模块; 在第二气体放电准分子或分子氟激光室中包含放大增益介质的激光放大级，其接收种子激光振荡器的输出并放大种子激光振荡器的输出，以形成激光系统输出，其包括激光输出光束 脉冲，其可以包括环形功率放大级。

    Laser system
    3.
    发明申请
    Laser system 有权
    激光系统

    公开(公告)号：US20080225908A1

    公开(公告)日：2008-09-18

    申请号：US11981449

    申请日：2007-10-30

    申请人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J.W. Brown ,  Igor V. Fomenkov ,  Robert A. Bergstedt

    发明人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J.W. Brown ,  Igor V. Fomenkov ,  Robert A. Bergstedt

    IPC分类号： H01S3/225

    CPC分类号： H01S3/2333 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70583 ,  H01S3/005 ,  H01S3/08 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/105 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/235 ,  H01S3/2366

    摘要： An apparatus/method which may comprise a line narrowed pulsed excimer or molecular fluorine gas discharge laser system which may comprise a seed laser oscillator producing an output comprising a seed laser output light beam of pulses which may comprise a first gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber; a line narrowing module within a first oscillator cavity; a laser amplification stage containing an amplifying gain medium in a second gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber receiving the output of the seed laser oscillator and amplifying the output of the seed laser oscillator to form a laser system output comprising a laser system output light beam of pulses, which may comprise a ring power amplification stage; a seed injection mechanism.

    摘要翻译： 可以包括线变窄的脉冲准分子或分子氟气体放电激光系统的装置/方法，其可以包括种子激光振荡器，其产生包括种子激光输出的脉冲光束的输出，所述种子激光输出光束可以包括第一气体放电准分子或分子氟激光 房间 第一振荡器腔内的线窄模块; 在第二气体放电准分子或分子氟激光室中包含放大增益介质的激光放大级，其接收种子激光振荡器的输出并放大种子激光振荡器的输出，以形成激光系统输出，该激光系统输出包括激光系统输出光束 的脉冲，其可以包括环形功率放大级; 种子注射机制。

    Laser system
    4.
    发明申请
    Laser system 有权
    激光系统

    公开(公告)号：US20090122825A1

    公开(公告)日：2009-05-14

    申请号：US11981290

    申请日：2007-10-30

    申请人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J.W. Brown ,  Igor V. Fomenkov ,  Robert A. Bergstedt

    发明人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J.W. Brown ,  Igor V. Fomenkov ,  Robert A. Bergstedt

    IPC分类号： H01S3/225

    CPC分类号： H01S3/10092 ,  G03F7/70583 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/08 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/0835 ,  H01S3/121 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2333 ,  H01S3/235 ,  H01S3/2383

    摘要： A method/apparatus may comprise a seed laser oscillator producing an output which may comprise: a first gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber; a line narrowing module within a first oscillator cavity; a laser amplification stage receiving the output of the seed laser oscillator which may comprise: a ring power amplification stage; a coherence busting mechanism intermediate the seed laser oscillator and the ring power amplification stage which may comprise a beam splitter separating the seed laser output into a main beam and a beam entering an optical delay path which may have a delay length longer than the coherence length of a pulse in the seed laser output and may have a beam angular offset mechanism offsetting a delayed beam and the main beam.

    摘要翻译： 一种方法/装置可以包括产生输出的种子激光振荡器，该输出可以包括：第一气体放电准分子或分子氟激光室; 第一振荡器腔内的线窄模块; 接收种子激光振荡器的输出的激光放大级，其可以包括：环形功率放大级; 种子激光振荡器和环形功率放大级之间的相干破坏机构，其可以包括将种子激光器输出分离成主波束的分束器和进入光学延迟路径的波束，该光束延迟路径可以具有比相干长度长的延迟长度 种子激光器中的脉冲输出并且可以具有抵消延迟的光束和主光束的光束角偏移机构。

    Laser system
    7.
    发明申请
    Laser system 有权
    激光系统

    公开(公告)号：US20080267242A1

    公开(公告)日：2008-10-30

    申请号：US11981195

    申请日：2007-10-30

    申请人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J.W. Brown ,  Igor V. Fomenkov

    发明人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J.W. Brown ,  Igor V. Fomenkov

    IPC分类号： H01S3/225

    CPC分类号： H01S3/2333 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70583 ,  H01S3/005 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/10092 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/235 ,  H01S2301/02

    摘要： A method/apparatus may comprise operating a line narrowed pulsed excimer or molecular fluorine gas discharge laser system by using a seed laser oscillator to produce an output which may comprise a first gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber; a line narrowing module; a laser amplification stage which may comprise a ring power amplification stage; the method of operation may the steps of: selecting a differential timing between an electrical discharge between a pair of electrodes in the first laser chamber and in the second laser chamber which at the same time keeps ASE below a selected limit and the pulse energy of the laser system output light beam of pulses essentially constant.

    摘要翻译： 方法/装置可以包括通过使用种子激光振荡器来操作线窄的脉冲准分子或分子氟气体放电激光系统，以产生可包括第一气体放电准分子或分子氟激光室的输出; 线缩小模块; 可以包括环功率放大级的激光放大级; 操作方法可以是：选择第一激光室中的一对电极与第二激光室中的一对电极之间的放电之间的差分定时，同时使ASE保持在选定的极限以下，并且脉冲能量 激光系统输出光束的脉冲基本恒定。

    Laser System
    8.
    发明申请
    Laser System 有权
    激光系统

    公开(公告)号：US20120002687A1

    公开(公告)日：2012-01-05

    申请号：US13231882

    申请日：2011-09-13

    申请人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J.W. Brown ,  Igor V. Fomenkov

    发明人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J.W. Brown ,  Igor V. Fomenkov

    IPC分类号： H01S3/10

    CPC分类号： H01S3/225 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/083 ,  H01S3/10092 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333 ,  H01S3/2383 ,  H01S2301/02

    摘要： A method and apparatus may comprise a line narrowed pulsed excimer or molecular fluorine gas discharge laser system which may comprise a seed laser oscillator producing an output comprising a laser output light beam of pulses which may comprise a first gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber; a line narrowing module within a first oscillator cavity; a laser amplification stage containing an amplifying gain medium in a second gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber receiving the output of the seed laser oscillator and amplifying the output of the seed laser oscillator to form a laser system output comprising a laser output light beam of pulses, which may comprise a ring power amplification stage.

    摘要翻译： 一种方法和装置可以包括线变窄的脉冲准分子或分子氟气放电激光系统，其可以包括种子激光振荡器，其产生包括可以包括第一气体放电准分子或分子氟激光室的脉冲的激光输出光束的输出; 第一振荡器腔内的线窄模块; 在第二气体放电准分子或分子氟激光室中包含放大增益介质的激光放大级，其接收种子激光振荡器的输出并放大种子激光振荡器的输出，以形成激光系统输出，其包括激光输出光束 脉冲，其可以包括环形功率放大级。