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    Method of fabricating micromachined devices
    1.
    发明授权
    Method of fabricating micromachined devices 失效
    制造微加工装置的方法

    公开(公告)号：US06709886B2

    公开(公告)日：2004-03-23

    申请号：US09843025

    申请日：2001-04-25

    申请人： Chen-Wei Chiu ,  Tom Tsao ,  Fukang Jiang

    发明人： Chen-Wei Chiu ,  Tom Tsao ,  Fukang Jiang

    IPC分类号： H01L2100

    CPC分类号： G02B6/3566 ,  B81B3/0072 ,  B81B2201/042 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00182 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/356 ,  G02B6/3572 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/3594 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/085 ,  G02B26/0866

    摘要： A method for fabricating a module for at least partially intercepting a light beam propagating along a beam path includes providing a single crystal silicon substrate with a first substrate surface and a second substrate surface. The method further includes forming a reflector support layer on the first substrate surface. The method further includes forming a support frame and at least one reflector by etching the substrate from the second substrate surface. The method further includes forming at least one electrical conduit on the reflector support layer. The method further includes forming a reflector support by etching the reflector support layer from the first substrate surface, the reflector support mechanically coupled to the support frame and the reflector, the reflector support movable such that the reflector is movable substantially perpendicularly to the first substrate surface.

    摘要翻译： 一种用于制造用于至少部分地截取沿着光束路径传播的光束的模块的方法包括：提供具有第一衬底表面和第二衬底表面的单晶硅衬底。 该方法还包括在第一衬底表面上形成反射器支撑层。 该方法还包括通过从第二衬底表面蚀刻衬底来形成支撑框架和至少一个反射器。 该方法还包括在反射器支撑层上形成至少一个电导管。 该方法还包括通过从第一衬底表面蚀刻反射器支撑层来形成反射器支撑件，反射器支撑件机械地联接到支撑框架和反射器，反射器支撑件可移动，使得反射器可基本上垂直于第一衬底表面移动 。